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中科院半導體所

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晶片機械切割設備的原理和發展

通過單晶生長工藝獲得的單晶硅錠,因硅材質硬脆特性,無法直接用于半導體芯片制造,需經過機械加工、化學處....
的頭像 中科院半導體所 發表于 06-06 14:10 ?49次閱讀
晶片機械切割設備的原理和發展

晶體結構中晶面和晶向的關系

晶面和晶向是晶體學中兩個核心的概念,它們與硅基集成電路工藝中的晶體結構有密切的關系。
的頭像 中科院半導體所 發表于 06-05 16:58 ?80次閱讀
晶體結構中晶面和晶向的關系

什么是晶圓級扇出封裝技術

晶圓級扇出封裝(FO-WLP)通過環氧樹脂模塑料(EMC)擴展芯片有效面積,突破了扇入型封裝的I/O....
的頭像 中科院半導體所 發表于 06-05 16:25 ?349次閱讀
什么是晶圓級扇出封裝技術

射頻前端模塊中使用的集成無源元件技術

本文介紹了在射頻前端模塊(RF-FEM)中使用的集成無源元件(IPD)技術。
的頭像 中科院半導體所 發表于 06-03 18:26 ?298次閱讀
射頻前端模塊中使用的集成無源元件技術

芯片封裝中的打線鍵合介紹

打線鍵合就是將芯片上的電信號從芯片內部“引出來”的關鍵步驟。我們要用極細的金屬線(多為金線、鋁線或銅....
的頭像 中科院半導體所 發表于 06-03 18:25 ?160次閱讀

鰭式場效應晶體管的原理和優勢

自半導體晶體管問世以來,集成電路技術便在摩爾定律的指引下迅猛發展。摩爾定律預言,單位面積上的晶體管數....
的頭像 中科院半導體所 發表于 06-03 18:24 ?295次閱讀
鰭式場效應晶體管的原理和優勢

什么是晶圓級扇入封裝技術

在微電子行業飛速發展的背景下,封裝技術已成為連接芯片創新與系統應用的核心紐帶。其核心價值不僅體現于物....
的頭像 中科院半導體所 發表于 06-03 18:22 ?222次閱讀
什么是晶圓級扇入封裝技術

什么是晶圓貼膜

貼膜是指將一片經過減薄處理的晶圓(Wafer)固定在一層特殊的膠膜上,這層膜通常為藍色,業內常稱為“....
的頭像 中科院半導體所 發表于 06-03 18:20 ?113次閱讀
什么是晶圓貼膜

什么是超臨界CO?清洗技術

在芯片制程進入納米時代后,一個看似矛盾的難題浮出水面:如何在不損傷脆弱納米結構的前提下,徹底清除深孔....
的頭像 中科院半導體所 發表于 06-03 10:46 ?93次閱讀
什么是超臨界CO?清洗技術

晶圓減薄工藝分為哪幾步

“減薄”,也叫 Back Grinding(BG),是將晶圓(Wafer)背面研磨至目標厚度的工藝步....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-30 10:38 ?327次閱讀

一文詳解干法刻蝕工藝

干法刻蝕技術作為半導體制造的核心工藝模塊,通過等離子體與材料表面的相互作用實現精準刻蝕,其技術特性與....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-28 17:01 ?644次閱讀
一文詳解干法刻蝕工藝

自對準雙重圖案化技術的優勢與步驟

在芯片制造中,光刻技術在硅片上刻出納米級的電路圖案。然而,當制程進入7納米以下,傳統光刻的分辨率已逼....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-28 16:45 ?164次閱讀
自對準雙重圖案化技術的優勢與步驟

一文詳解濕法刻蝕工藝

濕法刻蝕作為半導體制造領域的元老級技術,其發展歷程與集成電路的微型化進程緊密交織。盡管在先進制程中因....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-28 16:42 ?290次閱讀
一文詳解濕法刻蝕工藝

化合物半導體器件的定義和制造工藝

化合物半導體器件以Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族元素通過共價鍵形成的材料為基礎,展現出獨特的電學與光學特性。以砷....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-28 14:37 ?433次閱讀
化合物半導體器件的定義和制造工藝

氧化層制備在芯片制造中的重要作用

本文簡單介紹了氧化層制備在芯片制造中的重要作用。
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-27 09:58 ?401次閱讀
氧化層制備在芯片制造中的重要作用

薄膜晶體管技術架構與主流工藝路線

導語薄膜晶體管(TFT)作為平板顯示技術的核心驅動元件,通過材料創新與工藝優化,實現了從傳統非晶硅向....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-27 09:51 ?474次閱讀
薄膜晶體管技術架構與主流工藝路線

CMOS第一層互聯的結構與作用

芯片中的晶體管(如NMOS和PMOS)需要通過金屬線連接才能形成完整電路。 第一層互聯 (通常稱為M....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-24 15:22 ?624次閱讀
CMOS第一層互聯的結構與作用

氮氧化鎵材料的基本性質和制備方法

氮氧化鎵(Gallium Oxynitride,GaOxNy)是一種介于晶態與非晶態之間的化合物。其....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-23 16:33 ?541次閱讀
氮氧化鎵材料的基本性質和制備方法

玻璃通孔技術的五個獨特優勢

TGV(Through Glass Via)工藝之所以選擇在玻璃上打孔,主要是因為玻璃在以下五個方面....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-23 16:32 ?246次閱讀
玻璃通孔技術的五個獨特優勢

CMOS工藝流程簡介

互補金屬氧化物半導體(CMOS)技術是現代集成電路設計的核心,它利用了N型和P型MOSFET(金屬氧....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-23 16:30 ?385次閱讀

低功耗熱發射極晶體管的工作原理與制備方法

集成電路是現代信息技術的基石,而晶體管則是集成電路的基本單元。沿著摩爾定律發展,現代集成電路的集成度....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-22 16:06 ?274次閱讀
低功耗熱發射極晶體管的工作原理與制備方法

一文詳解快速熱處理技術

在納米尺度集成電路制造領域,快速熱處理(RTP)技術已成為實現器件性能突破與工藝優化的核心工具。相較....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-22 16:04 ?326次閱讀
一文詳解快速熱處理技術

超聲波T-SAM與C-SAM模式的區別

本文介紹了超聲波的T-SAM與C-SAM兩種模式的區別。
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-21 15:26 ?153次閱讀
超聲波T-SAM與C-SAM模式的區別

定向自組裝光刻技術的基本原理和實現方法

定向自組裝光刻技術通過材料科學與自組裝工藝的深度融合,正在重構納米制造的工藝組成。主要內容包含圖形結....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-21 15:24 ?476次閱讀
定向自組裝光刻技術的基本原理和實現方法

芯片制造多重曝光中的套刻精度要求

本文介紹了先進集成電路制造多重曝光中的套刻精度要求。
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-21 10:55 ?254次閱讀
芯片制造多重曝光中的套刻精度要求

FinFET與GAA結構的差異及其影響

本文介紹了當半導體技術從FinFET轉向GAA(Gate-All-Around)時工藝面臨的影響。
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-21 10:51 ?547次閱讀
FinFET與GAA結構的差異及其影響

一文詳解球柵陣列封裝技術

在集成電路封裝技術的演進歷程中,球柵陣列封裝(Ball Grid Array,BGA)憑借卓越性能與....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-21 10:05 ?559次閱讀
一文詳解球柵陣列封裝技術

芯片制造中自對準接觸技術介紹

但當芯片做到22納米時,工程師遇到了大麻煩——用光刻機畫接觸孔時,稍有一點偏差就會導致芯片報廢。 自....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-19 11:11 ?187次閱讀
芯片制造中自對準接觸技術介紹

為什么芯片制造常用P型硅

從早期的平面 CMOS 工藝到先進的 FinFET,p 型襯底在集成電路設計中持續被廣泛采用。為什么....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-16 14:58 ?166次閱讀
為什么芯片制造常用P型硅

芯片前端設計與后端設計的區別

前端設計(Front-end Design):聚焦于電路的邏輯功能實現。本質上是在“紙上”設計電路,....
的頭像 中科院半導體所 發表于 05-16 14:56 ?153次閱讀