文章來源：老虎說芯

原文作者：老虎說芯

本文主要講述什么是晶圓貼膜。

一、什么是貼膜（Wafer Mount）

貼膜是指將一片經過減薄處理的晶圓（Wafer）固定在一層特殊的膠膜上，這層膜通常為藍色，業內常稱為“藍膜”。貼膜的目的是為后續的晶圓切割（劃片）工藝做準備。

減薄后的晶圓非常薄，通常只有幾十微米厚，容易破裂或翹曲，因此需要貼膜支撐和固定。

二、貼膜的目的是什么？

貼膜的主要目的有以下幾個：

固定晶圓：減薄后的晶圓易碎，貼膜后能穩定晶圓，防止在搬運和切割過程中發生破裂或移位。

輔助劃片：藍膜具備一定黏性，可以有效固定晶圓，使得劃片機可以精準、平穩地切割每一顆芯片（Die）。

便于后續取出芯片：貼在金屬框架上的藍膜，可以搭配自動取晶設備，便于將每一顆芯片從膜上精準取下。

三、貼膜工藝流程詳解

以下是一個標準的貼膜操作流程，按步驟講解：

1.晶圓減?。˙ack Grinding）

在貼膜前，晶圓通常已通過減薄工藝處理，將厚度從原始的幾百微米減薄至幾十微米，以滿足封裝要求。

減薄后的晶圓極其脆弱，因此貼膜工藝必須在此之后盡快完成。

2.藍膜準備

所用的藍膜為一種具備中等黏性和一定耐熱性的聚合材料，顏色通常為藍色，便于光學識別。

藍膜需提前拉伸并安裝在一個金屬環框（Frame）上。這個框架既便于貼膜操作，也方便后續放入劃片機中操作。

3.將晶圓貼在藍膜上

使用專用的貼膜機將減薄后的晶圓輕輕地吸住，然后準確地壓貼在藍膜中央，確保晶圓整體平整地粘附在膜上。

操作過程中要避免產生氣泡或顆粒，以防影響后續劃片品質。

4.加熱固化（視情況）

為了增強膜與晶圓之間的附著力，某些類型的藍膜在貼上后需進行低溫加熱（如60~80℃）處理幾分鐘，讓膜的黏性發揮更好。

加熱后膜的狀態更穩定，晶圓固定效果更佳。

四、貼膜對后續工藝的影響

貼膜質量直接影響劃片和封裝的良率：

貼膜不牢或有氣泡：在劃片時晶圓容易移動或碎裂，導致芯片邊緣破損。

膜太黏或太松：黏度過高會導致芯片取出時損壞；黏度不足則在劃片時芯片容易飛脫。

因此，選擇合適的藍膜種類、控制好貼膜溫度和壓力，是確保工藝成功的關鍵。

五、總結

貼膜（Wafer Mount）雖然只是芯片封裝中的一個中間步驟，但它承擔著“承上啟下”的重要作用。它不僅是減薄與劃片之間的緩沖環節，更直接影響芯片的完整性和良率。

核心要點回顧：