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芯片封裝中的打線鍵合介紹

中科院半導(dǎo)體所 ? 來源:老虎說芯 ? 2025-06-03 18:25 ? 次閱讀
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文章來源:老虎說芯

原文作者:老虎說芯

本文介紹了封裝中打線鍵合的概念、流程、關(guān)鍵點與可靠性等。

一、什么是打線鍵合(Wire Bonding)?

打線鍵合就是將芯片上的電信號從芯片內(nèi)部“引出來”的關(guān)鍵步驟。我們要用極細(xì)的金屬線(多為金線、鋁線或銅線)將芯片的焊盤(bond pad)和支架(如引線框架或基板)之間做電連接。

可以理解為:

“芯片是大腦,但得靠血管(引線)把信號輸送出去,不然再聰明也干不了事。”

二、打線鍵合的核心目的:

建立電連接:芯片內(nèi)部與封裝外部間的信號通道

提供可靠性:滿足電性能、機(jī)械穩(wěn)定性要求

保證生產(chǎn)良率:為后續(xù)封裝打好基礎(chǔ)

三、打線鍵合的類型

雖然有多種方式(例如熱壓鍵合、超聲鍵合、熱超聲復(fù)合鍵合等),這里我們主要講的是熱超聲金線球焊(Ball Bonding),這是最常見的一種,特別適合鋁焊盤+金線的組合。

四、打線鍵合的完整9步流程

步驟 1:準(zhǔn)備金線

金線從打線機(jī)線軸中牽出,經(jīng)過打線劈刀(Capillary)底部,露出短短的線尾。

步驟 2:形成“自由空氣球”(FAB)

打線機(jī)會用“放電”的方式,在金線尾部打出一個金球。這個球是在空氣中自然形成的,因此叫自由空氣球(Free Air Ball)。就像是用電火花把金線的尾端熔掉形成一個金珠。

步驟 3:壓球到芯片焊盤

劈刀帶著金球?qū)?zhǔn)芯片上的焊盤(bond pad),緩緩向下壓,讓金球和焊盤貼合。

步驟 4:完成第一個鍵合點(金球鍵合)

壓好后,打線機(jī)會開始施加:一定的壓力、一定量的超聲波振動能量、控制作用時間。這樣做的目的是讓金球與芯片焊盤之間的金屬發(fā)生塑性變形+微觀摩擦焊接,最終牢牢焊在一起。

步驟 5:拉金線

劈刀抬起,同時拉動金線,從芯片焊盤開始畫出一段弧形線,將線帶到目標(biāo)點:支架的焊盤(lead/frame pad 或 PCB pad)。

步驟 6:壓線到支架焊盤

劈刀移動到支架焊盤位置,再次往下壓線。

步驟 7:形成第二個鍵合點(魚尾鍵合)

再次施加:壓力、超聲能量、時間控制。這次不是壓球,而是將金線壓成“魚尾”狀貼附到支架焊盤上,完成第二端焊接。

步驟 8:切線并保留線尾

劈刀繼續(xù)抬起,并在移動中切斷金線,在支架焊盤上留下“魚尾”,同時在劈刀口留下新的線尾,為下一根線準(zhǔn)備。

步驟 9:循環(huán)進(jìn)行下一根線的鍵合

回到第1步,周而復(fù)始,直到所有焊盤都連線完成。

五、打線工藝的四大核心參數(shù)

溫度(Bond Temp) 提高金屬塑性,改善焊接效果 一般為100~150°C
壓力(Bond Force) 保證足夠接觸和變形 太小焊不牢,太大會壓壞焊盤
超聲能量(Ultrasonic Power) 引發(fā)金屬分子間摩擦/擴(kuò)散 控制能量大小避免“虛焊”或“飛線”
超聲時間(Bond Time) 決定超聲作用時長 配合能量使用,不能太短或太長
參數(shù) 作用 舉例說明

六、打線質(zhì)量的關(guān)鍵控制點

金球尺寸控制:

金球直徑通常為60μm

厚度約20μm

太大易短路,太小焊接不牢

接合強(qiáng)度測試:

剪切力(Shear/Push Force):芯片端金球推力 >20克

拉力(Pull Force):整條線拉斷前應(yīng) >109克力

這些測試是驗證焊點強(qiáng)度是否達(dá)標(biāo)的標(biāo)準(zhǔn)動作,不能忽略。

七、環(huán)境和工藝注意事項

1. 濕氣控制:

若打線作業(yè)延遲超72小時,要進(jìn)行低溫烘焙,把吸附的濕氣烤掉。否則在封裝注塑(Molding)時,水汽膨脹會導(dǎo)致封裝開裂或界面脫層

2. 表面潔凈性:

焊盤若有污染或氧化層,會直接導(dǎo)致打線失敗(金球脫落、魚尾不粘)

必要時可使用等離子清洗機(jī)進(jìn)行表面活化處理,恢復(fù)焊接性

八、打線后的可靠性隱患有哪些?

金球脫落 焊盤氧化、溫度低、超聲不足 表面清潔、調(diào)整參數(shù)
金線斷裂 金線受損、弧度過大 優(yōu)化拉線路徑、換線材
魚尾翹起 壓力不足、支架氧化 加壓、清洗支架表面
接觸電阻 焊點不飽滿、焊接不牢 調(diào)整球徑、超聲能量
問題現(xiàn)象 可能原因 解決辦法

九、打線在整個封裝流程的位置

1. 晶圓切割 → 2. 芯片貼片 → 3. 銀膠烘焙 → 4. 打線鍵合 → 5. 封裝成型 → 6. 電性測試 → 7. 成品分選

總結(jié)

打線鍵合是芯片封裝中最細(xì)致、最關(guān)鍵的工序之一,涉及機(jī)械精度、材料性能、熱/超聲參數(shù)控制等多方面的綜合考量。金線雖細(xì)如發(fā)絲,但卻承擔(dān)著整個芯片與外部世界溝通的重任。

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原文標(biāo)題:芯片封裝中的打線鍵合(Wire Bonding)

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