Flexfilm文章

• 半導體薄膜厚度測量丨基于光學反射率的厚度測量技術2025-07-22 09:54

  

  在半導體制造中，薄膜的沉積和生長是關鍵步驟。薄膜的厚度需要精確控制，因為厚度偏差會導致不同的電氣特性。傳統的厚度測量依賴于模擬預測或后處理設備，無法實時監測沉積過程中的厚度變化，可能導致工藝偏差和良率下降。為此，研究團隊開發了一種基于激光反射率的光學傳感器，能夠在真空環境下實時測量氧化膜（SiO?）、氮化膜（Si?N?）和多晶硅（p-Si）的厚度。FlexF

  傳感器 半導體 測量 48瀏覽量

• 半導體膜厚測量丨光譜反射法基于直接相位提取的膜厚測量技術2025-07-22 09:54

  

  在現代半導體和顯示面板制造中，薄膜厚度的精確測量是確保產品質量的關鍵環節。傳統方法如掃描電子顯微鏡（SEM）雖可靠，但無法用于在線檢測；橢圓偏振儀和光譜反射法（SR）雖能無損測量，卻受限于計算效率與精度的矛盾。近期，研究人員提出了一種創新方法——直接相位提取技術，成功打破了這一技術瓶頸。FlexFilm單點膜厚儀結合相位提取技術通過將復雜的非線性方程轉化為線

  光譜 半導體 測量 47瀏覽量

• DLC薄膜厚度可精準調控其結構顏色，耐久性和環保性協同提升2025-07-22 09:54

  

  類金剛石碳（DLC）薄膜因高硬度、耐磨損特性，廣泛應用于刀具、模具等工業領域，其傳統顏色為黑色或灰色。近期，日本研究團隊通過等離子體化學氣相沉積（CVD）技術，將DLC薄膜厚度控制在20-80納米范圍內，首次實現對其結構色的精確調控。這一發現為材料的光學功能化提供了新方向。等離子體CVD裝置示意圖1結構色產生的物理機制flexfilm結構色由光的干涉效應主導

  測量 薄膜 65瀏覽量

• 橢偏儀測量薄膜厚度的原理與應用2025-07-22 09:54

  

  在半導體、光學鍍膜及新能源材料等領域，精確測量薄膜厚度和光學常數是材料表征的關鍵步驟。Flexfilm光譜橢偏儀（SpectroscopicEllipsometry,SE）作為一種非接觸、非破壞性的光學測量技術，通過分析光與材料相互作用后偏振態的變化，能夠同時獲取薄膜的厚度、折射率、消光系數等參數。本文將從原理、測量流程及實際應用三個方面，解析橢偏儀如何實現

  測量 薄膜厚度 69瀏覽量

• 聚焦位置對光譜橢偏儀膜厚測量精度的影響2025-07-22 09:54

  

  在半導體芯片制造中，薄膜厚度的精確測量是確保器件性能的關鍵環節。隨著工藝節點進入納米級，單顆芯片上可能需要堆疊上百層薄膜，且每層厚度僅幾納米至幾十納米。光譜橢偏儀因其非接觸、高精度和快速測量的特性，成為半導體工業中膜厚監測的核心設備。1寬光譜橢偏儀工作原理flexfilm寬光譜橢偏儀通過分析偏振光與樣品相互作用后的偏振態變化，測量薄膜的厚度與光學性質。其核心

  光譜 測量 60瀏覽量

• 薄膜厚度測量技術的綜述：從光譜反射法（SR）到光譜橢偏儀（SE）2025-07-22 09:54

  

  薄膜在半導體、顯示和二次電池等高科技產業中被廣泛使用，其厚度通常小于一微米。對于這些薄膜厚度的精確測量對于質量控制至關重要。然而，能夠測量薄膜厚度的技術非常有限，而光學方法因其非接觸和非破壞性特點而被廣泛采用。Flexfilm全光譜橢偏儀不僅能夠滿足工業生產中對薄膜厚度和光學性質的高精度測量需求，還能為科研人員提供豐富的光譜信息，助力新材料的研發和應用。1光

  光譜 測量 薄膜 65瀏覽量

• 基于像散光學輪廓儀與單點膜厚技術測量透明薄膜厚度2025-07-22 09:53

  

  透明薄膜在生物醫學、半導體及光學器件等領域中具有重要應用，其厚度與光學特性直接影響器件性能。傳統接觸式測量方法（如觸針輪廓儀）易損傷樣品，而非接觸式光學方法中，像散光學輪廓儀（基于DVD激光頭設計）雖具備高分辨率全場掃描能力，但對厚度小于25μm的薄膜存在信號耦合問題。本研究通過結合FlexFilm單點膜厚儀的光學干涉技術，開發了一種覆蓋15nm至1.2mm

  光學器件 測量 表面輪廓儀 52瀏覽量

• 大面積薄膜光學映射與成像技術綜述：全光譜橢偏技術2025-07-22 09:53

  

  在微電子制造與光伏產業中，大面積薄膜的均勻性與質量直接影響產品性能。傳統薄膜表征方法（如濺射深度剖析、橫截面顯微鏡觀察）雖能提供高精度數據，但測量范圍有限且效率較低，難以滿足工業級大面積表面的快速檢測需求。本文聚焦光學表征技術的革新，重點闡述橢偏儀等光學方法在大面積薄膜映射與成像中的突破性應用。其中，Flexfilm全光譜橢偏儀以其獨特的技術優勢，在大面積薄

  測量 薄膜光伏 56瀏覽量

• 生物聚合物薄膜厚度測定：從傳統觸探輪廓儀到全光譜橢偏儀2025-07-22 09:53

  

  生物聚合物薄膜（如纖維素、甲殼素、木質素）因其可調控的吸水性、結晶度和光學特性，在涂層、傳感器和生物界面模型等領域應用廣泛。薄膜厚度是決定其性能的關鍵參數，例如溶脹行為、分子吸附和光學響應。然而，生物聚合物的高親水性、軟質結構及表面異質性使厚度精確測定面臨挑戰。本文系統總結了現有測定技術，以纖維素為代表性案例，探討方法優勢與局限性。近年來，Flexfilm全

  傳感器 機械 60瀏覽量

• 白光色散干涉：實現薄膜表面輪廓和膜厚的高精度測量2025-07-22 09:53

  

  薄膜結構在半導體制造中扮演著至關重要的角色，廣泛應用于微電子器件、光學涂層、傳感器等領域。隨著半導體技術的不斷進步，對薄膜結構的檢測精度和效率提出了更高的要求。傳統的檢測方法，如橢圓偏振法、反射法和白光掃描干涉法等，雖然在一定程度上能夠滿足測量需求，但存在一些局限性。針對這些現有技術的不足，本文提出了一種基于白光色散干涉法（WLDI）的高精度測量系統。該系統

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