Flexfilm文章

• 白光色散干涉：實現薄膜表面輪廓和膜厚的高精度測量2025-07-22 09:53

  

  薄膜結構在半導體制造中扮演著至關重要的角色，廣泛應用于微電子器件、光學涂層、傳感器等領域。隨著半導體技術的不斷進步，對薄膜結構的檢測精度和效率提出了更高的要求。傳統的檢測方法，如橢圓偏振法、反射法和白光掃描干涉法等，雖然在一定程度上能夠滿足測量需求，但存在一些局限性。針對這些現有技術的不足，本文提出了一種基于白光色散干涉法（WLDI）的高精度測量系統。該系統

  測量 表面輪廓儀 76瀏覽量

• 臺階高度的測量標準丨在臺階儀校準下半導體金屬鍍層實現測量誤差<1%2025-07-22 09:53

  

  在半導體芯片制造過程中，臺階結構的精確測量至關重要，通常采用白光干涉儀或步進儀等非接觸式測量設備進行監控。然而，SiO?/Si臺階高度標準在測量中存在的問題顯著影響了測量精度。傳統標準的上表面（SiO?）和下表面（Si）的折射率（n）和消光系數（k）差異導致了反射光的干涉相消現象，進而影響白光干涉儀的測量結果。為解決這一問題，本研究結合半導體濺射工藝，提出在

  半導體 測量 75瀏覽量

• 薄膜質量關鍵 | 半導體/顯示器件制造中薄膜厚度測量新方案2025-07-22 09:53

  

  在半導體和顯示器件制造中，薄膜與基底的厚度精度直接影響器件性能。現有的測量技術包括光譜橢偏儀（SE）和光譜反射儀（SR）用于薄膜厚度的測量，以及低相干干涉法（LCI）、彩色共焦顯微鏡（CCM）和光譜域干涉法（SDI）用于基板厚度的測量。本研究提出SR-SDI集成光學系統，通過可見光反射譜與近紅外干涉譜的協同處理，實現跨尺度同步厚度測量，并開發模型化干涉分析算

  半導體 顯示器件 測量 98瀏覽量

• 傳輸線法（TLM）優化接觸電阻：實現薄膜晶體管電氣性能優化2025-07-22 09:53

  

  本文通過傳輸線方法（TLM）研究了不同電極材料（Ti、Al、Ag）對非晶Si-Zn-Sn-O（a-SZTO）薄膜晶體管（TFT）電氣性能的影響，通過TLM接觸電阻測試儀提取了TFT的總電阻（RT）和接觸電阻（RC），結合電學表征和能帶分析，發現Ti電極因形成歐姆接觸且功函數差最小，顯著提升了遷移率和亞閾值擺幅等關鍵參數。1實驗設計與制備flexfilm(a)

  TLM 接觸電阻 晶體管 100瀏覽量

• 觸針式輪廓儀 | 臺階儀 | 納米級多臺階高度的精準測量2025-07-22 09:52

  

  臺階高度作為納米結構的關鍵參數，其測量精度直接影響相關研究與應用。本文利用觸針式輪廓儀對三臺階高度樣品進行測量與表征的方法。原始測量數據通過多項式擬合與低通濾波處理消除低頻偽影和高頻噪聲。實現了納米級三臺階高度樣本（8nm/18nm/26nm）的高精度測量。并應用于薄膜沉積速率的計算與驗證，結果顯示輪廓儀與光譜橢偏儀的沉積速率測量結果一致。1觸針輪廓儀測量f

  測量 表面輪廓儀 高精度 66瀏覽量

• 四探針法精準表征電阻率與接觸電阻 | 實現Mo/NbN低溫超導薄膜電阻器2025-07-22 09:52

  

  低溫薄膜電阻器作為超導集成電路的核心元件，其核心挑戰在于實現超導材料NbN與金屬電阻層Mo間的低接觸電阻（R?）。本文使用四探針法研究鉬（Mo）為電阻材料，利用其低電阻率和優異工藝重復性，通過NbN表面氬離子清洗活化及鋁（Al）繃帶層技術顯著降低界面接觸電阻，為NbN基超導器件提供可靠解決方案。電阻特性通過使用Xfilm埃利四探針方阻儀在2.5–300K溫區

  接觸電阻 電阻器 集成電路 74瀏覽量

• 接觸式表面輪廓測量儀校準方法比較分析2025-07-22 09:52

  

  接觸（觸針）式表面輪廓測量儀廣泛應用于機械加工、精密制造等領域，用于測量零件的輪廓尺寸、曲率半徑、直線度等參數。本文旨在比較《JJF（閩）1043—2011〈接觸（觸針）式表面輪廓測量儀校準規范〉》《JJF（冀）3012—2021〈觸針式表面輪廓測量儀校準規范〉》這兩種校準方法的差異，Flexfilm臺階儀可以驗證其有效性，為儀器校準提供技術參考。輪廓儀的基

  測量儀 輪廓測量儀 66瀏覽量

• 接觸電阻與傳輸線法TLM技術深度解密：從理論到實操，快速掌握精準測量核心2025-07-22 09:52

  

  Flexfilm專注于電阻/方阻及薄膜電阻檢測領域的創新研發與技術突破，致力于為全球集成電路和光伏產業提供高精度、高效率的量檢測解決方案。公司以核心技術為驅動，深耕半導體量測裝備及光伏電池電阻檢測系統的研發。在半導體以及光伏器件制造中，接觸電阻的精確測量是優化器件性能的關鍵。本文結合專業文獻深入解析接觸電阻的測量原理及TLM技術，并通過實例演示如何計算關鍵參

  半導體 接觸電阻 檢測 85瀏覽量

• 光伏建筑一體化BIPV：透射率與光伏發電效率的應用研究2025-07-22 09:52

  

  本研究針對傳統玻璃難以平衡采光與能源性能的問題，開發了一種多目標優化框架，用于設計半透明建筑集成光伏（ST-BIPV）玻璃。以武漢某大學辦公室為案例，建立參數化模型控制光伏玻璃的面積分布、透光率等關鍵變量，通過仿真評估采光充足度（sDA）、眩光空間自主率（sGA）和光伏發電效率（EP_e）并尋找帕累托最優解。最后采用K-means聚類算法對結果進行分析。Fl

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• 四探針法丨導電薄膜薄層電阻的精確測量、性能驗證與創新應用2025-07-22 09:52

  

  薄層電阻（SheetResistance,Rs）是表征導電薄膜性能的關鍵參數，直接影響柔性電子、透明電極及半導體器件的性能。四探針法以其高精度和可靠性成為標準測量技術，尤其適用于納米級薄膜表征。本文系統探討四探針法的測量原理、優化策略及其在新型導電薄膜研究中的應用，并結合FlexFilm在半導體量測裝備及光伏電池電阻檢測系統的技術積累，為薄膜電學性能的精確測

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