Flexfilm文章

• 芯片制造中的膜厚檢測 | 多層膜厚及表面輪廓的高精度測量2025-07-21 18:17

  

  隨著物聯網(IoT)和人工智能(AI)驅動的半導體器件微型化，對多層膜結構的三維無損檢測需求急劇增長。傳統橢偏儀僅支持逐點膜厚測量，而白光干涉法等技術難以分離透明薄膜的多層反射信號。本文提出一種單次曝光光譜分辨干涉測量法，通過偏振編碼與光譜分析結合，首次實現多層膜厚度與3D表面輪廓的同步實時測量。并使用Flexfilm探針式臺階儀對新方法的檢測精度進行驗證。

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• 分光光度法結合進化算法精確測定：金屬氧化物薄膜厚度與光學常數2025-07-21 18:17

  

  薄膜厚度和復折射率的測定通常通過橢圓偏振術或分光光度法實現。本研究采用Flexfilm大樣品倉紫外可見近紅外分光光度計精確測量薄膜的反射率（R）和透射率（T）光譜，為反演光學參數提供高精度實驗數據。該方法在太陽能電池、傳感器等領域至關重要，解決了傳統優化算法易陷入局部最優、商業軟件依賴初始猜測敏感的問題。通過進化算法（EAs）的群體搜索策略，實現了從350–

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