動(dòng)態(tài)
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發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54
半導(dǎo)體薄膜厚度測(cè)量丨基于光學(xué)反射率的厚度測(cè)量技術(shù)
在半導(dǎo)體制造中，薄膜的沉積和生長(zhǎng)是關(guān)鍵步驟。薄膜的厚度需要精確控制，因?yàn)楹穸绕顣?huì)導(dǎo)致不同的電氣特性。傳統(tǒng)的厚度測(cè)量依賴(lài)于模擬預(yù)測(cè)或后處理設(shè)備，無(wú)法實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)沉積過(guò)程中的厚度變化，可能導(dǎo)致工藝偏差和良率下降。為此，研究團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)了一種基于激光反射率的光學(xué)傳感器，能夠在真空環(huán)境下實(shí)時(shí)測(cè)量氧化膜（SiO?）、氮化膜（Si?N?）和多晶硅（p-Si）的厚度。FlexF -
發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54
半導(dǎo)體膜厚測(cè)量丨光譜反射法基于直接相位提取的膜厚測(cè)量技術(shù)
在現(xiàn)代半導(dǎo)體和顯示面板制造中，薄膜厚度的精確測(cè)量是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)方法如掃描電子顯微鏡（SEM）雖可靠，但無(wú)法用于在線檢測(cè)；橢圓偏振儀和光譜反射法（SR）雖能無(wú)損測(cè)量，卻受限于計(jì)算效率與精度的矛盾。近期，研究人員提出了一種創(chuàng)新方法——直接相位提取技術(shù)，成功打破了這一技術(shù)瓶頸。FlexFilm單點(diǎn)膜厚儀結(jié)合相位提取技術(shù)通過(guò)將復(fù)雜的非線性方程轉(zhuǎn)化為線 -
發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54
DLC薄膜厚度可精準(zhǔn)調(diào)控其結(jié)構(gòu)顏色，耐久性和環(huán)保性協(xié)同提升
類(lèi)金剛石碳（DLC）薄膜因高硬度、耐磨損特性，廣泛應(yīng)用于刀具、模具等工業(yè)領(lǐng)域，其傳統(tǒng)顏色為黑色或灰色。近期，日本研究團(tuán)隊(duì)通過(guò)等離子體化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)，將DLC薄膜厚度控制在20-80納米范圍內(nèi)，首次實(shí)現(xiàn)對(duì)其結(jié)構(gòu)色的精確調(diào)控。這一發(fā)現(xiàn)為材料的光學(xué)功能化提供了新方向。等離子體CVD裝置示意圖1結(jié)構(gòu)色產(chǎn)生的物理機(jī)制flexfilm結(jié)構(gòu)色由光的干涉效應(yīng)主導(dǎo) -
發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54
橢偏儀測(cè)量薄膜厚度的原理與應(yīng)用
在半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜及新能源材料等領(lǐng)域，精確測(cè)量薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)是材料表征的關(guān)鍵步驟。Flexfilm光譜橢偏儀（SpectroscopicEllipsometry,SE）作為一種非接觸、非破壞性的光學(xué)測(cè)量技術(shù)，通過(guò)分析光與材料相互作用后偏振態(tài)的變化，能夠同時(shí)獲取薄膜的厚度、折射率、消光系數(shù)等參數(shù)。本文將從原理、測(cè)量流程及實(shí)際應(yīng)用三個(gè)方面，解析橢偏儀如何實(shí)現(xiàn) -
發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54
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發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54
薄膜厚度測(cè)量技術(shù)的綜述：從光譜反射法（SR）到光譜橢偏儀（SE）
薄膜在半導(dǎo)體、顯示和二次電池等高科技產(chǎn)業(yè)中被廣泛使用，其厚度通常小于一微米。對(duì)于這些薄膜厚度的精確測(cè)量對(duì)于質(zhì)量控制至關(guān)重要。然而，能夠測(cè)量薄膜厚度的技術(shù)非常有限，而光學(xué)方法因其非接觸和非破壞性特點(diǎn)而被廣泛采用。Flexfilm全光譜橢偏儀不僅能夠滿(mǎn)足工業(yè)生產(chǎn)中對(duì)薄膜厚度和光學(xué)性質(zhì)的高精度測(cè)量需求，還能為科研人員提供豐富的光譜信息，助力新材料的研發(fā)和應(yīng)用。1光 -
發(fā)布了文章 2025-07-22 09:53
基于像散光學(xué)輪廓儀與單點(diǎn)膜厚技術(shù)測(cè)量透明薄膜厚度
透明薄膜在生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體及光學(xué)器件等領(lǐng)域中具有重要應(yīng)用，其厚度與光學(xué)特性直接影響器件性能。傳統(tǒng)接觸式測(cè)量方法（如觸針輪廓儀）易損傷樣品，而非接觸式光學(xué)方法中，像散光學(xué)輪廓儀（基于DVD激光頭設(shè)計(jì)）雖具備高分辨率全場(chǎng)掃描能力，但對(duì)厚度小于25μm的薄膜存在信號(hào)耦合問(wèn)題。本研究通過(guò)結(jié)合FlexFilm單點(diǎn)膜厚儀的光學(xué)干涉技術(shù)，開(kāi)發(fā)了一種覆蓋15nm至1.2mm -
發(fā)布了文章 2025-07-22 09:53
大面積薄膜光學(xué)映射與成像技術(shù)綜述：全光譜橢偏技術(shù)
在微電子制造與光伏產(chǎn)業(yè)中，大面積薄膜的均勻性與質(zhì)量直接影響產(chǎn)品性能。傳統(tǒng)薄膜表征方法（如濺射深度剖析、橫截面顯微鏡觀察）雖能提供高精度數(shù)據(jù)，但測(cè)量范圍有限且效率較低，難以滿(mǎn)足工業(yè)級(jí)大面積表面的快速檢測(cè)需求。本文聚焦光學(xué)表征技術(shù)的革新，重點(diǎn)闡述橢偏儀等光學(xué)方法在大面積薄膜映射與成像中的突破性應(yīng)用。其中，F(xiàn)lexfilm全光譜橢偏儀以其獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，在大面積薄 -
發(fā)布了文章 2025-07-22 09:53
生物聚合物薄膜厚度測(cè)定：從傳統(tǒng)觸探輪廓儀到全光譜橢偏儀
生物聚合物薄膜（如纖維素、甲殼素、木質(zhì)素）因其可調(diào)控的吸水性、結(jié)晶度和光學(xué)特性，在涂層、傳感器和生物界面模型等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。薄膜厚度是決定其性能的關(guān)鍵參數(shù)，例如溶脹行為、分子吸附和光學(xué)響應(yīng)。然而，生物聚合物的高親水性、軟質(zhì)結(jié)構(gòu)及表面異質(zhì)性使厚度精確測(cè)定面臨挑戰(zhàn)。本文系統(tǒng)總結(jié)了現(xiàn)有測(cè)定技術(shù)，以纖維素為代表性案例，探討方法優(yōu)勢(shì)與局限性。近年來(lái)，F(xiàn)lexfilm全 -
發(fā)布了文章 2025-07-22 09:53
白光色散干涉：實(shí)現(xiàn)薄膜表面輪廓和膜厚的高精度測(cè)量
薄膜結(jié)構(gòu)在半導(dǎo)體制造中扮演著至關(guān)重要的角色，廣泛應(yīng)用于微電子器件、光學(xué)涂層、傳感器等領(lǐng)域。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步，對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)的檢測(cè)精度和效率提出了更高的要求。傳統(tǒng)的檢測(cè)方法，如橢圓偏振法、反射法和白光掃描干涉法等，雖然在一定程度上能夠滿(mǎn)足測(cè)量需求，但存在一些局限性。針對(duì)這些現(xiàn)有技術(shù)的不足，本文提出了一種基于白光色散干涉法（WLDI）的高精度測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)
