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中科院半導體所

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刻蝕工藝的參數有哪些

本文介紹了刻蝕工藝參數有哪些。 刻蝕是芯片制造中一個至關重要的步驟,用于在硅片上形成微小的電路結構。....
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-05 16:03 ?1645次閱讀
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第三代寬禁帶半導體:碳化硅和氮化鎵介紹

? 第三代寬禁帶功率半導體在高溫、高頻、高耐壓等方面的優勢,且它們在電力電子系統和電動汽車等領域中有....
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-05 09:37 ?1262次閱讀
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激光導熱儀設備原理

本文介紹激光導熱儀 微納電子器件和光電器件向著模塊化、集成化、高頻化及小型化的方向不斷邁進,使其單位....
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-04 14:00 ?794次閱讀
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聲光調制原理說明

本文介紹聲光調制 聲光是研究聲音如何改變這種介質對光的影響,如圖所示。許多有用的光子器件利用聲音控制....
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-04 13:58 ?1228次閱讀
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填充片的定義及作用

本文介紹填充片的定義及作用 一、Dummy Wafer 的定義與作用 Dummy Wafer,中文稱....
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-04 13:56 ?763次閱讀

從平面晶體管到FinFET的演變

在90納米制程之前,每一代集成電路技術節點的縮放不僅帶來了更高的器件密度,還提升了器件性能。然而,當....
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-04 11:04 ?1011次閱讀
從平面晶體管到FinFET的演變

模塊封裝的關鍵工藝

區別于分立器件模塊的制造有一些特別的關鍵工藝技術,如銀燒結、粗銅線鍵合、端子焊接等。
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-04 11:01 ?650次閱讀
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多芯片封裝的基本概念和關鍵技術

本文簡單介紹了多芯片封裝的概念、技術、工藝以及未來發展趨勢。
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-04 10:59 ?1351次閱讀
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干法刻蝕側壁彎曲的原因及解決方法

本文介紹了干法刻蝕側壁彎曲的原因及解決方法。 什么是側壁彎曲? 如上圖,是典型的干法刻蝕時,側壁彎曲....
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-03 11:00 ?827次閱讀
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晶圓表面溫度對干法刻蝕的影響

本文介紹晶圓表面溫度對干法刻蝕的影響 表面溫度對干法刻蝕的影響主要包括:聚合物沉積,選擇性,光刻膠流....
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-03 10:48 ?1093次閱讀
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鍵合絲焊接質量控制說明

本文重點圍繞焊點機械性能指標的測試方法和判定標準,介紹了焊點測試、過程能力指數以及焊接不良的分析。 ....
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-03 09:29 ?630次閱讀
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功率模塊封裝工藝有哪些

本文介紹了有哪些功率模塊封裝工藝。 功率模塊封裝工藝 典型的功率模塊封裝工藝在市場上主要分為三種形式....
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-02 10:38 ?992次閱讀
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電光效應之普克爾效應和克爾效應

本文介紹了電光效應之普克爾效應和克爾效應。 電光是光子學的一個分支,研究光束的調制、切換、偏轉、掃描....
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-02 10:27 ?1144次閱讀
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SiO2薄膜的刻蝕機理

本文介紹了SiO2薄膜的刻蝕機理。 干法刻蝕SiO2的化學方程式怎么寫?刻蝕的過程是怎么樣的?干法刻....
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-02 10:20 ?1229次閱讀
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干法刻蝕工藝的不同參數

? ? ? 本文介紹了干法刻蝕工藝的不同參數。 干法刻蝕中可以調節的工藝參數有哪些?各有什么作用? ....
的頭像 中科院半導體所 發表于 12-02 09:56 ?1531次閱讀

晶圓制造生產周期時間的概念及意義

本文介紹生產周期時間的概念以及其意義。 生產周期時間的概念 生產周期時間是指從生產原料(如硅片)進入....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-28 11:16 ?1086次閱讀

常見的表面測量方法簡介

可實現更小晶體管的下一代技術是高數值孔徑EUV光刻。 眼睛是心靈的窗戶,人腦接收到的信息80%都是來....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-28 10:53 ?740次閱讀
常見的表面測量方法簡介

一文看懂光刻技術的演進

光刻機的分辨率受光源波長(λ)、工藝因子(k1)和數值孔徑(NA)三個主要參數的影響。根據瑞利第一公....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-28 09:58 ?1743次閱讀
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激光束能投射陰影,科學家顛覆傳統認知

??? 光及其與物質的各種相互作用的研究,幾個世紀以來一直是科學探究的基石。從早期對反射和折射現象的....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-28 09:09 ?535次閱讀

第三代半導體氮化鎵(GaN)基礎知識

第三代半導體氮化鎵(GaN)。它以其卓越的性能和廣泛的應用領域,在科技界掀起了一陣熱潮。 ? 今天我....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-27 16:06 ?1531次閱讀
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一種名為MARORA的等離子體選擇氧化裝置

??? 隨著半導體器件的精細化,晶體管柵極的尺寸逐漸縮小或微小結構越來越復雜。蝕刻過程中,蝕刻損傷會....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-27 15:59 ?771次閱讀
一種名為MARORA的等離子體選擇氧化裝置

硅晶棒產率提升措施

??? 主要回答以下兩個問題:加大硅芯直徑對產率有什么影響?加大硅棒的最終直徑對產率有什么影響???....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-27 10:56 ?470次閱讀
硅晶棒產率提升措施

隧穿晶體管的原理及優勢

本文介紹了隧穿晶體管的原理及它的優勢。 ? 我們所處的這個由永遠在線的個人電腦、平板電腦和智能手機構....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-27 09:04 ?979次閱讀
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等離子清洗技術原理??、分類???、特點、應用及發展趨勢

??? 等離子清洗技術是一種新型的表面處理技術,它通過利用等離子體中的活性粒子與材料表面的化學反應,....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-26 11:42 ?1327次閱讀

晶圓/晶粒/芯片之間的區別和聯系

本文主要介紹??????晶圓 (wafer)/晶粒 (die)/芯片 (chip)之間的區別和聯系。....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-26 11:37 ?1625次閱讀

透射電鏡(TEM)樣品制備方法

透射電子顯微鏡(TEM)是研究材料微觀結構的重要工具,其樣品制備是關鍵步驟,本節旨在解讀TEM樣品的....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-26 11:35 ?1983次閱讀
透射電鏡(TEM)樣品制備方法

顯微鏡在芯片失效分析中的具體應用場景及前景

??? 在芯片這個微觀且精密的領域,失效分析猶如一場探秘之旅,旨在揭開芯片出現故障背后的秘密。而顯微....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-26 11:32 ?829次閱讀

如何測量晶圓表面金屬離子的濃度

??? 本文主要介紹如何測量晶圓表面金屬離子的濃度。??? 金屬離子濃度為什么要嚴格控制????? ....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-26 10:58 ?553次閱讀
如何測量晶圓表面金屬離子的濃度

塑封、切筋打彎及封裝散熱工藝設計

本文介紹塑封及切筋打彎工藝設計重點,除此之外,封裝散熱設計是確保功率器件穩定運行和延長使用壽命的重要....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-26 10:46 ?1189次閱讀
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光學線型編碼器中的成像掃描、干涉掃描及全息型原理

? 本文介紹了光學線型編碼器中涉及到的成像掃描原理、干涉掃描原理以及全息型原理。 一、成像掃描原理 ....
的頭像 中科院半導體所 發表于 11-26 09:57 ?933次閱讀
光學線型編碼器中的成像掃描、干涉掃描及全息型原理