--- 產品參數 ---
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--- 產品詳情 ---
中圖儀器SJ6000精密激光干涉儀器利用激光干涉現象來實現非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優點。結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
產品配置
SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖
其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。
線性測量應用
SJ6000精密激光干涉儀器廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。
在動態測量軟件配合下,SJ6000激光干涉儀可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

動態測量概述
SJ6000動態測量軟件搭配線性鏡組、角度鏡組或直線度鏡組可以進行相應的線性、角度或直線度的動態測量與性能檢測。
動態測量包括基于時間的動態測量和基于距離的動態測量,SJ6000動態測量軟件可對動態測量數據進行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。

位移-時間曲線

速度-時間曲線

加速度-時間曲線

振幅-頻率曲線
動態測量應用
1、基于時間的動態測量
機器運動控制性能評價:
1)運動控制器PID控制參數測試與設置
2)高速運動后機器的穩定性測試與評價
3)高性能運動控制器的微小步幅的測試
2、振動監視
1)掃描應用:用于定位精度不重要,但恒速對實現高質量成像非常關鍵的場合
2)機床應用:典型應用包括要求刀具慢速、平穩輪廓運動的高質量表面精加工
3、振動頻率分析
1)被測對象的振動頻率分析
2)FFT快速傅立葉變換分析
4、基于距離的動態測量
基于距離的動態測量,SJ6000激光干涉儀系統將沿著軸線“飛行"測量,即運動軸在不停頓的情況下以用戶間隔進行數據采集。
5、提供脈沖觸發方式采集
CT70正交觸發盒可監控光柵、編碼器、控制器等信號,配合SJ6000激光干涉儀,可實現脈沖觸發啟動采集和連續脈沖觸發采集。適用于運動軸在不停頓的情況下,觸發激光干涉儀按照間隔位置進行數據采集。
產品功能
(1)可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實現對機床回轉軸的測量與校準;
(4)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;
(5)具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;
(6)SJ6000精密激光干涉儀器支持手動或自動進行環境補償。

部分技術指標
主機
穩頻精度:0.05ppm
動態采集頻率:50 kHz
預熱時間:≤ 6分鐘
工作溫度范圍:(0~40)℃
存儲溫度范圍:(-20~70)℃
環境濕度:(0~95)%RH
環境補償單元
空氣溫度傳感器:±0.1℃ (0~40)℃,分辨力0.01℃
材料溫度傳感器:±0.1℃ (0~55)℃,分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器:±6%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器:±0.1kPa (65~115)kPa
線性測量距離:(0~80)m (無需遠距離線性附件)
角度測量范圍:±10°
平面度測量范圍:±1.5mm
直線度測量范圍:±3mm
垂直度測量范圍:±3/M mm/m
便攜箱尺寸:613*460*230mm
標準配置重量:18kg
懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。
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