以軸套為例，兩側(cè)圓柱用于裝配軸承，如果不同心，會(huì)造成軸在旋轉(zhuǎn)的時(shí)候別著勁，輕則只是噪音加大，嚴(yán)重時(shí)候軸承短時(shí)間就會(huì)損壞，導(dǎo)致價(jià)值不菲的整機(jī)停擺。

傳統(tǒng)檢測低效、模糊、不可靠

1、游標(biāo)卡尺手工測量：反復(fù)測量兩側(cè)內(nèi)孔不同方向上的尺寸，通過計(jì)算差值間接推測偏差。過程繁瑣，主觀性強(qiáng)，且無法獲取真實(shí)的軸線空間關(guān)系。

2、千分表打表驗(yàn)證：需將軸承裝入軸套，置于磨床等設(shè)備上打表觀察跳動(dòng)。此方法效率極低，依賴操作者經(jīng)驗(yàn)，難以獲得精確的數(shù)字化同心度值，且結(jié)果受安裝、設(shè)備狀態(tài)等多因素干擾。

這種“手眼協(xié)同”的方式普遍存在效率低下、誤差累積大、更無法提供精確的數(shù)字化結(jié)果。當(dāng)質(zhì)量工程師面對模糊的檢測數(shù)據(jù)時(shí)，生產(chǎn)線上潛藏的風(fēng)險(xiǎn)正在悄然累積。

高精度三坐標(biāo)：精準(zhǔn)、高效的解決方案

針對半導(dǎo)體設(shè)備核心部件嚴(yán)苛的同心度檢測需求，Mars Classic 8106 高性能橋式三坐標(biāo)測量機(jī)結(jié)合ACH100T高精度測座及Power DMIS專業(yè)測量軟件，提供解決方案：

1、微米級精度保障：系統(tǒng)采用先進(jìn)的光柵尺、精密機(jī)械結(jié)構(gòu)與高剛性材料，結(jié)合ACH100T測座的重復(fù)定位精度，確保測量結(jié)果真實(shí)反映工件微米級的形位公差，為同心度判定提供堅(jiān)實(shí)的數(shù)據(jù)基礎(chǔ)。

2、智能編程，一鍵測量：

（1）CAD數(shù)模驅(qū)動(dòng)：將軸套的精確三維CAD模型直接導(dǎo)入Power DMIS軟件，作為測量的基準(zhǔn)和路徑規(guī)劃依據(jù)。

（2）自動(dòng)化程序編制：軟件根據(jù)模型特征和測量要求（如兩側(cè)內(nèi)孔），快速生成高效、無碰撞的自動(dòng)測量路徑。操作人員無需復(fù)雜編程。

（3）精準(zhǔn)觸發(fā)采集：使用點(diǎn)測頭配合直測針，精確觸發(fā)采集兩側(cè)內(nèi)孔圓柱面上的多個(gè)點(diǎn)（通常需滿足空間分布要求）。

3、科學(xué)計(jì)算，直觀呈現(xiàn)：軟件內(nèi)置強(qiáng)大的幾何算法引擎，基于采集的點(diǎn)云數(shù)據(jù)，瞬間擬合出兩側(cè)內(nèi)孔的理想圓柱軸線，并精確計(jì)算出兩軸線間的空間同心度誤差值（通常以最大距離或直徑差表示），同時(shí)也可精確給出孔徑尺寸。結(jié)果以數(shù)字、圖表（如偏差色譜圖）形式清晰呈現(xiàn)。

半導(dǎo)體精密制造的高地上，三坐標(biāo)測量機(jī)已從單純的檢測工具，進(jìn)化為驅(qū)動(dòng)質(zhì)量與效率雙提升的核心引擎。無論是簡單軸套還是復(fù)雜異形件，三坐標(biāo)強(qiáng)大的空間解析能力均可應(yīng)對，全面覆蓋半導(dǎo)體設(shè)備各類核心部件的檢測需求。