全自動晶圓精密劃片機使用環(huán)境要求
1、切割水:進水管φ12mm,采用去離子水,電阻率≥2MΩ,水壓0.2Mpa-0.4Mpa,水流量大于等于13LPM,水溫控制在±1℃。
2、主軸冷卻水:進出水管φ12mm,采用高純水,水壓0.2Mpa-0.4Mpa,水流量≥3LPM,水溫19℃-23℃。
3、電源規(guī)格:3相220V,3相5線制,除此規(guī)格以外需要加變壓器。
4、壓縮空氣:請使用大氣壓水汽結(jié)露點-15℃,油殘存不大于0.1ppm,過濾度0.01μm/99.5%以上的潔凈壓縮空氣,壓力0.5Mpa-0.6Mpa,流量450LPM。
5、抽風口:接入φ75風管。
6、避免把設備放置在有震動的工作環(huán)境工作,遠離鼓風機、通風口、高溫裝置、油污等環(huán)境。
7、室內(nèi)溫度20-25℃,溫度變化不大于±1℃
8、工廠具有防水性底板。
RO凈化水和EDI超純水制成設備

壓縮空氣/凈化設備

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晶圓
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