據報道，日前，中科漢韻半導體有限公司（簡稱“中科漢韻”）設備陸續進場安裝調試，明年5月全面達產后，將年產5000片碳化硅功率器件等分立半導體器件。

此外，中科漢韻董事長袁述表示，設備在陸陸續續的安裝中，從***到薄膜，到刻蝕化學腐蝕離子注入等等，都是比較先進的。大概到明年二月底之前希望能夠全部進來安裝。

據了解，中科漢韻二期項目計劃2021年開始實施，全新配置6寸工藝線，將成為國內首家規模化生產碳化硅MOSFET芯片和模塊的企業。

中科漢韻成立于2019年1月，位于江蘇徐州經濟技術開發區，是由中國科學院微電子研究所和徐州中科芯韻半導體產業投資基金共同在徐州投資的半導體芯片企業。

據介紹，公司聚焦于第3代半導體碳化硅MOSFET芯片和模塊的研發、生產和銷售，定位于電動汽車、數據中心、機器人等新基建用碳化硅器件核心技術的跟蹤、創新和技術引領。一期配置4寸工藝線，年產5000片碳化硅功率器件等分立半導體器件。
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