12月13日,在2019中國(珠海)集成電路產業高峰論壇上,北方華創首席科學家劉韶華進行了《NAURA助力8英寸特色工藝市場創新發展》的演講。
劉韶華指出,在市場驅動下,未來幾年功率器件市場增速最快,達到23%;MEMS傳感器達到18%。據SEMI相關數據,在旺盛的市場需求下,2019-2022年間,8英寸產能將增長14%,約70萬片/月。
8英寸晶圓代工廠具有成熟制程、特色工藝開發、產品多樣化、固定成本低、運營成本低等優勢,而物聯網等半導體第三波發展浪潮為200毫米晶圓廠注入了新的活力,預計在2030年前市場持續增長。臺積電、聯電、世界先進的8英寸代工產能滿載,均有擴產計劃。
伴隨著旺盛的市場需求,大陸迎來了8英寸擴產浪潮。中國大陸8英寸晶圓廠現有產線23條,在建產線6條,目前產能約80萬片/月。據SEMI預測,到2020年底,中國大陸整體的8英寸硅晶圓供應產能將達到130萬片/月。
而新建月產能9萬片的8英寸成熟制程工廠,大約需要800臺各類設備,其中氧化退火、刻蝕以及CVD是需求最多的工藝設備種類,隨著大陸擴產熱潮,設備市場前景可期。
據Surplus Global統計,近年來全球8英寸二手設備供應量逐年萎縮,2018、2019供應量不足500臺;由于二手設備流通量逐漸減少,導致設備價格在過去的幾年內快速上漲,目前二手設備價格處于歷史高位并且還在上漲;在這種背景下,部分國際大廠恢復了200mm的業務,享受市場供需緊張帶來的收益,以較高的價格出售新機臺。
劉韶華表示,8英寸設備市場需求旺盛,前景可期,而新工藝新應用也帶來了很多新挑戰,目前,國產設備面臨設備老舊、能力不足、核心設備嚴重短缺等問題,面對這種狀況,劉韶華提出了“國產設備,特色開發”。即定制開發、持續的工藝創新、產業鏈深度合作、針對新需求的硬件設計、專業的本土化服務團隊。
而技術發展引入的新材料、新技術和新工藝也對設備提出了更高的要求,因此國產廠商需加強合作、緊跟創新技術發展的需求。
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