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EUV光刻技術(shù) - 即將在芯片上繪制微小特征的下一代技術(shù) – 原來是預(yù)計(jì)在2012年左右投產(chǎn)。但是幾年過去了,EUV已經(jīng)遇到了一些延遲,將技術(shù)從一個(gè)節(jié)點(diǎn)推向下一個(gè)階段,本單元詳細(xì)介紹了EUV光刻機(jī),EUV光刻機(jī)技術(shù)的技術(shù)應(yīng)用,EUV光刻機(jī)的技術(shù)、市場問題,國產(chǎn)euv光刻機(jī)發(fā)展等內(nèi)容。
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國產(chǎn)光刻膠市場前景 國內(nèi)廠商迎來發(fā)展良機(jī)
半導(dǎo)體光刻膠用光敏材料仍屬于“卡脖子”產(chǎn)品,海外進(jìn)口依賴較重,不同品質(zhì)之間價(jià) 格差異大。以國內(nèi) PAG 對應(yīng)的化學(xué)放大型光刻膠(主要是 KrF、ArF ...
沉浸式光刻技術(shù)是在傳統(tǒng)的光刻技術(shù)中,其鏡頭與光刻膠之間的介質(zhì)是空氣,而所謂浸入式技術(shù)是將空氣介質(zhì)換成液體。實(shí)際上,浸入式技術(shù)利用光通過液體介質(zhì)后光源波長...
臺積電投資250億美元建廠,明年4月試產(chǎn)5nm EUV工藝
在7nm及以下節(jié)點(diǎn)上,臺積電的進(jìn)展是最快的,今年量產(chǎn)7nm不說,最快明年4月份就要試產(chǎn)5nm EUV工藝了,不過這個(gè)節(jié)點(diǎn)的投資花費(fèi)也是驚人的,臺積電投資...
消息稱三星5nm等部分工藝良率低于50%,三星沒否認(rèn)
在全球晶圓代工市場上,臺積電的市場份額超過了50%,位居第一,其產(chǎn)能和技術(shù)都是領(lǐng)先的。排名第二的三星拿下了超過20%的市場份額,先進(jìn)工藝直追臺積電,高通...
關(guān)于ASML EUV工藝的最新信息進(jìn)展
在上周的Semicon West上,ASML提供了有關(guān)當(dāng)前EUV系統(tǒng)以及正在開發(fā)的0.55高NA系統(tǒng)的最新信息。
十多年來,半導(dǎo)體制造行業(yè)一方面一直在期待EUV能夠拯救摩爾定律,但另一方面又擔(dān)心該技術(shù)永遠(yuǎn)都不會出現(xiàn)。不過最終,它還是來了,而且不久便將投入使用。
AMSL宣布:無須美國許可同意可向中國供貨DUV光刻機(jī),但EUV受限
光刻機(jī),在整個(gè)芯片生產(chǎn)制造環(huán)節(jié),是最最最核心的設(shè)備,技術(shù)難度極高。在全球光刻機(jī)市場,日本的尼康、佳能,和荷蘭的ASML,就占據(jù)了市場90%以上份額。而最...
三星最先進(jìn)EUV產(chǎn)線投用:7nm產(chǎn)能今年增加兩倍
V1產(chǎn)線/工廠2018年2月動工,2019年下半年開始測試晶圓生產(chǎn),首批產(chǎn)品今年一季度向客戶交付。目前,V1已經(jīng)投入7nm和6nm EUV移動芯片的生產(chǎn)...
Cadence 數(shù)字全流程解決方案通過三星5LPE工藝認(rèn)證
采用極紫外(EUV)光刻技術(shù)的Cadence 數(shù)字全流程解決方案已通過Samsung Foundry 5nm早期低功耗版(5LPE)工藝認(rèn)證。
光刻機(jī)行業(yè)需求空間廣闊,國產(chǎn)設(shè)備有優(yōu)勢嗎?
光刻機(jī)技術(shù)壁壘高且投資占比大,芯片尺寸的縮小以及性能的提升依賴于光刻技術(shù)的發(fā)展。
日韓貿(mào)易戰(zhàn)愈演愈烈 將直接影響三星電子EUV工藝研發(fā)進(jìn)度
近日,日韓貿(mào)易戰(zhàn)愈演愈烈,日本宣布氟聚酰亞胺(Fluorine Polyimide)、半導(dǎo)體制造中的核心材料光刻膠和高純度氟化氫(Eatching Ga...
臺積電EUV光刻機(jī)采購將超過50臺;完全自主知識產(chǎn)權(quán)!我國三代核電技術(shù) “國和一號”研發(fā)完成…
9月28日消息,臺積電加速先進(jìn)制程推進(jìn),近期擴(kuò)大釋單,累計(jì) EUV 機(jī)臺至 2021年底將超過50臺。報(bào)道指出,相較之下,三星電子(Samsung El...
芯片制造關(guān)鍵的EUV光刻機(jī)單價(jià)為何能超1億歐元?
進(jìn)入10nm工藝節(jié)點(diǎn)之后,EUV光刻機(jī)越來越重要,全球能產(chǎn)EUV光刻機(jī)的就是荷蘭ASML公司了,他們總共賣出18臺EUV光刻機(jī),總價(jià)值超過20億歐元,折...
據(jù)知情人士透露,中國最大的晶圓代工廠中芯國際已經(jīng)訂購了一臺EUV設(shè)備,在中美兩國貿(mào)易緊張的情況下,此舉旨在縮小與市場領(lǐng)先者的技術(shù)差距,確保關(guān)鍵設(shè)備的供應(yīng)...
SK 海力士 M16 新廠已竣工:首次使用極紫外輻射(EUV)光刻機(jī)在生產(chǎn)存儲芯片
存儲芯片廠商 SK 海力士 2 月 1 日宣布,其公司位于韓國首爾南部利川市的 M16 新廠已經(jīng)竣工,SK 海力士將首次使用極紫外輻射(EUV)光刻機(jī)在...
傳三星與SK海力士正在研發(fā)EUV技術(shù) 未來有機(jī)會藉此將生產(chǎn)DRAM的成本降低
就在臺積電與三星在邏輯芯片制程技術(shù)逐漸導(dǎo)入EUV技術(shù)之后,存儲器產(chǎn)業(yè)也將追隨。也就是全球存儲器龍頭三星在未來1Y納米制程的DRAM存儲器芯片生產(chǎn)上,也在...
臺積電 | 首次加入EUV極紫外光刻技術(shù) 7nm+工藝芯片已量產(chǎn)
臺積電官方宣布,已經(jīng)開始批量生產(chǎn)7nm N7+工藝,這是臺積電第一次、也是行業(yè)第一次量產(chǎn)EUV極紫外光刻技術(shù),意義非凡。
三星Exynos 1080處理器 5nm EUV FinFET工藝制造
蘋果A14仿生芯片拉動手機(jī)芯片正式跨入了5nm時(shí)代。三星不甘人后,今天發(fā)布的三星Exynos 1080處理器,采用了5nm制程工藝,在性能和功耗控制等方...
EUV光刻工藝終于商業(yè)化 新一代EUV光刻工藝正在籌備
隨著三星宣布7nm EUV工藝的量產(chǎn),2018年EUV光刻工藝終于商業(yè)化了,這是EUV工藝研發(fā)三十年來的一個(gè)里程碑。不過EUV工藝要想大規(guī)模量產(chǎn)還有很多...
三星首次分享了基于EUV技術(shù)的7nm工藝細(xì)節(jié)
另外,7nm EUV的好處還在于,比多重曝光的步驟要少,也就是相同時(shí)間內(nèi)的產(chǎn)量將提升。當(dāng)然,這里說的是最理想的情況, 比如更好的EUV薄膜以減少光罩的污...
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