引言

在半導(dǎo)體制造與微納加工行業(yè)，光刻膠剝離液的使用量龐大。傳統(tǒng)剝離液存在環(huán)境污染、資源消耗等問題，可再生光刻膠剝離液憑借環(huán)保與可持續(xù)優(yōu)勢成為研究熱點。同時，白光干涉儀在光刻圖形測量中的應(yīng)用，為保障工藝質(zhì)量提供了關(guān)鍵技術(shù)支撐。

可再生光刻膠剝離液及其制備方法

常見可再生光刻膠剝離液類型

生物基剝離液

生物基剝離液以生物質(zhì)為原料，如植物提取物、發(fā)酵產(chǎn)物等。其主要成分包含有機酸、醇類等天然物質(zhì)，這些物質(zhì)能夠與光刻膠發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng)，實現(xiàn)光刻膠的有效剝離。例如，利用檸檬酸等有機酸的絡(luò)合能力，破壞光刻膠分子結(jié)構(gòu)；以生物乙醇作為溶劑，增強對光刻膠的溶解性能。生物基剝離液具有來源廣泛、可生物降解的特點，極大降低了對環(huán)境的污染 。

可回收型剝離液

可回收型剝離液通過特殊的分離技術(shù)，在使用后能夠?qū)⑵渲械挠行С煞只厥赵倮谩３Ｒ姷幕厥辗椒òㄕ麴s、萃取等。以含有特定有機溶劑的剝離液為例，使用后可通過蒸餾的方式，依據(jù)各成分沸點差異，將有機溶劑分離提純，重新用于剝離液的配制。這種剝離液減少了原材料的消耗，降低了生產(chǎn)成本，同時也減少了廢棄物的產(chǎn)生。

可再生光刻膠剝離液制備要點

制備生物基剝離液時，需對生物質(zhì)原料進行預(yù)處理，如提取、發(fā)酵優(yōu)化等，以提高有效成分的含量和活性。在成分復(fù)配階段，要精確控制有機酸、溶劑、助劑等的比例，確保剝離液對不同類型光刻膠的剝離效果。對于可回收型剝離液，制備過程中需考慮后續(xù)回收工藝的適配性，選擇合適的溶劑和添加劑，保證回收過程簡單高效且不影響剝離液性能。此外，無論哪種類型，都要對剝離液的穩(wěn)定性、腐蝕性等性能進行嚴(yán)格測試和優(yōu)化，通過調(diào)整配方和工藝參數(shù)，使剝離液滿足工業(yè)生產(chǎn)需求。

白光干涉儀在光刻圖形測量中的應(yīng)用

測量原理

白光干涉儀基于光的干涉特性，將白光光源發(fā)出的光經(jīng)分光鏡分為測量光和參考光。測量光照射到待測光刻圖形表面反射回來，與參考光相遇產(chǎn)生干涉條紋。由于光刻圖形不同位置的高度差異，導(dǎo)致反射光的光程差不同，進而形成不同的干涉條紋圖案。通過分析干涉條紋的形狀、間距和強度等信息，結(jié)合光程差與表面高度的對應(yīng)關(guān)系，可精確計算出光刻圖形的高度、深度、線寬等參數(shù)。

測量優(yōu)勢

白光干涉儀具備高精度、非接觸式測量的特點，其測量精度可達(dá)納米級別，能夠精準(zhǔn)捕捉光刻圖形細(xì)微的尺寸變化。非接觸測量避免了對脆弱光刻圖形的物理損傷，保證了樣品的完整性。同時，測量速度快，可實現(xiàn)實時在線檢測，并能通過專業(yè)軟件對測量數(shù)據(jù)進行可視化處理，直觀呈現(xiàn)光刻圖形的形貌特征，便于工藝優(yōu)化和質(zhì)量控制。

實際應(yīng)用

在使用可再生光刻膠剝離液的工藝中，白光干涉儀發(fā)揮著重要作用。剝離前，可測量光刻膠的厚度、光刻圖形的初始形貌，評估光刻工藝的質(zhì)量；剝離過程中，實時監(jiān)測光刻膠的去除情況，判斷剝離進程是否正常；剝離完成后，精確測量殘留光刻膠的厚度、基片表面的粗糙度以及光刻圖形的最終尺寸，為優(yōu)化可再生剝離液配方和剝離工藝提供準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持，確保產(chǎn)品符合設(shè)計要求 。

一款可以“實時”動態(tài)/靜態(tài) 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀

1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復(fù)雜的問題，實現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實現(xiàn)卓越的重復(fù)性表現(xiàn)。

2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù)，Z向測量范圍高達(dá)100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復(fù)雜形貌測量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測振系統(tǒng)，實現(xiàn)實現(xiàn)“動態(tài)”3D輪廓測量。

實際案例

（以上為新啟航實測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

1，優(yōu)于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7nm

（以上為新啟航實測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

2，毫米級視野，實現(xiàn)5nm-有機油膜厚度掃描

（以上為新啟航實測樣品數(shù)據(jù)結(jié)果）

3，卓越的“高深寬比”測量能力，實現(xiàn)深蝕刻槽深槽寬測量。

審核編輯 黃宇