白光干涉儀測量原理

基本原理：白光干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡分成兩束，一束光經被測表面反射回來，另一束光經參考鏡反射，兩束反射 光最終匯聚并發生干涉。兩束相干光間光程差的任何變化會靈敏地導致干涉條紋的移動，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起。通過測量干涉條紋的變化，就可以測量出被測表面的相關物理量。

白光的特點及優勢：白光屬于多色光，具有連續的光譜。與單色光干涉不同，白光干涉在一定光程差范圍內會出現彩色的干涉條紋，并且只有在零光程差附近的極小范圍內才會出現清晰的、對比度高的干涉條紋。這一特性使得白光干涉儀在測量時能夠通過精確尋找零光程差位置來實現高精度的測量，對于微觀形貌的測量具有獨特的優勢。

干涉測量技術的應用

1、在工業生產中的應用：

（1）半導體制造：在半導體芯片制造過程中，白光干涉儀可用于測量芯片表面的形貌、薄膜厚度、臺階高度等參數，對芯片的制造工藝進行監控和質量檢測。例如，在光刻工藝后，可檢測光刻膠的厚度和表面平整度；在刻蝕工藝后，可測量刻蝕深度和表面粗糙度，確保芯片的性能和可靠性。而具備雙重防撞保護功能的白光干涉儀，在操作過程中更加安全可靠。Z軸上裝有防撞機械電子傳感器以及軟件ZSTOP防撞保護功能，為精密的測量過程提供了雙重保障，讓用戶在進行半導體制造的高精度測量時多一重安心。

（2）光學加工：用于光學鏡片、透鏡、棱鏡等光學元件的表面形貌測量和質量檢測。可以測量光學元件的表面粗糙度、曲率半徑、面形精度等參數，幫助優化光學加工工藝，提高光學元件的質量。例如，在高精度光學鏡頭的制造中，白光干涉儀可以檢測鏡頭表面的微觀形貌，確保鏡頭的成像質量。有了雙重防撞保護功能，能有效避免在測量過程中因意外碰撞對儀器造成的損壞，保證了光學加工領域持續穩定的高精度測量。

（3）汽車零部件制造：汽車發動機的缸體、活塞、氣門等零部件的表面形貌和尺寸精度對汽車的性能和可靠性至關重要。白光干涉儀可以用于這些零部件的表面粗糙度、平面度、圓柱度等參數的測量，為汽車零部件的制造提供高精度的檢測手段。其雙重防撞保護功能更是為頻繁的工業測量環境增添了一份安全保障，確保儀器在復雜的汽車零部件制造場景下穩定運行。

2、在科學研究中的應用：

（1）材料科學研究：研究材料的表面形貌、結構和性能之間的關系。例如，對于納米材料、薄膜材料、復合材料等，白光干涉儀可以測量其表面形貌和厚度，分析材料的結構和性能。同時，還可以用于研究材料的摩擦磨損、腐蝕等表面現象，為材料的研發和應用提供重要的實驗數據。具備雙重防撞保護的白光干涉儀，能讓科研人員在進行精密測量時無需過多擔憂意外碰撞對儀器的損害，更加專注于材料科學研究。

（2）微機電系統（MEMS）研究：MEMS器件的尺寸通常在微米或納米級別，其表面形貌和結構對器件的性能和可靠性有著重要的影響。白光干涉儀可以用于MEMS器件的表面形貌測量、結構尺寸測量、薄膜厚度測量等，為MEMS器件的設計、制造和性能評估提供重要的技術支持。而雙重防撞保護功能為MEMS研究中的高精度測量提供了可靠保障，防止因意外碰撞導致儀器精度下降甚至損壞。

3、在其他領域的應用：

航空航天領域：在航空航天領域，白光干涉儀可用于飛機發動機葉片的表面形貌測量、飛機機身的表面平整度檢測、衛星零部件的尺寸精度測量等，為航空航天設備的制造和維護提供高精度的檢測手段。在這個對精度要求極高的領域，具備雙重防撞保護功能的白光干涉儀能夠確保測量過程的安全可靠，為航空航天事業的發展提供有力支持。

雙重防撞保護，給精密測量多一份保障

白光干涉儀作為精密測量儀器，其雙重防撞保護功能的重要性不言而喻。在各種復雜的測量環境中，無論是工業生產、科學研究還是其他領域，都可能面臨意外碰撞的風險。而SuperViewW白光干涉儀防撞機械電子傳感器和軟件 ZSTOP防撞保護功能的雙重保障，能夠有效地保護儀器免受損壞，確保測量結果的準確性和可靠性。這不僅為用戶節省了維修成本和時間，更保證了工作的連續性和高效性，為各個領域的發展提供了堅實的技術支持。