電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文/吳子鵬）近日，國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局在其官網(wǎng)正式對(duì)外發(fā)布了第二十五屆中國專利獎(jiǎng)評(píng)審結(jié)果。根據(jù)《中國專利獎(jiǎng)評(píng)獎(jiǎng)辦法（2023年修訂）》《國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局關(guān)于評(píng)選第二十五屆中國專利獎(jiǎng)的通知》規(guī)定，第二十五屆中國專利獎(jiǎng)共評(píng)選出中國專利金獎(jiǎng)?lì)A(yù)獲獎(jiǎng)項(xiàng)目30項(xiàng)，中國外觀設(shè)計(jì)金獎(jiǎng)?lì)A(yù)獲獎(jiǎng)項(xiàng)目10項(xiàng)，中國專利銀獎(jiǎng)?lì)A(yù)獲獎(jiǎng)項(xiàng)目60項(xiàng)，中國外觀設(shè)計(jì)銀獎(jiǎng)?lì)A(yù)獲獎(jiǎng)項(xiàng)目15項(xiàng)，中國專利優(yōu)秀獎(jiǎng)?lì)A(yù)獲獎(jiǎng)項(xiàng)目610項(xiàng)，中國外觀設(shè)計(jì)優(yōu)秀獎(jiǎng)?lì)A(yù)獲獎(jiǎng)項(xiàng)目47項(xiàng)。

作為國民經(jīng)濟(jì)支柱性行業(yè)之一，信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的重要組成部分，支撐經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展和保障國家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，半導(dǎo)體領(lǐng)域創(chuàng)新是衡量一個(gè)國家科技發(fā)展水平的核心指標(biāo)之一。此次評(píng)選，有多家國內(nèi)知名的半導(dǎo)體企業(yè)入選，包括深圳新聲半導(dǎo)體有限公司、中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司、華海清科股份有限公司、廣東風(fēng)華高新科技股份有限公司、山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司、北京智芯微電子科技有限公司等。

新聲半導(dǎo)體的體聲波諧振器

新聲半導(dǎo)體成立于2021年3月，是國家重點(diǎn)扶持的高新技術(shù)企業(yè)。新聲半導(dǎo)體致力于設(shè)計(jì)與銷售各類濾波器，包括BAW、SAW、TC-SAW、TF-SAW、IPD等，提供從濾波器、雙工器、多工器到模組的全系列產(chǎn)品，覆蓋6GHz以下全頻段。

新聲半導(dǎo)體入選的專利是《體聲波諧振器》，該專利通過實(shí)現(xiàn)平坦的電極和壓電薄膜結(jié)構(gòu)，極大提升了諧振器的品質(zhì)因數(shù)。新聲半導(dǎo)體的該項(xiàng)技術(shù)已成功應(yīng)用于手機(jī)、平板電腦、物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備及可穿戴裝置等多種通信產(chǎn)品中，為這些設(shè)備提供了更加穩(wěn)定和高效的射頻解決方案。這一成果不僅滿足了5G通信的高性能需求，也讓新聲在體聲波諧振器技術(shù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了全球領(lǐng)先的地位。

雖然相較于其他入選的半導(dǎo)體企業(yè)而言，新聲半導(dǎo)體的成立時(shí)間較短，不過該公司的技術(shù)創(chuàng)新能力得到了業(yè)界的廣泛認(rèn)可。除了本次入選的專利，近一段時(shí)間以來，新聲半導(dǎo)體有多項(xiàng)專利結(jié)果公開，包括《一種聲表面波諧振器及濾波器》專利，該專利申請(qǐng)于2024年11月；《一種溫度補(bǔ)償型聲表面波諧振器的制作方法》專利，該專利申請(qǐng)于2024年11月。同時(shí)，該公司還有多項(xiàng)“集成電路布圖設(shè)計(jì)專有權(quán)公告”發(fā)布于國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)。

在高效、高質(zhì)量的創(chuàng)新推動(dòng)下，新聲半導(dǎo)體的產(chǎn)品已經(jīng)在智能通訊設(shè)備（智能手機(jī)、平板等）、物聯(lián)網(wǎng)和可穿戴等領(lǐng)域落地，高質(zhì)量完成技術(shù)創(chuàng)新到商業(yè)落地的成果轉(zhuǎn)化。

中微公司的化學(xué)氣相沉積裝置

中微公司是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設(shè)備公司，為集成電路和泛半導(dǎo)體行業(yè)提供極具競(jìng)爭力的高端設(shè)備和高品質(zhì)的服務(wù)。中微開發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備和化學(xué)薄膜設(shè)備是制造各種微觀器件的關(guān)鍵設(shè)備，可加工微米級(jí)和納米級(jí)的各種器件。

中微公司入選的專利是《一種化學(xué)氣相沉積裝置及其清潔方法》，根據(jù)專利介紹，該專利是一種化學(xué)氣相沉積裝置，包括反應(yīng)腔，位于反應(yīng)腔上方的反應(yīng)區(qū)域和位于反應(yīng)腔底部的排氣區(qū)域，聯(lián)通到反應(yīng)腔外部的抽氣裝置；所述排氣區(qū)域包括一個(gè)隔離裝置，將排氣區(qū)域分隔為內(nèi)外排布的一個(gè)排氣腔和一個(gè)存儲(chǔ)腔，所述隔離裝置包括一個(gè)側(cè)壁，側(cè)壁上開設(shè)有氣體開口使排氣腔和存儲(chǔ)腔之間聯(lián)通，所述排氣區(qū)域還包括一個(gè)可上下移動(dòng)的刮擦部件，其可以在所述排氣口的上下兩端之間移動(dòng)。

華海清科的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備

華海清科是一家擁有核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端半導(dǎo)體裝備制造商，公司主要產(chǎn)品包括CMP裝備、減薄裝備、劃切裝備、濕法裝備、晶圓再生、關(guān)鍵耗材與維保服務(wù)，打造了“裝備+服務(wù)”的平臺(tái)化戰(zhàn)略布局。公司核心團(tuán)隊(duì)成員來自半導(dǎo)體行業(yè)專業(yè)人才，公司主要產(chǎn)品及服務(wù)已廣泛應(yīng)用于集成電路、先進(jìn)封裝、大硅片、第三代半導(dǎo)體、MEMS、Micro LED等制造工藝。

華海清科入選的專利是《化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)及具有它的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備》，這項(xiàng)技術(shù)助推國產(chǎn)CMP設(shè)備向著更高水平發(fā)展。目前，華海清科推出的CMP設(shè)備包括Universal-300系列、Universal-200系列和Universal-150系列。其中，Universal-300 T是在華海清科先進(jìn)CMP設(shè)備基礎(chǔ)上，根據(jù)行業(yè)前沿技術(shù)需求開發(fā)的領(lǐng)先型12英寸CMP設(shè)備。該設(shè)備基于華海清科自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的創(chuàng)新技術(shù)，配備性能優(yōu)越的拋光單元，集成多種終點(diǎn)檢測(cè)技術(shù)，并搭載更先進(jìn)的組合清洗技術(shù)，展現(xiàn)出更卓越的清潔效果。該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)晶圓納米級(jí)全局平坦化，滿足先進(jìn)制程技術(shù)需求，已在集成電路、先進(jìn)封裝、大硅片等制造工藝中批量應(yīng)用。

除了上述具體介紹的公司和專利，此次入選的公司和專利還有風(fēng)華高科和該公司的《一種抗硫化片式電阻器及其制造方法》專利，天岳先進(jìn)和該公司的《一種高平整度、低損傷大直徑單晶碳化硅襯底》專利，芯可鑒科技、智芯微和國網(wǎng)信息通信共同研發(fā)的《用于制備高壓 LDMOS器件的方法及器件》等。這些公司和專利的入選，代表了國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的高水平發(fā)展，也表示國產(chǎn)半導(dǎo)體企業(yè)對(duì)于專利保護(hù)越來越重視。

結(jié)語

半導(dǎo)體是一個(gè)典型的資本和技術(shù)密集型行業(yè)，而且是高度密集。當(dāng)前，國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，更應(yīng)該重視知識(shí)產(chǎn)權(quán)的保護(hù)，專利為發(fā)明創(chuàng)造提供了法律保護(hù)，防止他人未經(jīng)許可制造、使用、銷售或進(jìn)口相關(guān)技術(shù)。對(duì)于國產(chǎn)半導(dǎo)體企業(yè)而言，優(yōu)質(zhì)的專利不僅是創(chuàng)新實(shí)力的體現(xiàn)，也更加有利于企業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。