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英特爾突破技術壁壘:首臺商用High NA EUV光刻機成功組裝

牛牛牛 ? 來源:網絡整理 ? 作者:網絡整理 ? 2024-04-22 15:52 ? 次閱讀

在俄勒岡州希爾斯伯勒的英特爾研發基地,一項歷史性的技術成就正逐漸浮出水面——業界首臺商用High NA(高數值孔徑)極紫外(EUV)光刻機已成功組裝。這一重要里程碑的達成,標志著英特爾在半導體制造領域的尖端技術取得了顯著進展。

目前,英特爾的研發團隊正致力于對這臺先進的ASML TWINSCAN EXE:5000 High NA EUV光刻機進行細致的校準工作,以確保其能夠順利融入未來的生產線。這款光刻機通過優化硅晶圓上的光學投影設計,極大地提升了下一代處理器的分辨率和功能,為英特爾的工藝技術注入了新的活力。

談及這一技術突破,英特爾院士兼相關技術研發部門總監Mark Phillips難掩興奮之情。他表示,High NA EUV光刻機的引入,使得英特爾擁有了業界領先的光刻技術,這將極大地推動公司在未來實現超越Intel 18A的工藝能力。

據了解,ASML的EXE:5000 High NA EUV光刻機具備令人矚目的8nm分辨率,相比傳統的EUV光刻機,其物理特征微縮了1.7倍,單次曝光的晶體管密度更是提升了2.9倍。這一重大進步意味著芯片制造商能夠簡化制造流程,同時顯著提高生產效率。值得一提的是,EXE:5000光刻機每小時可完成超過185個晶圓的光刻工作,相比現有的NXE系統,其產能得到了顯著提升。

ASML還計劃推出第二代High NA EUV光刻機,預計將在2025年實現每小時220片晶圓的產能。盡管High NA EUV光刻機的售價高達3.5億歐元,但其帶來的生產效益和技術優勢使得這一投資變得極具價值。

SML最近在荷蘭總部的High NA實驗室成功打印出了首條10納米密集線,這一成就刷新了EUV光刻機最高分辨率的世界紀錄。這一里程碑式的成果驗證了ASML合作伙伴蔡司的創新高數值孔徑EUV光學設計的卓越性能。

英特爾在High NA EUV光刻機方面的這一重大突破,不僅將極大地提升其自身的工藝能力,更將對整個半導體行業產生深遠影響。

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