日前，廣東省能源局發布廣東芯粵能半導體有限公司“面向車規級和工控領域的碳化硅芯片制造項目”節能報告的審查意見：項目采用的主要技術標準和建設方案符合國家相關節能法規及節能政策的要求，原則同意該項目節能報告。

根據粵能許可〔2023〕2號顯示；廣東芯粵能半導體有限公司項目主要建設內容包括：建設年產24萬片6英寸碳化硅基晶圓芯片生產線，主要建構筑物包括生產廠房、生產調度廠房、研發廠房、綜合動力站、綜合倉庫、硅烷站、化學品庫、廢水處理站、危險品庫、大宗氣站等，主要設備包括***、涂膠顯影機、刻蝕機、烘箱、高溫氧化爐管、高溫激活爐管、清洗機、冷水機組、純水制備系統、燃氣鍋爐等。項目能耗量和主要能效指標：項目建成投產后，年綜合能耗不高于10277噸標準煤（當量值），其中年電力消耗量不高于6450萬千瓦時、天然氣消耗量不高于175萬立方米；項目集成電路晶圓制造單位產品電耗不高于0.72千瓦時/平方厘米。

本審查意見自印發之日起兩年內，如項目未開工建設，自動失效。2022年11月21日，廣東芯粵能半導體有限公司芯片制造項目潔凈室啟動。

來源：廣東省能源局節能處