盡管ASML作為目前占據(jù)主導(dǎo)地位的光刻機(jī)廠商，憑借獨(dú)有的EUV光刻機(jī)一騎絕塵，主導(dǎo)著半數(shù)以上的市場(chǎng)份額，但這并不代表著其他光刻機(jī)廠商也就“聽(tīng)天由命”了。以兩大國(guó)外光刻機(jī)廠商尼康和佳能為例，他們就仍在堅(jiān)持開(kāi)發(fā)并擴(kuò)展自己的光刻機(jī)業(yè)務(wù)。

尼康

尼康的光刻機(jī)產(chǎn)品陣容比較全面，包括ArF浸沒(méi)式掃描光刻機(jī)、ArF步進(jìn)掃描光刻機(jī)、KrF掃描光刻機(jī)、i線步進(jìn)式光刻機(jī)和FPD面板光刻機(jī)，基本涵蓋了除EUV以外的主流光刻機(jī)。其中最新的NSR-S635E為ArF浸沒(méi)式掃描光刻機(jī)，可以做到小于等于38nm的分辨率，1.35的數(shù)值孔徑和大于275晶圓/小時(shí)的吞吐量。

雖然這樣的機(jī)器在分辨率上與ASML的EUV光刻機(jī)還存在著不小的差距，但已經(jīng)足以覆蓋不少成熟工藝的晶圓制造，以及部分次先進(jìn)節(jié)點(diǎn)的輔助制造了。而在去年的SPIE先進(jìn)光刻機(jī)技術(shù)會(huì)議上，尼康展示了名為雙光束EUV光刻技術(shù)。

雖然仍在概念階段，但從論文上看基于該技術(shù)打造的光刻系統(tǒng)可以做到10nm的分辨率，0.4的數(shù)值孔徑和200晶圓/小時(shí)以上的吞吐量，這樣的參數(shù)甚至可以與ASML正在制造的高NA EUV光刻機(jī)一較高下了。不過(guò)要想造出這樣的機(jī)器光有概念可不夠，與之相關(guān)的元件與設(shè)備生態(tài)都得建立起來(lái)才行。

從尼康最新季度的財(cái)報(bào)來(lái)看，由于工廠建設(shè)的投入被推遲，F(xiàn)PD光刻系統(tǒng)市場(chǎng)有所下滑，所以銷量有所降低，上季度只賣出了6臺(tái)FPD光刻機(jī)，6臺(tái)i線光刻機(jī)、1臺(tái)KrF光刻機(jī)和1臺(tái)ArF浸沒(méi)式光刻機(jī)。由于ArF光刻機(jī)仍有著較為強(qiáng)勁的需求，所以尼康仍然看好這一市場(chǎng)的未來(lái)趨勢(shì)，目前核心客戶因?yàn)槿藛T短缺或能源供應(yīng)等問(wèn)題，只是在交付上有所推遲。所以哪怕是半導(dǎo)體市場(chǎng)有些許低迷，尼康也并沒(méi)有任何訂單因此被取消。

值得一提的是，雖然尼康本身目前并沒(méi)有生產(chǎn)EUV光刻機(jī)，卻有為EUV系統(tǒng)生產(chǎn)光學(xué)組件的。不過(guò)與EUV光刻機(jī)本身一樣，EUV的光學(xué)組件擁有極長(zhǎng)的交期。除EUV系統(tǒng)以外，一些先進(jìn)測(cè)量設(shè)備、先進(jìn)封裝設(shè)備用到的光學(xué)組件同樣是高附加值、長(zhǎng)交貨周期的產(chǎn)品，即便半導(dǎo)體市場(chǎng)增速減緩，也不太會(huì)受到設(shè)備廠商資本支出變化的影響。

佳能

對(duì)于佳能來(lái)說(shuō)，光刻機(jī)業(yè)務(wù)隸屬于他們的工業(yè)與其他事業(yè)部，除了光刻機(jī)以外還有貼片機(jī)等設(shè)備。但從具體數(shù)額看來(lái)，佳能的主要營(yíng)收來(lái)源還是他們的印刷和影像部門，包括打印機(jī)、數(shù)碼相機(jī)等等，從2021年的年報(bào)來(lái)看，兩部門分別貢獻(xiàn)了55.2%和18.6%的營(yíng)收。

佳能與尼康一樣，同樣擁有影像和光刻機(jī)兩大業(yè)務(wù)，但在光刻機(jī)上，佳能的主要產(chǎn)品是i線和KrF光刻機(jī)，其中主打高分辨率高產(chǎn)量的KrF掃描光刻機(jī)FPA-6300ES6a可以做到小于等于90nm的分辨率。雖然分辨率不高，但佳能正在以納米壓印技術(shù)打造下一代nm級(jí)的光刻機(jī)，以該技術(shù)打造的光刻系統(tǒng)制造成本將比EUV低40%，同時(shí)將運(yùn)行功耗90%。不過(guò)這類設(shè)備目前仍在研發(fā)中，從目前已經(jīng)展示的結(jié)果來(lái)看，還只能做到10nm工藝的圖形化。

而今年的第三季度，佳能的光刻系統(tǒng)營(yíng)收相較去年同比增長(zhǎng)了22.9%，達(dá)到645億日元，主要來(lái)自50臺(tái)半導(dǎo)體光刻機(jī)、15臺(tái)FPD光刻機(jī)的銷量。佳能預(yù)計(jì)將在今年賣出180臺(tái)半導(dǎo)體光刻機(jī)，52臺(tái)FPD光刻機(jī)。

在財(cái)報(bào)中，佳能指出，2022年的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中，雖然存儲(chǔ)市場(chǎng)有所下滑，但功率設(shè)備和邏輯設(shè)備的需求依然在強(qiáng)勁增長(zhǎng)。與此同時(shí)，佳能計(jì)劃在宇都宮擴(kuò)建一座新的光刻機(jī)工廠，用于加倍產(chǎn)能，進(jìn)一步擴(kuò)大在半導(dǎo)體光刻機(jī)市場(chǎng)的份額。

至于面板市場(chǎng)，由于全球通脹和經(jīng)濟(jì)下行等原因，PC、電視和智能手機(jī)的銷量下滑，全球市場(chǎng)相較去年會(huì)有所下滑。但佳能認(rèn)為，從中長(zhǎng)期角度來(lái)看，被用于各種產(chǎn)品中的OLED面板勢(shì)必會(huì)帶來(lái)顯著的增長(zhǎng)。不過(guò)佳能面臨的處境還是組件短缺和客戶延遲工廠建設(shè)，所以部分FPD光刻機(jī)的交付都被推遲到了明年。

小結(jié)

從尼康和佳能兩家的財(cái)報(bào)來(lái)看，他們都沒(méi)有屈服于ASML可怕的實(shí)力，仍在積極推動(dòng)DUV光刻機(jī)、FPD光刻機(jī)的銷售和交付，與此同時(shí)也都在低調(diào)地進(jìn)行著下一代光刻系統(tǒng)的研究。對(duì)于整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō)，有更多的廠商來(lái)攪局也未免不是一件好事。