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俄羅斯首臺光刻機問世

半導體芯科技SiSC ? 來源:半導體芯科技SiSC ? 作者:半導體芯科技SiS ? 2024-05-28 15:47 ? 次閱讀
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據外媒報道,目前,俄羅斯首臺光刻機已經制造完成并正在進行測試。

俄羅斯聯邦工業和貿易部副部長瓦西里-什帕克(Vasily Shpak)表示,已組裝并制造了第一臺國產光刻機,作為澤廖諾格勒技術生產線的一部分,目前正在對其進行測試,該設備可確保生產350nm的芯片。什帕克還指出,到2026年將獲得130nm的國產光刻機,下一步將是開發90nm光刻機,并繼續向下邁進。

此前,俄羅斯曾表示,計劃到2026年實現65nm的芯片節點工藝,2027年實現28nm本土芯片制造,到2030年實現14nm國產芯片制造。

審核編輯 黃宇

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