電子發(fā)燒友網(wǎng)報道（文/李彎彎）據(jù)外媒報道，SK海力士希望在中國工廠無錫使用EUV光刻機(jī)，提高存儲芯片的生產(chǎn)效率，然而該工廠升級改造計劃卻遇到極大阻礙，因為美國官員不允許SK海力士將ASML 的EUV光刻機(jī)引進(jìn)中國大陸。

針對EUV光刻機(jī)進(jìn)廠可能延期的問題，在日前的韓國半導(dǎo)體工業(yè)協(xié)會30周年紀(jì)念活動上，SK海力士CEO Seok-hee Lee（李錫熙）表示，正在與美方合作，進(jìn)展良好，EUV光刻技術(shù)已經(jīng)在韓國本土的DRAM產(chǎn)線上應(yīng)用，中國工廠還有充足的時間供斡旋溝通。

美國為何不允許EUV光刻機(jī)進(jìn)入中國

ASML的EUV光刻機(jī)對芯片工藝有著決定性的影響，小于5nm的晶圓必須用到EUV光刻機(jī)。這不是美國第一次阻止EUV光刻機(jī)進(jìn)入中國，中芯國際2018年也向ASML下單了一臺EUV光刻機(jī)，交貨時間是2019年初，荷蘭政府也發(fā)放了出口許可證。

不過美國政府極力阻止，為了限制ASML向中國公司出口EUV，對荷蘭政府屢次施壓。中芯國際訂購的這臺EUV光刻機(jī)交貨日期一再延期，2019年6月美國國務(wù)卿邁克·蓬佩奧曾直接勸說荷蘭首相馬克·呂特停止這筆交易。最后荷蘭政府不再續(xù)簽 ASML的出口許可。

美國一向警惕中國的高科技發(fā)展，并多次發(fā)起對華出口限制，去年3月，美國一個國家安全委員會建議國會收緊芯片制造技術(shù)的出口，防止中國在未來幾年內(nèi)在半導(dǎo)體領(lǐng)域超越美國。

由谷歌前董事長埃里克·施密特領(lǐng)導(dǎo)的美國國家人工智能安全委員會，曾建議限制中國采購設(shè)備以制造先進(jìn)計算芯片的能力，美國對出口到中國的設(shè)備的限制，不僅限于EUV光刻機(jī)。

從本次美國不允許SK海力士將EUV引進(jìn)中國來看，不僅僅是中國企業(yè)，那些在中國生產(chǎn)的海外企業(yè)也同樣受到采購設(shè)備的限制。

美國到底在擔(dān)心什么？一位白宮高級官員聲稱，拜登政府仍然專注于防止中國大陸利用美國和盟國的技術(shù)來發(fā)展最先進(jìn)的半導(dǎo)體制造，這將會助力中國大陸軍事現(xiàn)代化。

美國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)調(diào)查公司VLSIresearch的首席執(zhí)行官丹·赫奇索聲稱，不管誰把EUV光刻機(jī)引入中國大陸，都會讓中國大陸具備這種生產(chǎn)能力。他說，“一旦它到了中國，你不知道它之后會去哪里。”

有業(yè)內(nèi)人士認(rèn)為，美國禁止SK海力士將EUV光刻機(jī)引進(jìn)中國，還有另外一層意思，SK在中國的工廠生產(chǎn)的DRAM芯片占到公司總產(chǎn)能的一半，如果沒有辦法進(jìn)行工廠升級，該公司或許會考慮將工廠遷到其他不受限制的地方，這樣也可以形成對中國制造的打壓。

從SK 海力士首席執(zhí)行官李錫熙的表述來看，雖然這可能會給該芯片制造商升級其中國工廠的計劃蒙上陰影，但仍然有充足時間可以跟美國方面進(jìn)行斡旋。可見SK海力士將EUV光刻機(jī)引進(jìn)中國大陸，還存在比較樂觀的預(yù)期。不過真實情況可能比他們預(yù)期的更困難。

SK海力士的競爭力可能受到嚴(yán)重影響

SK海力士于2005年在無錫開建DRAM一工廠，2017年10月二工廠項目開建，2019年4月順利竣工并投入量產(chǎn)，全部投產(chǎn)后，無錫公司產(chǎn)能達(dá)到月產(chǎn)18萬片12英寸晶圓，成為全球單體投資規(guī)模最大、月產(chǎn)能最大、技術(shù)最先進(jìn)的10納米級DRAM產(chǎn)品生產(chǎn)基地。

當(dāng)前無論是對于SK海力士，還是對于全球電子行業(yè)來說，無錫這家工廠的重要性都尤為突出，因為SK海力士約半數(shù)DRAM芯片都在這里生產(chǎn)，占全球總量的15%。

為什么要采用EUV光刻機(jī)？SK海力士已經(jīng)在韓國使用EUV光刻機(jī)量產(chǎn)基于1a納米級工藝的8G LPDDR4移動DRAM芯片，與第三代1znm內(nèi)存芯片相比，1a技術(shù)在相同的晶圓面積下，生產(chǎn)的芯片數(shù)量可以增加25%。可見EUV光刻機(jī)可以大幅提升效率。

一位了解SK海力士在中國大陸運營情況的消息人士透露，隨著兩到三年后新型芯片在SK海力士的生產(chǎn)中占據(jù)更大份額，該公司將需要EUV光刻機(jī)來控制其成本并加速生產(chǎn)。

當(dāng)前三星和美光也正在采用EUV設(shè)備，所在的廠房并未面臨出口限制，如果幾年內(nèi)SK海力士中國工廠仍未能引進(jìn)EUV光刻機(jī)，該公司可能會在與三星和美光的競爭中處于不利地位。

DRAM廠市場占比排行榜（來自TrendForce集邦咨詢）

從上述DRAM市占排行榜來看，當(dāng)前SK海力士與三星還存在較大差距，未來要拉近與三星，必然需要提升生產(chǎn)效率，另外緊隨其后的美光與SK海力士差距已經(jīng)不是很明顯，一旦SK海力士無法順利提升生產(chǎn)效率，美光或許就能迎頭趕上，業(yè)界甚至猜測，美國此舉或許也有打壓韓國存儲企業(yè)，讓本國企業(yè)美光追上的意圖。

另外SK海力士產(chǎn)能受到影響，可能會影響全球DRAM供給，作為全球第二大DRAM企業(yè)，SK海力士無錫工廠生產(chǎn)的DRAM芯片占到全球市場的15%，如今在5G、智能化等快速發(fā)展下，未來DRAM的需求將會更大，SK海力士如果產(chǎn)能不能跟上，全球DRAM可能會出現(xiàn)供不應(yīng)求的情況。一位ASML發(fā)言人稱，廣泛使用出口管制可能會加劇半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的問題。

小結(jié)

SK海力士計劃通過EUV光刻機(jī)升級中國工廠的產(chǎn)能，而美國擔(dān)心將這種高科技工具引進(jìn)中國可能增強(qiáng)中國的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)進(jìn)行反對，雖然SK海力士還期望有談判的余地，然而估計成功的可能性不大。如今三星、美光等也還未全面采用EUV技術(shù)，短期來看對SK海力士的競爭力影響不大，長期的話影響預(yù)計會逐漸顯現(xiàn)，不過或許SK海力士還有其他舉措。