敏芯股份坐落在蘇州納米城，是國內(nèi)最早成立的MEMS公司之一，主導(dǎo)構(gòu)建了本土化MEMS傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈。憑借領(lǐng)先的MEMS傳感器研發(fā)技術(shù)，公司成功晉級蘇州市工信局組織評選的“2020年度蘇州市集成電路企業(yè)20強(qiáng)”。

研發(fā)驅(qū)動是公司的鮮明底色，2018年度、2019年度、2020年度，公司研發(fā)費(fèi)用合計分別為2739.49萬元、3567.04萬元和4204.34萬元，占營業(yè)收入的比重分別為10.84%、12.56%和12.74%。

截至2020年底，公司共擁有境內(nèi)外發(fā)明專利40項、實用新型專利53項，正在申請的境內(nèi)外發(fā)明專利113項、實用新型專利129項；MEMS聲學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器和MEMS慣性傳感器三大產(chǎn)品線的應(yīng)用場景涵蓋消費(fèi)電子、醫(yī)療、工業(yè)控制以及汽車電子等領(lǐng)域。

拾級而上打開國內(nèi)MEMS產(chǎn)品市場

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器，具有體積小、功耗低、可靠性高、易于集成等特點。

“小機(jī)器”蘊(yùn)含著“大機(jī)遇”。21世紀(jì)初，全球MEMS產(chǎn)業(yè)迎來商業(yè)化浪潮，樓氏電子、英飛凌等國外企業(yè)成功將MEMS技術(shù)應(yīng)用于智能手機(jī)等消費(fèi)電子領(lǐng)域，引發(fā)市場關(guān)注。

“我們剛畢業(yè)那會，國外MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展熱度較高，但國內(nèi)相關(guān)企業(yè)很少，就業(yè)機(jī)會也不多，但我相信這個行業(yè)未來在國內(nèi)一定會發(fā)展起來。”在歷經(jīng)電子科大、北大、香港科技大學(xué)等高等學(xué)府熏陶后，現(xiàn)任敏芯股份首席執(zhí)行官的李剛選擇了MEMS領(lǐng)域作為創(chuàng)業(yè)方向。

2007年，李剛及其創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊獲評園區(qū)“第一屆科技領(lǐng)軍人才”稱號，獲得一筆啟動資金。同年，公司三位創(chuàng)始人利用自制的簡陋試驗設(shè)備，進(jìn)行科研實驗，完成公司早期的技術(shù)探索和積累。

13年來，敏芯股份從零開始打通MEMS產(chǎn)業(yè)鏈，完成了現(xiàn)有MEMS傳感器產(chǎn)品芯片設(shè)計、晶圓制造、封裝和測試環(huán)節(jié)的基礎(chǔ)研發(fā)工作和核心技術(shù)積累，趟出了一條因地制宜、乘勢而為的MEMS全產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化之路。

起初，公司不斷開發(fā)探索產(chǎn)品和生產(chǎn)工藝，推動MEMS產(chǎn)品量產(chǎn)，并利用市場機(jī)會完成原始積累，持續(xù)整合產(chǎn)業(yè)鏈，完善公司產(chǎn)品；2012年是具有里程碑意義的一年，公司成功實現(xiàn)了MEMS產(chǎn)品的大規(guī)模量產(chǎn)，并改變了原有的商業(yè)模式，選擇直接面對消費(fèi)市場。

這些年，公司以中低端應(yīng)用為切入口，在激烈的市場競爭中存活了下來。目前公司正在進(jìn)行最后“攻堅戰(zhàn)”，努力打入國際知名消費(fèi)類電子品牌大客戶的供應(yīng)鏈體系。

十余年堅持，公司成功邁入國內(nèi)MEMS行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)梯隊，目前MEMS聲學(xué)傳感器產(chǎn)品出貨量位居全球第四位，僅次于樓氏、歌爾、瑞聲；近些年，公司還響應(yīng)市場需求，相繼拓展了加速度傳感器、骨傳導(dǎo)傳感器、電子煙、壓力傳感器、熱電堆傳感器等新市場。

“成長在這個時代，我們是幸運(yùn)的。中國廣袤的市場給了我們這些MEMS創(chuàng)業(yè)公司成長的機(jī)會，在不同的發(fā)展階段都有匹配的客戶。”敏芯股份市場銷售副總張辰良說。

布局全產(chǎn)業(yè)鏈自主可控增強(qiáng)發(fā)展韌性

疫情發(fā)生以來，不少企業(yè)因供貨不足生產(chǎn)中斷，但敏芯股份訂單依舊相對保持穩(wěn)定，所有產(chǎn)線滿負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)，展現(xiàn)較強(qiáng)的抗風(fēng)險能力。公司加速量產(chǎn)非接觸紅外測溫傳感器、微差壓傳感器等產(chǎn)品，有力支持抗疫。

超強(qiáng)發(fā)展韌性，得益于公司在全產(chǎn)業(yè)鏈自主可控領(lǐng)域的長期布局。

MEMS作為一種特色工藝，具有高度定制化特點，不僅設(shè)計難度高，生產(chǎn)工藝也要按需開發(fā)。敏芯股份成立之初，國內(nèi)晶圓制造企業(yè)和封裝企業(yè)普遍缺乏專業(yè)的MEMS生產(chǎn)經(jīng)驗。打造本土化供應(yīng)鏈體系，意味著要付出更多耐心與堅持。

2008年，敏芯聯(lián)合中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所（簡稱“蘇州納米所”），進(jìn)行4寸MEMS產(chǎn)品和工藝開發(fā)。在此基礎(chǔ)上，公司先后參與國家重大專項、江蘇省重大科技專項，與國內(nèi)領(lǐng)先晶圓制造企業(yè)、封裝廠合作，探索構(gòu)建MEMS產(chǎn)品本土供應(yīng)鏈體系。

“起步之初，我們就選擇了與國內(nèi)供應(yīng)商合作，制造企業(yè)和封裝廠遇到工藝流程難題，我們的工程師第一時間前往幫忙調(diào)試工藝，這么多年一直休戚與共，形成了芯片設(shè)計和工藝自主開發(fā)能力。”李剛說，相比與國外大廠合作，這條路更艱難，但這么多年挺過來，反而成為公司的競爭優(yōu)勢。

2019年，為保障產(chǎn)能，公司還投資興建封測企業(yè)，實現(xiàn)從MEMS產(chǎn)品芯片設(shè)計、晶圓制造、封裝和測試全生產(chǎn)環(huán)節(jié)的自主可控。

“國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的興起過程中，我們有幸深度參與其中，發(fā)揮了重要作用。”敏芯股份董秘董銘彥說，2020年登陸科創(chuàng)板后，公司進(jìn)入全新發(fā)展階段，在全產(chǎn)業(yè)鏈研發(fā)和技術(shù)實力基礎(chǔ)上，公司希望抓住國內(nèi)進(jìn)口替代機(jī)遇，借助資本市場力量進(jìn)一步鞏固MEMS下游生產(chǎn)制造等環(huán)節(jié)布局。

立足創(chuàng)新高地攀登科技高峰

勇于拼搏、敢于爭先，一直是蘇州精神文化底蘊(yùn)。近年，蘇州正以極大熱情，傾力打造“創(chuàng)業(yè)者天堂、創(chuàng)新者樂園”。

“第一屆科技領(lǐng)軍人才中，我們半導(dǎo)體組發(fā)展得還不錯，3家企業(yè)中2家完成IPO，另外1家被聯(lián)發(fā)科收購，整體創(chuàng)業(yè)成功率挺高的，這多虧了領(lǐng)軍人才政策。”李剛說，2007年，國內(nèi)地方政府還很少投資半導(dǎo)體，資本市場也更青睞股權(quán)投資而非風(fēng)險投資，蘇州高瞻遠(yuǎn)矚提出要轉(zhuǎn)型發(fā)展，為高科技創(chuàng)業(yè)企業(yè)提供全流程支持，實屬難能可貴。

這些年，蘇州聚焦人才、高校、科研院所、產(chǎn)業(yè)服務(wù)、孵化器等要素，系統(tǒng)出臺創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)支持政策，形成獨(dú)具特色的產(chǎn)業(yè)培育機(jī)制，日益成為我國高端創(chuàng)新載體集聚、高端創(chuàng)業(yè)人才青睞、創(chuàng)新生態(tài)卓越、創(chuàng)新成果豐碩的地區(qū)。時至今日，蘇州新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)規(guī)模日漸壯大，日益成為地方經(jīng)濟(jì)發(fā)展的新引擎。

“蘇州創(chuàng)投工作起步較早，政府主要培育環(huán)境和土壤，聚焦企業(yè)自主創(chuàng)新需求提供服務(wù)，而不是直接用錢‘下猛藥’砸項目，那不是長久之計。”蘇州市工信局電子產(chǎn)業(yè)處相關(guān)負(fù)責(zé)人說，去年蘇州登陸科創(chuàng)板的企業(yè)，不少是二三十年前成立的，這些民營企業(yè)普遍都有板扎的科研實力。

一路走來，敏芯股份的自主創(chuàng)新探索背后也有園區(qū)的不懈支持。落戶不久，公司就與蘇州納米所合作完成MEMS麥克風(fēng)產(chǎn)品量產(chǎn)；隨后，還與園區(qū)納米產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院有限公司協(xié)同完成麥克風(fēng)MEMS芯片工藝研發(fā)。

2020年，在蘇州納米城支持下，敏芯股份新研發(fā)大樓已經(jīng)奠基，今年第一季度，公司與蘇州工業(yè)園區(qū)產(chǎn)業(yè)投資基金等機(jī)構(gòu)共同投資設(shè)立產(chǎn)業(yè)投資基金，并擬對外投資設(shè)立“MEMS產(chǎn)業(yè)研究院有限公司”，該產(chǎn)業(yè)研究院的設(shè)立將進(jìn)一步加快公司新工藝、新產(chǎn)品的研發(fā)和中試需求，為公司參與MEMS芯片的國際競爭奠定堅實基礎(chǔ)。新建元也正在為MEMS產(chǎn)業(yè)研究院建造MEMS晶圓廠房提供全方位支持。

在我國“十四五”規(guī)劃和2035年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱要中，集成電路被列為科技前沿領(lǐng)域攻關(guān)之一，作為集成電路特色工藝，MEMS亦被重點提及。大力發(fā)展MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)，已成為地方共識。據(jù)賽迪統(tǒng)計，2020年，我國MEMS領(lǐng)域投資兼并案例達(dá)116個、金額347億，呈現(xiàn)出爆發(fā)式增長態(tài)勢。

“蘇州的產(chǎn)業(yè)生態(tài)非常好，特別是對MEMS這個行業(yè)來說，有研發(fā)性的納米所、中試的納米城、配套還有基金，政策上的傾斜能支持企業(yè)長期發(fā)展，而且毗鄰上海，環(huán)境宜居，對人才很有吸引力。”蘇州工業(yè)園區(qū)經(jīng)發(fā)委相關(guān)負(fù)責(zé)人說，“逆水行舟，不進(jìn)則退”，未來園區(qū)將把握好先發(fā)優(yōu)勢，發(fā)揮敏芯股份等企業(yè)的示范帶動作用，把MEMS這一特色產(chǎn)業(yè)做到世界頂尖水平。

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