晶瑞順利購得 ASML XT 1900 Gi 型光刻機一臺，可研發(fā)最高分辨率達 28nm 的高端光刻膠
晶瑞股份發(fā)布公告：經多方協(xié)商、積極運作，該公司順利購得 ASML XT 1900 Gi 型光刻機一臺。
該光刻機于 2021 年 1 月 19 日運抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發(fā)實驗室，即將組織調試。此外，這款 ASML XT 1900 Gi 型 ArF 浸入式光刻機可用于研發(fā)最高分辨率達 28nm 的高端光刻膠。
IT之家了解到，晶瑞股份于 2020 年 9 月 28 日晚發(fā)布公告稱，將開展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目，擬通過 Singtest Technology PTE. LTD. 進口韓國 SK Hynix 的 ASML 光刻機設備，總價款為 1102.5 萬美元（折合 7508 萬人民幣）。
ASML XT 1900 Gi 型光刻機并非先進工藝光刻機，但也實屬不易，在這關鍵時刻也算意義重大。
以下為官方原文：
責任編輯：PSY
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