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我們能否用逆向技術來復制荷蘭的光刻機技術

獨愛72H ? 來源:網絡整理 ? 作者:佚名 ? 2020-03-31 16:22 ? 次閱讀

(文章來源:網絡整理)

從理論上看,使用逆向技術確實可以復制荷蘭ASML的光刻機技術,但是從實際出發,這是行不通的,就算把光刻機的設計圖紙給我們,我們也無法生產。

其實我過從上世紀70年代就開始了光刻機的研發工作,在1985年時就研制成功了一臺g線分步投影光刻機,這比國外的同類產品足足晚了6年,從那以后我國也沒有放棄對光刻機的研發工作。

目前我國最先進的光刻機就是上海微電子裝備有限公司制造的90nm工藝的光刻機,但是荷蘭ASML公司最先進的光刻機已經是5nm了,今年臺積電就可以做出5nm工藝制程的芯片了,而我國90nm的光刻機對于目前的芯片來說已經不夠用了。

如果想根據ASML的光刻機復制一臺光刻機,首先需要將光刻機拆開,ASML在設計光刻機時為光刻機上了一把“鎖”,如果光刻機在它們不知道的情況下被拆開,光刻機就自動向ASML報警,所以我們也無法拆開。

在之前中國一家光刻機制造公司就去ASML公司進行參觀,ASML公司的員工直接對我國的公司說:“即使將光刻機的設計圖紙給你們,你們也做不出”。其實這是真的,并不他們對我們的嘲諷,即使給我們設計圖紙,我們也生產不出頂級的光刻機。

對于一臺光刻機來說,擁有幾萬個零件,這些零件幾乎都是世界最好的。其中光刻機最重要的就是鏡頭與光源,全球范圍內做鏡頭最好的企業就是德國的蔡司,做光源做好的就是Cymer公司,這兩家公司都已經被荷蘭的ASML公司進行了收購,所以蔡司與Cymer不可能再向其他的光刻機制造廠商提供鏡頭與光源。ASML要求購買它的光刻機的企業必須進行投資,這也為ASML提供了強大的資金支持,其他的光刻機廠商很難進行發展。

再加上,根據1996年歐美簽署的瓦森納協議,歐美很多高精端儀器或者配件都對我國禁運,我們即使有錢也買不到先進的零件。

其實早在2018年中芯國際就向ASML公司購買了一臺EUV極紫外光刻機,EUV極紫外光刻機應該是目前頂級的光刻機了,只有荷蘭的ASML公司可以生產,每年的產量也是非常有限的,但是由于歐美國家的各種原因,遲遲沒有將光刻機交給中芯國際。

臺積電應該目前最好的芯片代工廠了,在2018年實現了7nm工藝制程,2019年實現了7 nm EUV工藝制程,今年可以實現5nm芯片的大規模生產,未來的蘋果A14處理器與華為的麒麟1020處理器都是由臺積電進行生產。中芯國際也就在幾個月前才實現14nm的工藝制程,相較于臺積電還是非常落后的。

因為一些不可抗拒的原因,我們無法買到先進的零件,所以也就無法生產出頂級的光刻機。但是因為一些政策,荷蘭ASML公司不可以向大陸出售頂級的光刻機,我們只能使用落后一代的技術。制作一臺先進的光刻機,并不是只靠一兩個企業就可以完成的,需要整個制造業的共同努力。
(責任編輯:fqj)

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