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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。
微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)革命性的新技術(shù),廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),是一項(xiàng)關(guān)系到國(guó)家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國(guó)防安全的關(guān)鍵技術(shù)。
MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工,涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。
常見(jiàn)的產(chǎn)品包括MEMS加速度計(jì)、MEMS麥克風(fēng)、微馬達(dá)、微泵、微振子、MEMS光學(xué)傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。
Analog Devices Inc. ADXL382 3軸MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)
Analog Devices ADXL382 3軸MEMS加速度計(jì)支持±15g、±30g和±60g的可選測(cè)量范圍。這款3軸加速度計(jì)具備低噪聲密度和低功耗...
當(dāng)今的科學(xué)技術(shù)如翩翩起舞的蝴蝶,追求著微型化、集成化及智能化的新境界。隨著微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystem,ME...
ADGM1304具有集成驅(qū)動(dòng)器的0 Hz/直流至14GHz單刀四擲MEMS交換芯片技術(shù)手冊(cè)
ADGM1304 是一款寬帶單刀四擲 (SP4T) 開(kāi)關(guān),使用 ADI 公司的微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 開(kāi)關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)小尺寸、寬 RF 帶寬...
2025-05-15 標(biāo)簽:開(kāi)關(guān)memsSP4T 123 0
ADGM1004帶集成驅(qū)動(dòng)器的0 Hz至13 GHz、2.5kV HBM ESD SP4T MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù)手冊(cè)
ADGM1004是一款寬帶、單刀四擲(SP4T)開(kāi)關(guān),采用ADI公司的微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開(kāi)關(guān)技術(shù)制造而成。利用該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)小型、寬RF帶寬、高線性...
2025-05-15 標(biāo)簽:開(kāi)關(guān)memsSP4T 116 0
ADGM1001/ADGM1002/ADGM1003 0 Hz/DC至34 GHz SPDT MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù)手冊(cè)
ADGM1001/[ADGM1002]/[ADGM1003]是一款寬帶、單刀雙擲(SP2T)開(kāi)關(guān),采用ADI公司的微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開(kāi)關(guān)技術(shù)制造而...
2025-05-15 標(biāo)簽:開(kāi)關(guān)mems 122 0
ADGM1144 0 Hz/DC至18 GHz、SP4T、MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù)手冊(cè)
ADGM1144 是一款寬帶單刀四擲 (SP4T) 開(kāi)關(guān),使用 ADI 公司的微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 開(kāi)關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)小尺寸、寬射頻帶寬、高...
2025-05-15 標(biāo)簽:開(kāi)關(guān)memsSP4T 138 0
ADGM1121 0 Hz/DC 至 18 GHz,DPDT MEMS開(kāi)關(guān)技術(shù)手冊(cè)
ADGM1121 是一款寬帶雙刀雙擲 (DPDT) 開(kāi)關(guān),使用 ADI 公司的微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 開(kāi)關(guān)技術(shù)制造。該技術(shù)可實(shí)現(xiàn)小尺寸、寬射頻帶寬、高...
2025-05-15 標(biāo)簽:開(kāi)關(guān)memsDPDT 86 0
ADIS16260 ADIS16265可編程低功耗陀螺儀技術(shù)手冊(cè)
ADIS16260和ADIS16265可編程數(shù)字陀螺儀在單個(gè)緊湊型封裝內(nèi)集成了業(yè)界領(lǐng)先的MEMS和信號(hào)處理技術(shù),具有同類(lèi)MEMS陀螺儀需要全動(dòng)校準(zhǔn)才能達(dá)...
ADXRS290用于穩(wěn)定應(yīng)用的超低噪聲、雙軸MEMS陀螺儀技術(shù)手冊(cè)
ADXRS290是一款高性能俯仰和滾動(dòng)(層內(nèi)雙軸)角速率傳感器(陀螺儀),設(shè)計(jì)用于穩(wěn)定應(yīng)用。 ADXRS290提供±100°/s輸出滿量程性能,靈...
高精度六軸MEMS運(yùn)動(dòng)跟蹤TM器件ICM-42688-P 數(shù)據(jù)表立即下載
類(lèi)別:IC datasheet pdf 2024-08-12 標(biāo)簽:mems速度計(jì)
ADIS16470微型MEMS慣性測(cè)量單元(IMU)英文手冊(cè)立即下載
類(lèi)別:IC datasheet pdf 2024-07-22 標(biāo)簽:memsIMU
ADI公司突破性的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)開(kāi)關(guān)技術(shù)立即下載
類(lèi)別:電子資料 2023-11-27 標(biāo)簽:adimems微機(jī)電系統(tǒng)
意法半導(dǎo)體Lab-in-Fab廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室進(jìn)入新階段
????????新一期廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室合作項(xiàng)目包括與新加坡科技研究局屬下材料研究與工程研究所(A*STAR IMRE)以及新加坡國(guó)立大學(xué)(NUS)的合作項(xiàng)目 ...
2025-06-03 標(biāo)簽:傳感器mems意法半導(dǎo)體 196 0
金融界消息:瑞之辰申請(qǐng)拉力傳感線及纜繩專(zhuān)利
近日金融界消息稱(chēng),深圳市瑞之辰科技有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“拉力傳感線及纜繩”的專(zhuān)利,可實(shí)現(xiàn)纜繩破損位置的快速定位。該項(xiàng)專(zhuān)利摘要顯示,本發(fā)明提供了一種拉力傳...
美新半導(dǎo)體榮獲2025年江蘇省先進(jìn)級(jí)智能工廠
近日,江蘇省工業(yè)和信息化廳發(fā)布了《2025 年江蘇省先進(jìn)級(jí)智能工廠名單公示》,美新半導(dǎo)體(無(wú)錫)有限公司憑借在智能制造領(lǐng)域的卓越表現(xiàn)成功入圍。
2025-05-30 標(biāo)簽:mems美新半導(dǎo)體智能制造 278 0
傳感器連接著物理世界和數(shù)字世界,而壓力傳感器作為傳感器行業(yè)的重要分支,其發(fā)展態(tài)勢(shì)和未來(lái)潛力備受關(guān)注。本文將從行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)、市場(chǎng)需求、技術(shù)創(chuàng)新等多方面探討...
在人工智能驅(qū)動(dòng)交互革命的浪潮中,語(yǔ)音、視覺(jué)、手勢(shì)等多模態(tài)融合交互方式正突破物理與數(shù)字的次元壁。對(duì)話則是交互中最自然的方式,而MEMS麥克風(fēng)作為物理基座,...
瑞之辰壓力傳感器:卓越優(yōu)勢(shì)鑄就廣闊市場(chǎng)前景
在科技飛速發(fā)展的今天,傳感器作為工業(yè)自動(dòng)化和智能化的核心部件,其性能的優(yōu)劣直接影響著各個(gè)領(lǐng)域的發(fā)展。深圳市瑞之辰科技有限公司憑借其在壓力傳感器研發(fā)領(lǐng)域的...
科技封鎖下逆襲:瑞之辰壓力傳感器領(lǐng)跑?chē)?guó)產(chǎn)替代賽道
在中美科技博弈的硝煙中,中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正經(jīng)歷一場(chǎng)深刻的蛻變。美國(guó)對(duì)華芯片技術(shù)的全方位封鎖,非但未能遏制中國(guó)科技自主的步伐,反而成為催化國(guó)產(chǎn)替代加速的“助...
瑞之辰壓力傳感器:以創(chuàng)新技術(shù)優(yōu)勢(shì)助力市場(chǎng)突圍
在當(dāng)今全球制造業(yè)智能化與物聯(lián)網(wǎng)升級(jí)的浪潮中,傳感器作為工業(yè)自動(dòng)化的核心部件,正迎來(lái)爆發(fā)式增長(zhǎng)。瑞之辰公司憑借其壓力傳感器產(chǎn)品的卓越優(yōu)勢(shì),在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中脫穎...
瑞之辰壓力傳感器:全金屬封裝與MEMS技術(shù)驅(qū)動(dòng)優(yōu)勢(shì)
瑞之辰傳感器在電動(dòng)汽車(chē)中的應(yīng)用案例主要體現(xiàn)在動(dòng)力電池系統(tǒng)的安全監(jiān)測(cè)與性能優(yōu)化領(lǐng)域,以下為具體應(yīng)用方向及技術(shù)實(shí)現(xiàn):全金屬溫壓一體傳感器應(yīng)用采用全金屬密封型...
瑞之辰申請(qǐng)基于MEMS金屬封裝的差壓傳感器專(zhuān)利
近期,金融界消息稱(chēng),深圳市瑞之辰科技有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“基于MEMS金屬封裝的差壓傳感器”的專(zhuān)利,據(jù)悉該差壓傳感器能對(duì)兩側(cè)面的壓力同時(shí)進(jìn)行感應(yīng)并準(zhǔn)確獲...
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