近年來，中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展，國(guó)內(nèi)多個(gè)城市出臺(tái)智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展政策，推動(dòng)以智能傳感產(chǎn)業(yè)園為主體的產(chǎn)業(yè)建設(shè)，同時(shí)興建多條MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線。

5月24日，國(guó)內(nèi)又一條MEMS芯片量產(chǎn)線正式投產(chǎn)，在第七屆智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)上，安徽華鑫微納集成電路有限公司發(fā)布：8英寸晶圓生產(chǎn)線首批產(chǎn)品成功串線。這標(biāo)志著全國(guó)首條8英寸MEMS晶圓全自動(dòng)生產(chǎn)線在蚌埠正式投產(chǎn)。

據(jù)中國(guó)傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟常務(wù)副理事長(zhǎng)郭源生對(duì)該MEMS產(chǎn)線評(píng)價(jià)：“作為敏感技術(shù)與傳感器行業(yè)里面，能有這么一條完整的生產(chǎn)線，無疑是對(duì)傳感器產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展起到了積極的支撐作用。國(guó)內(nèi)26000多個(gè)品種，有7000個(gè)常用的，我們?nèi)狈Φ亩际枪残缘墓に囍巍１确秸f我們的大多數(shù)芯片，67%的低端的都要依賴進(jìn)口，高端的100%都要依賴進(jìn)口。那么有了這條8英寸的生產(chǎn)線，無疑是對(duì)傳感器產(chǎn)業(yè)鏈的構(gòu)架和產(chǎn)業(yè)的格局，打破過去的這種產(chǎn)業(yè)格局，都是有積極的作用的。”

此前在Sensor Shenzhen 2025上，記者對(duì)安徽華鑫微納集成電路有限公司副總經(jīng)理張勝兵進(jìn)行了采訪，本文將獨(dú)家深度披露這條國(guó)產(chǎn)新興MEMS產(chǎn)線的情況，本文部分亮點(diǎn)有：國(guó)內(nèi)首條全自動(dòng)天車系統(tǒng)的8英寸晶圓產(chǎn)線進(jìn)度及技術(shù)情況、產(chǎn)線有望將MEMS產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化的時(shí)間縮短至少3年、有20~30%MEMS產(chǎn)線制造設(shè)備需要進(jìn)口、國(guó)內(nèi)僅能滿足1/20的MEMS芯片產(chǎn)能需求……我們亦能從華鑫微納身上窺視近年來國(guó)產(chǎn)MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展情況。

專家檔案

安徽華鑫微納集成電路有限公司副總經(jīng)理張勝兵，負(fù)責(zé)戰(zhàn)略規(guī)劃、市場(chǎng)開發(fā)、研發(fā)中心以及信息化管理等工作。

投資超50億元，發(fā)改委、工信部等關(guān)注的國(guó)家集成電路重大項(xiàng)目，產(chǎn)能達(dá)3萬片/月，目標(biāo)：推動(dòng)中高端MEMS器件國(guó)產(chǎn)化

華鑫微納成立于2022年3月，項(xiàng)目總投資約50.6億元，產(chǎn)線位于中國(guó)（蚌埠）傳感谷東側(cè)地塊，項(xiàng)目建設(shè)用地150余畝，分二期建設(shè)，一期總建筑面積約75000平方米，主要包含生產(chǎn)廠房、動(dòng)力廠房、生產(chǎn)研發(fā)樓、倉(cāng)庫(kù)等。

2022年11月，華鑫微納MEMS芯片產(chǎn)線項(xiàng)目獲得國(guó)家發(fā)改委審批，是國(guó)家集成電路生產(chǎn)力布局的重大項(xiàng)目，也是發(fā)改委、工信部、安徽省關(guān)注的重大工程項(xiàng)目，項(xiàng)目目標(biāo)通過自主可控的關(guān)鍵核心技術(shù)推動(dòng)中高端MEMS器件的國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程。

華鑫微納定位于8英寸MEMS智能傳感器核心器件制造平臺(tái)，是集成硅基MEMS、壓電MEMS、CMOS-MEMS單片集成及2.5D/3D微系統(tǒng)技術(shù)于一體的開放式、定制化柔性MEMS芯片生產(chǎn)線，擁有慣性傳感器、光MEMS執(zhí)行器（包括光MEMS微鏡、激光雷達(dá)掃描鏡、光通信微鏡等）、環(huán)境傳感器（壓力、溫度、氣體、流量等）以及MEMS微流控、MEMS噴墨打印頭、MEMS時(shí)鐘諧振器等全面、完善的MEMS產(chǎn)品的工藝研發(fā)和量產(chǎn)能力。

相比國(guó)內(nèi)同類MEMS產(chǎn)線，華鑫微納在產(chǎn)線自動(dòng)化方面處于國(guó)內(nèi)領(lǐng)先地位，部署了智慧能源、數(shù)字孿生、智能倉(cāng)儲(chǔ)等系統(tǒng)，已建成國(guó)內(nèi)首條全自動(dòng)天車系統(tǒng)的8英寸晶圓產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)超90%自動(dòng)化率和近無人化生產(chǎn)。據(jù)華鑫微納副總經(jīng)理張勝兵介紹，目前華鑫微納產(chǎn)線員工僅二三十人，其余大部分為研發(fā)技術(shù)人員：

“我們現(xiàn)在的員工有240人，為什么這么少（一般這種體量人員為600至800人）？因?yàn)槲覀儾渴鹆酥悄芴燔囅到y(tǒng)，我們產(chǎn)線的工人是比較少，大概就二三十個(gè)人。”
華鑫微納MEMS芯片產(chǎn)線在2023年3月開展基礎(chǔ)施工，同年8月份廠房封頂，2024年9月份設(shè)備進(jìn)場(chǎng)，2025年3月份完成工藝、設(shè)備調(diào)試，同月，華鑫微納MEMS芯片產(chǎn)線第一片晶圓下線，產(chǎn)線建設(shè)歷時(shí)2年時(shí)間。
據(jù)張勝兵介紹，目前華鑫微納正進(jìn)行兩款產(chǎn)品的導(dǎo)入，預(yù)計(jì)6月份華鑫微納產(chǎn)線生產(chǎn)的首款MEMS芯片產(chǎn)品將實(shí)現(xiàn)試產(chǎn)下線，并在9月份實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，四季度達(dá)產(chǎn)。
產(chǎn)能方面，華鑫微納達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)月產(chǎn)8英寸晶圓1萬片，到2027年將達(dá)到規(guī)劃月產(chǎn)3萬片。

▲華鑫微納MEMS晶圓片展示

團(tuán)隊(duì)超20年MEMS芯片研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，體硅工藝領(lǐng)先，聚焦3大類MEMS產(chǎn)品


華鑫微納團(tuán)隊(duì)擁有21年的MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)經(jīng)驗(yàn)，主要基于體硅工藝研發(fā)陀螺儀、加速度計(jì)、光MEMS微鏡等高性能MEMS器件。
體硅工藝是MEMS器件三大制造工藝之一，MEMS制造工藝主要包括表面微加工技術(shù)、體微加工技術(shù)（體硅工藝）、LIGA技術(shù)等，目前應(yīng)用范圍最廣、技術(shù)最成熟的為前兩者。相關(guān)資料參看《MEMS傳感器芯片是怎樣被制造出來的？》
對(duì)未來華鑫微納的MEMS代工業(yè)務(wù)規(guī)劃，張勝兵介紹華鑫微納將聚焦3大部分：

第一類為成熟產(chǎn)品，包括硅麥克風(fēng)等消費(fèi)級(jí)MEMS傳感器，以及壓力、溫度等環(huán)境類MEMS傳感器產(chǎn)品，這部分產(chǎn)品將是華鑫微納未來代工業(yè)務(wù)出量的大頭，預(yù)計(jì)占據(jù)產(chǎn)能的50%~60%。

第二類為核心產(chǎn)品，將是華鑫微納高利潤(rùn)的來源，主要聚焦中高性能的汽車級(jí)、工業(yè)級(jí)傳感器，譬如車規(guī)級(jí)壓力、慣性傳感器，工業(yè)級(jí)MEMS光開關(guān)、微鏡、MEMS諧振器等，這也是華鑫微納的拳頭產(chǎn)品，預(yù)計(jì)占據(jù)產(chǎn)能的30%~40%。

第三類為戰(zhàn)略產(chǎn)品，主要為壓電MEMS產(chǎn)品，華鑫微納布局了壓電噴墨頭、壓電微流控等器件，以及電容式MEMS超聲波換能器（CMUT）、微泵、多光譜成像等等先進(jìn)前沿的MEMS產(chǎn)品技術(shù)，預(yù)計(jì)占據(jù)產(chǎn)能的5%~10%。

從成熟產(chǎn)品、核心產(chǎn)品到戰(zhàn)略產(chǎn)品，從消費(fèi)級(jí)MEMS到車規(guī)級(jí)、工業(yè)級(jí)MEMS，再到壓電MEMS、CMUT等前沿MEMS產(chǎn)品，華鑫微納構(gòu)建了清晰的階梯級(jí)產(chǎn)品規(guī)劃，這個(gè)戰(zhàn)略規(guī)劃也展現(xiàn)了華鑫微納的技術(shù)優(yōu)勢(shì)。
據(jù)張勝兵介紹：

“可以看到，國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)品真正成熟能夠上量的，目前大概有三類：麥克風(fēng)、濾波器和消費(fèi)級(jí)壓力傳感器，但在高性能壓電、慣性、微鏡、噴墨打印頭、時(shí)鐘諧振器等等中高端MEMS器件，實(shí)際上國(guó)內(nèi)并沒有完全實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，這些就是我們的優(yōu)勢(shì)。

我們團(tuán)隊(duì)以體硅工藝起家，擁有深厚的技術(shù)沉淀，工藝技術(shù)上完全可以對(duì)標(biāo)國(guó)外的MEMS巨頭，譬如TI、Silex、博世等，我們完全可以實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)性能上的對(duì)標(biāo)，并且在靜電微鏡等一些高端MEMS技術(shù)領(lǐng)域，我們還領(lǐng)先了很多企業(yè)。”

站在國(guó)產(chǎn)MEMS芯片制造商角度，中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)存在哪些問題？有望將MEMS產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化的時(shí)間縮短至少3年！

當(dāng)前國(guó)內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)處于蓬勃的發(fā)展階段，面臨多種困難，作為國(guó)產(chǎn)新興MEMS芯片制造商，華鑫微納認(rèn)為中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)目前仍面臨一些嚴(yán)峻的問題：

1、碎片化的產(chǎn)業(yè)賽道對(duì)企業(yè)不友好，傳感器種類多、品類多，導(dǎo)致單一產(chǎn)品規(guī)模往往微小，整體呈現(xiàn)多、雜、散、小的特點(diǎn)，傳感器產(chǎn)品“一品一研”提高了傳感器初創(chuàng)企業(yè)的研發(fā)難度。此外對(duì)MEMS晶圓代工企業(yè)來說，面對(duì)這樣的產(chǎn)業(yè)特點(diǎn)，要求有柔性化的制造能力，才能提供更多的代工服務(wù)，占據(jù)市場(chǎng)份額。
針對(duì)這個(gè)難題，華鑫微納作為國(guó)產(chǎn)MEMS新興代工企業(yè)，提供柔性化制造平臺(tái)，具有全面的代工能力和工藝體系，具備制造全品類傳感器晶圓的制造能力，初創(chuàng)傳感器企業(yè)的各種MEMS芯片設(shè)計(jì)創(chuàng)意都能夠在這條8英寸產(chǎn)線上落地。

2、企業(yè)融資難研發(fā)難以落地，張勝兵透露，中國(guó)傳感器企業(yè)約有五萬多家，其中80%以上是小微企業(yè)，資金少融資難，導(dǎo)致后續(xù)產(chǎn)品的研發(fā)費(fèi)用很少，很多的優(yōu)秀的產(chǎn)品和創(chuàng)意胎死腹中，這是整個(gè)MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)的難點(diǎn)。
這一方面，張勝兵認(rèn)為華鑫微納能夠幫助傳感器企業(yè)顯著降低研發(fā)支出、縮短研發(fā)周期，那華鑫微納怎么幫助企業(yè)降低研發(fā)成本？張勝兵介紹：

“我們能提供專業(yè)質(zhì)量非常高的工藝技術(shù)研發(fā)服務(wù)，在MEMS領(lǐng)域，是設(shè)計(jì)和工藝高度耦合、高度協(xié)同的產(chǎn)業(yè)，很多工藝廠商希望你給一個(gè)Flow它做代工就可以了，但是MEMS芯片這樣做不行，從芯片設(shè)計(jì)到量產(chǎn)還有一個(gè)工藝研發(fā)的過程，我們團(tuán)隊(duì)擁有20年以上的MEMS設(shè)計(jì)制造經(jīng)驗(yàn)，我們提供的不僅是代工服務(wù)，還包括工藝研發(fā)的技術(shù)服務(wù)，就是說你只需要提供你的產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)想法，我們會(huì)根據(jù)實(shí)際量產(chǎn)的工藝能力來給你匹配，做一個(gè)工藝的二次設(shè)計(jì)研發(fā)，這樣的話就極大的降低企業(yè)研發(fā)成本和縮短研發(fā)周期。這是我們的一個(gè)很大的優(yōu)勢(shì)方面。”
3、國(guó)內(nèi)MEMS工藝制造平臺(tái)產(chǎn)研脫節(jié)，據(jù)張勝兵介紹：

“MEMS產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化流歷程，大概可以分為這幾個(gè)步驟。一個(gè)是初始的研發(fā)孵化階段，然后到中式批量階段，再到大批量生產(chǎn)階段，我們可以看到國(guó)內(nèi)有很多MEMS工藝研發(fā)線，有較強(qiáng)的研發(fā)能力，但它量產(chǎn)不夠。所以我們研發(fā)一個(gè)產(chǎn)品，在研發(fā)線研發(fā)完了以后，我要轉(zhuǎn)到另外一個(gè)量產(chǎn)線。但是由于這個(gè)量產(chǎn)線技術(shù)人員與原來研發(fā)線的不是一個(gè)團(tuán)隊(duì)，那它導(dǎo)入的過程就比較慢，量產(chǎn)的成本也比較高，一些工作你要重新做一遍，這是一個(gè)問題。

另一方面，我們說量產(chǎn)平臺(tái)也有研發(fā)能力，但他希望你能夠把成熟的Recipe、成熟的Flow全部導(dǎo)給它。這樣量產(chǎn)平臺(tái)就能按照你的流程來做，它希望像集成電路一樣，但MEMS芯片一品一研，與集成電路芯片有顯著差別，這個(gè)就有問題了，這導(dǎo)致目前許多量產(chǎn)線的研發(fā)成本也是比較高的，這個(gè)叫研產(chǎn)脫節(jié)，這是大問題。”

這方面，華鑫微納擁有研產(chǎn)合一的制造平臺(tái)，打破了目前國(guó)內(nèi)許多平臺(tái)產(chǎn)研脫節(jié)的窘境，可以將MEMS產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化的時(shí)間縮短至少3年：

“我們是研產(chǎn)合一、高度協(xié)同的制造平臺(tái)。這個(gè)就是我們的優(yōu)勢(shì)了。在華鑫微納進(jìn)行研發(fā)、量產(chǎn)，我們用同一個(gè)工藝技術(shù)體系、同一個(gè)工藝技術(shù)團(tuán)隊(duì)、同一個(gè)管理體系、同一個(gè)運(yùn)營(yíng)體系。這個(gè)時(shí)候我們就會(huì)發(fā)現(xiàn)它的優(yōu)勢(shì)在于，一個(gè)產(chǎn)品在我們研發(fā)線研發(fā)的時(shí)候，成本會(huì)比較低。研發(fā)完了這個(gè)產(chǎn)品轉(zhuǎn)到我們的量產(chǎn)平臺(tái)，這個(gè)時(shí)候我們發(fā)現(xiàn)是同一撥人對(duì)接，我們相互之間不會(huì)有任何的保密或交接障礙。這樣的話就能極大的縮短智能傳感器的產(chǎn)業(yè)化周期，我們算了一下，平均我們一個(gè)MEMS產(chǎn)品想要做到產(chǎn)業(yè)化需要5到6年。但是到我們平臺(tái)，3年時(shí)間就可以了，這是我們研產(chǎn)高度協(xié)同的平臺(tái)的優(yōu)勢(shì)。”

4、國(guó)內(nèi)MEMS人才少。許多院士專家此前也提到國(guó)內(nèi)MEMS人才較少的情況，站在國(guó)產(chǎn)MEMS制造商的角度，華鑫微納再次提及國(guó)內(nèi)MEMS人才緊缺的問題，可見國(guó)內(nèi)MEMS人才供給存在較大的供需矛盾，據(jù)張勝兵透露：

“MEMS這個(gè)行業(yè)是一個(gè)多學(xué)科的交叉領(lǐng)域，所以實(shí)際上MEMS專業(yè)的從業(yè)人才是非常稀少的。我們招了很多的人，很多行業(yè)人才我們也篩選過。我們國(guó)家這么多年發(fā)展的集成電路領(lǐng)域的人才，其實(shí)已經(jīng)還不錯(cuò)了。但是專業(yè)從事MEMS還是非常稀少的，這就是另外一個(gè)難題了。”

5、國(guó)內(nèi)MEMS設(shè)計(jì)IP保護(hù)難。IP是在集成電路的可重用設(shè)計(jì)方法學(xué)中，指某一方提供的邏輯單元、芯片設(shè)計(jì)的可重用模塊。IP核通常已經(jīng)通過了設(shè)計(jì)驗(yàn)證，設(shè)計(jì)人員以IP核為基礎(chǔ)進(jìn)行設(shè)計(jì)，可以縮短設(shè)計(jì)所需的周期。

在MEMS領(lǐng)域，存在設(shè)計(jì)公司將芯片設(shè)計(jì)給代工廠代工之后，代工廠將這個(gè)產(chǎn)品拿走自己做，或者泄露給其他芯片設(shè)計(jì)公司使用的情況，這樣MEMS設(shè)計(jì)公司就會(huì)面臨許多競(jìng)爭(zhēng)，而且往往難以維權(quán)。

這里，華鑫微納在國(guó)內(nèi)率先提出虛擬IDM的模式，什么是虛擬IDM？張勝兵介紹：

“我們提出一個(gè)叫虛擬IDM的模式，是什么呢？設(shè)計(jì)廠和晶圓代工廠相互做綁定，相互做投資。這樣的話大家就是一家人，這個(gè)時(shí)候我們才能夠完成高度的協(xié)同，高效溝通。所以我們可以開放性的跟下游廠商進(jìn)行綁定，跟下游廠商做股權(quán)的互相投資。”

可以看到，通過虛擬IDM模式，讓設(shè)計(jì)企業(yè)和晶圓廠進(jìn)行股權(quán)投資、互相綁定，從而結(jié)成牢固的戰(zhàn)略伙伴關(guān)系，可以極大降低MEMS設(shè)計(jì)公司的IP保護(hù)困難，并強(qiáng)化雙方的協(xié)同溝通。

20~30%MEMS產(chǎn)線制造設(shè)備需要進(jìn)口！哪些環(huán)節(jié)還有卡脖子現(xiàn)象？

隨著國(guó)際貿(mào)易沖突日益嚴(yán)峻，近年來芯片等高端制造被“卡脖子”的情況成為民眾所關(guān)心的熱題，那么，在國(guó)內(nèi)國(guó)內(nèi)MEMS芯片制造產(chǎn)線是否存在制造設(shè)備卡脖子的情況，卡在哪些環(huán)節(jié)？

國(guó)內(nèi)外MEMS制造的主流工藝，主要集中在0.35um左右的制程，并不追求先進(jìn)制程，反而對(duì)制造工藝要求更高。

目前，對(duì)我國(guó)芯片制造設(shè)備的制裁從行業(yè)上看，還未上升到0.35um這個(gè)制程，因此我國(guó)MEMS民營(yíng)企業(yè)絕大多數(shù)制造設(shè)備進(jìn)口不受限制。

以華鑫微納的產(chǎn)線為例，約有70%以上制造設(shè)備來自國(guó)產(chǎn)企業(yè)，譬如其CIM系統(tǒng)智能、大數(shù)據(jù)分析、智慧排產(chǎn)、智慧搬運(yùn)等IT 數(shù)字化系統(tǒng)來自中電九天，中電九天為中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)三級(jí)公司，是我國(guó)打造高端制造業(yè)自主可控核心工業(yè)軟件的國(guó)家隊(duì)。

此外，華鑫微納目前仍有20~30%左右設(shè)備需要進(jìn)口，這也暴露了我國(guó)先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)的弱處，據(jù)張勝兵介紹，這些設(shè)備包括：

“主要是像光刻機(jī)、雙面步進(jìn)光刻機(jī)、晶圓鍵合機(jī)、深位刻蝕機(jī)等設(shè)備，以及一些非常特殊的成膜設(shè)備，也是進(jìn)口的。這些領(lǐng)域有的國(guó)內(nèi)也有一些產(chǎn)品，但是穩(wěn)定性、可靠性還有一些指標(biāo)參數(shù)沒有達(dá)到的。我們也是持開放態(tài)度，也希望跟國(guó)內(nèi)廠商進(jìn)行積極的對(duì)接，早日實(shí)現(xiàn)全產(chǎn)線的國(guó)產(chǎn)化。”
MEMS技術(shù)加速普及，這些方向或有較大增長(zhǎng)機(jī)遇！

華鑫微納團(tuán)隊(duì)在MEMS技術(shù)研發(fā)制造領(lǐng)域擁有超過20年經(jīng)驗(yàn)，因此對(duì)MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展有較高的認(rèn)識(shí)。

據(jù)張勝兵介紹，未來比較看好MEMS產(chǎn)品在生物微流控芯片、人形機(jī)器人應(yīng)用傳感器、諧振器、光譜成像、主動(dòng)散熱等方向的增長(zhǎng)機(jī)會(huì)。

微流控芯片，又稱芯片實(shí)驗(yàn)室（Lab-on-chip），是把生物、化學(xué)、醫(yī)學(xué)分析過程的樣品制備、反應(yīng)、分離、檢測(cè)等基本操作單元集成到一塊微米尺度的芯片上， 自動(dòng)完成分析全過程。微流控芯片使用MEMS技術(shù)進(jìn)行制造，主要應(yīng)用于基因檢測(cè)等場(chǎng)景。此前被我國(guó)制裁的美國(guó)儀器廠商因美納（Illumina），就是主要從事基因測(cè)序儀設(shè)備的研發(fā)銷售，核心技術(shù)就是微流控芯片。

此外，張勝兵看好未來MEMS技術(shù)在更多傳感器方面的應(yīng)用，包括機(jī)器人中六維力傳感器等高精度傳感器的MEMS器件替代，以及傳統(tǒng)石英晶振被MEMS時(shí)鐘晶振替代的趨勢(shì)。

MEMS技術(shù)本質(zhì)上是一類在微觀尺度上用微電子技術(shù)制造傳統(tǒng)機(jī)械結(jié)構(gòu)的技術(shù)，隨著MEMS技術(shù)的提升，產(chǎn)業(yè)正在探索使用MEMS技術(shù)在微米級(jí)重構(gòu)更多傳統(tǒng)機(jī)械結(jié)構(gòu)：

“以光纖和MEMS為例，光線傳感器目前為止應(yīng)該是精度最高的了。我們就說陀螺儀，高端的這種導(dǎo)航系統(tǒng)、衛(wèi)星用的都是光纖的陀螺儀，這個(gè)領(lǐng)域MEMS陀螺儀精度確實(shí)要比它要差一些。但是目前來看，以前我們說MEMS陀螺儀精度只能做到10度，后來我們做到5度、1度，現(xiàn)在做到0.1度，再往后就是0.01度了。所以我相信未來十來年MEMS陀螺儀可以達(dá)到光纖陀螺儀的精度要求。

但是我并不認(rèn)為光纖它就會(huì)被淘汰，因?yàn)槲覀儸F(xiàn)在的光纖也開始轉(zhuǎn)向了微納光纖，我們開始用微納光纖來做我們這種高端的陀螺儀，傳統(tǒng)的光纖是繞組的，現(xiàn)在我可以做微納光纖，在硅片上就可以實(shí)現(xiàn)光通道，我們也叫MEMS。所以從這點(diǎn)來說，我認(rèn)為不久就可以替代傳統(tǒng)的機(jī)械式的和光纖式的陀螺了。”

MEMS芯片產(chǎn)能過剩？國(guó)內(nèi)產(chǎn)能僅有10萬片不到，僅能滿足國(guó)內(nèi)1/20的MEMS芯片需求！

隨著國(guó)內(nèi)多條MEMS芯片產(chǎn)線的建設(shè)、投產(chǎn)，MEMS芯片產(chǎn)能是否過剩，成為業(yè)界話題。作為國(guó)產(chǎn)新興MEMS晶圓廠，華鑫微納認(rèn)為國(guó)內(nèi)MEMS晶圓遠(yuǎn)未滿足實(shí)際需求。

目前，全球每年需要的MEMS晶圓，折合成8英寸晶圓數(shù)量來計(jì)算，約400萬片左右，我國(guó)作為全球最大的電子產(chǎn)品生產(chǎn)基地，每年需要消耗全球一半的MEMS芯片產(chǎn)能，約每年需要200萬片8英寸MEMS晶圓。

而我國(guó)每年提供的8英寸MEMS晶圓，只有10萬片不到，因此就MEMS晶圓的絕對(duì)數(shù)量需求來看，國(guó)內(nèi)不存在MEMS芯片產(chǎn)能過剩的情況。
那么，為什么還有產(chǎn)能過剩，甚至行業(yè)內(nèi)卷的擔(dān)憂？張勝兵談到：

“為什么我們有這么大的市場(chǎng)容量，我們還會(huì)出現(xiàn)類似內(nèi)卷的現(xiàn)象呢？原因在于什么？我們現(xiàn)在內(nèi)卷的都卷一些什么？我們剛剛講三個(gè)東西，濾波器、麥克風(fēng)、壓力芯片，這樣一些消費(fèi)級(jí)的、非常低成本的MEMS芯片，天天都在卷。我們實(shí)際上并不是想卷，而是國(guó)內(nèi)的一些我們認(rèn)為好的賽道的MEMS傳感器的芯片沒有研發(fā)出來，沒有真正的實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，這才導(dǎo)致我們只能去卷一些低端的產(chǎn)品，所以我們的市場(chǎng)容量是很大的，產(chǎn)能是不過剩的，真正過剩的是低端產(chǎn)品的產(chǎn)能，而并非有市場(chǎng)價(jià)值的中高端產(chǎn)品的產(chǎn)能，所以我們的信心還是要足一點(diǎn)。”

AI提升生產(chǎn)效率成產(chǎn)業(yè)趨勢(shì)，MEMS芯片研發(fā)制造中，AI能有什么用？

當(dāng)前，行業(yè)內(nèi)外均在探索AI在實(shí)際生產(chǎn)研發(fā)中，對(duì)產(chǎn)業(yè)效率提升的應(yīng)用。那么，作為MEMS芯片制造商，深入MEMS產(chǎn)業(yè)最核心的環(huán)節(jié)之一，華鑫微納將AI應(yīng)用于哪些方面？

據(jù)張勝兵介紹，目前華鑫微納已在三大領(lǐng)域部署了AI應(yīng)用，提升生產(chǎn)效率，包括：

1、辦公環(huán)境助手。通過AI助手總結(jié)情況通報(bào)、會(huì)議紀(jì)要等文件，提煉關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)信息。
2、工藝知識(shí)中樞。張勝兵認(rèn)為這是華鑫微納AI方面應(yīng)用的重要一步，通過向AI投喂工程師在實(shí)際工作中的工作日志、工作總結(jié)、設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)等技術(shù)文檔和設(shè)計(jì)材料，將工程師日常碰到的問題和解決辦法提供給AI，從而將這些工程經(jīng)驗(yàn)沉淀到AI中，成為共享數(shù)字資產(chǎn)，進(jìn)而反哺后續(xù)的工藝研發(fā)，加快研發(fā)速度和提高研發(fā)效率。讓以前靠工程師經(jīng)驗(yàn)判斷的工藝決策，上升到基于大量數(shù)據(jù)的AI輔助決策的方向上來。

3、良率先知系統(tǒng)。在MEMS芯片等半導(dǎo)體制造過程中，有眾多的檢測(cè)去控制產(chǎn)品質(zhì)量，以前需要大量人工去分辨，現(xiàn)在基本使用AI輔助判斷，通過百萬級(jí)的檢測(cè)數(shù)據(jù)訓(xùn)練的AI模型，輔助工作人員進(jìn)行產(chǎn)品良率的檢測(cè)，并提前預(yù)判工藝故障問題，從而提升生產(chǎn)線的管理效率和良率品質(zhì)。

結(jié)語

MEMS芯片制造是智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，與集成電路芯片不同，MEMS產(chǎn)品的研發(fā)涉及芯片設(shè)計(jì)和工藝制造的高度協(xié)同，只有設(shè)計(jì)-制造互相匹配，MEMS產(chǎn)品才能被最終制造出來，最終落地。

長(zhǎng)久以來，我國(guó)智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的落后，其關(guān)鍵原因之一，就在于國(guó)內(nèi)沒有較多的、高水平的MEMS芯片制造產(chǎn)線支撐國(guó)內(nèi)傳感器企業(yè)的芯片設(shè)計(jì)落地，協(xié)助購(gòu)買國(guó)外MEMS芯片進(jìn)行封裝/模組組裝的國(guó)產(chǎn)傳感器OEM企業(yè)向MEMS傳感器Fabless企業(yè)升級(jí)。

如華鑫微納等多條高水平的MEMS芯片產(chǎn)線的建設(shè)、投產(chǎn)，極大地提升了國(guó)內(nèi)智能傳感器發(fā)展水平，已成為行業(yè)共識(shí)。當(dāng)前產(chǎn)業(yè)如何從許多消費(fèi)級(jí)、低水平的MEMS產(chǎn)品向汽車級(jí)、工業(yè)級(jí)等高利潤(rùn)、高技術(shù)的方向提升，避免低端產(chǎn)品過多內(nèi)卷，從而造成產(chǎn)能過剩的假象，將是行業(yè)亟需共同努力的方向。
正如張勝兵在訪談的結(jié)尾所強(qiáng)調(diào)，華鑫微納將集中精力于中高端MEMS產(chǎn)品的研發(fā)，協(xié)助中國(guó)MEMS產(chǎn)業(yè)提升中高端MEMS產(chǎn)品的研發(fā)產(chǎn)出：

“MEMS這個(gè)領(lǐng)域一定是一個(gè)非常朝氣蓬勃的產(chǎn)業(yè)。因?yàn)樗恢痹诔砷L(zhǎng)，MEMS智能傳感器并不局限于傳統(tǒng)市場(chǎng)，它將開拓很多新興的應(yīng)用領(lǐng)域，這些應(yīng)用領(lǐng)域才是我們這些MEMS從業(yè)者應(yīng)該是向往的。華西微納我們不會(huì)在低端制造里面做內(nèi)卷式的競(jìng)爭(zhēng)，我們將依托行業(yè)領(lǐng)先的體硅工藝、MEMS-CMOS集成等技術(shù)能力，幫助企業(yè)研發(fā)、量產(chǎn)具有差異化的、國(guó)內(nèi)目前無法大規(guī)模量產(chǎn)的中高端MEMS器件，我們的精力會(huì)放在這里。”