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標(biāo)簽 > 白光干涉儀
干涉儀是一種對光在兩個不同表面反射后形成的干涉條紋進行分析的儀器。其基本原理就是通過不同光學(xué)元件形成參考光路和檢測光路。
干涉儀是一種對光在兩個不同表面反射后形成的干涉條紋進行分析的儀器。其基本原理就是通過不同光學(xué)元件形成參考光路和檢測光路。
光的干涉是指從目標(biāo)對象表面到某點的光距(光路)產(chǎn)生偏差時,所發(fā)生的現(xiàn)象。利用這種現(xiàn)象測量目標(biāo)對象表面凹凸的就是光學(xué)干涉儀。右圖是干涉應(yīng)變計的結(jié)構(gòu)圖。從光源(半導(dǎo)體激光等)發(fā)出的光有一些透過分光鏡到達參考面上,其余被反射到樣本表面。透過的光經(jīng)參考面反射通過光接收元件即CCD元件成像。其余被反射的光經(jīng)目標(biāo)對象表面反射透過分光鏡,同樣通過光接收元件即CCD元件成像。
激光干涉儀的原理是什么 白光干涉儀和激光干涉儀有何區(qū)別
根據(jù)激光干涉儀的原理,我們可以清楚知道,激光干涉儀是用來檢測設(shè)備的運動精度的,SJ6000激光干涉儀目前在機床、直線電機、滑臺、模組、自動化設(shè)備、機器人...
本文介紹了白光干涉儀的故障現(xiàn)象和原因與檢修方法還介紹了白光干涉儀的維護方法。
光譜分光型白光干涉儀結(jié)構(gòu)原理及應(yīng)用
光源是超輻射發(fā)光二極管(SLD),從光源發(fā)出的光進入光纖耦合器,從耦合器輸出的光經(jīng)消色差準直器準直成平行光,使用分光棱鏡將準直光分為參考光和樣品光。
在納米顯微測量領(lǐng)域,中圖儀器基于納米傳動與掃描技術(shù)、白光干涉與高精度3D重建技術(shù)、共聚焦測量等技術(shù)積累,推出了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的白光干涉儀(Z向分辨率可...
白光干涉儀(光學(xué)輪廓儀):揭秘測量坑的形貌的利器!
SuperViewW1白光干涉儀結(jié)合數(shù)字圖像處理技術(shù)和三維重建算法來提高測量的精度和效率,揭秘并測量坑的形貌,為科學(xué)研究和工程實踐提供更有力的支持。
就 ” 白光 -干涉- 高度” 三個內(nèi)容, 小優(yōu)博士帶大家一起了解白光干涉儀是如何獲得高度。 ? 一、什么是白光? 可見光波長范圍390nm - 780...
2023-05-11 標(biāo)簽:白光干涉儀 1086 0
微觀特征輪廓尺寸測量:光學(xué)3D輪廓儀、共焦顯微鏡與臺階儀的應(yīng)用
顯微測量儀器被用于微觀尺寸的測量,其中包括光學(xué)3D表面輪廓儀(白光干涉儀)、共聚焦顯微鏡和臺階儀。有效評估材料表面的微觀結(jié)構(gòu)和形貌,從而指導(dǎo)生產(chǎn)過程、優(yōu)...
3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000提供了強?、多功能的?接觸式光學(xué)表?分析。它可以簡單和快速地測量各種表?類型,包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表?。
2024-08-10 標(biāo)簽:測量系統(tǒng)圖像輪廓三維掃描儀 880 0
白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器,用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析,用于測試各類表面并自動...
白光干涉儀測量光學(xué)鏡片的表面粗糙度、面形PV值、曲率半徑案例分享
表面粗糙度、面形、曲率半徑等參數(shù)是影響光學(xué)鏡片品控與性能的重要因素,選擇一種精度高、速度快、操作簡便的檢測方法,能夠幫助降低光學(xué)鏡片的報廢率,進一步提升...
白光干涉儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度檢測儀器之一。在同等放大倍率下,測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級別的超高...
2022-03-07 標(biāo)簽:白光干涉儀 3691 0
白光干涉儀(光學(xué)3D表面輪廓儀)能測什么?應(yīng)用案例介紹
白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)原理,對各種精密器件表面進行納米級測量的光學(xué)3D表面輪廓測量儀,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重...
在微電子、微機械、微光學(xué)等領(lǐng)域,因為現(xiàn)有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點,以及單一的光學(xué)非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高...
2022-04-13 標(biāo)簽:白光干涉儀光學(xué)輪廓儀 2679 0
在芯片封裝測試流程中,半導(dǎo)體白光干涉儀可以測量晶圓膜厚、粗糙度、平整度(翹曲),晶圓切割槽深、槽寬、崩邊形貌等參數(shù)。
2022-09-14 標(biāo)簽:白光干涉儀半導(dǎo)體白光干涉儀 2376 0
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