ITO薄膜（Indium Tin Oxide，氧化銦錫）是一種透明導電氧化物（TCO）薄膜，由氧化銦（In?O?）和氧化錫（SnO?）按一定比例（90%In?O?和10%SnO?）混合制成，兼具高透光性和優良導電性，因其優異特性在各行業都有著廣泛應用。

ITO薄膜的行業應用

光伏能源

ITO薄膜作為透明材料電極，在異質結太陽能電池中，可以優化光的吸收和電荷傳輸，以此提升光電轉換效率。此外，ITO薄膜的導電透光特性也影響著鈣鈦礦電池和CIGS薄膜電池的轉換效率。顯示面板ITO薄膜憑借高透光率85%-95%（接近玻璃的透光率），以及其低電阻率（10??~10?3 Ω·cm），成為LCD、OLED、觸摸屏的關鍵材料，其廣泛應用在智能手機、平板電腦、電子白板等設備。智能調光憑借其ITO薄膜的高透光性和導電性，通過電場調節透光率，可以實現動態節能與遮陽，應用于綠色節能建筑和汽車玻璃。新興行業應用目前，ITO薄膜在AR/VR光學器件、醫療檢測傳感器等多個新興行業中嶄露頭角，未來或將在更多新科技場景中發揮重要作用。
把控表面粗糙度與厚度的重要性

表面粗糙度

ITO表面粗糙度影響其電學性能、光學性能與器件可靠性。若表面粗糙度過大，會降低載流子注入效率、影響光散射、降低透光率等等，甚至會導致后續鍍膜（如SiO?保護層）出現針孔或剝離。優可測白光干涉儀AM系列，可以精準測量ITO薄膜的表面粗糙度，精度高達亞納米級，掃描速度高達400μm/s，幫助廠家優化產品性能，實現降本增效。

厚度

ITO薄膜厚度影響其電學性能、光學性能以及工藝成本。

• 不同厚度的ITO薄膜，其方阻大小不一，需要根據實際需求調控薄膜厚度；
• 厚度影響光程差，且厚度不均會導致可見光波段透光率曲線偏移；
• 在性能需求范圍下適當減小薄膜厚度，減少成本。厚度每降低10nm，可減少約15%的銦用量，對成本敏感的大面積光伏應用尤為重要。

優可測薄膜厚度測量儀AF-3000系列，亞納米級精度測量ITO薄膜厚度，可適應離線、在線等多種測量場景，單點測量速度＜0.5s（包括運動時間）。