3D白光干涉輪廓儀原理，特點，參數
3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 原理
照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光相互干涉，在大靶面黑白相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現的位置計算出被測樣品的相對高度，從而得到樣品表面的三維尺寸信息。
普密斯3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000系列3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 介紹
3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000提供了強?、多功能的?接觸式光學表?分析。它可以簡單和快速地測量各種表?類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表?。所有的測量都是?損、快速、?需樣品制備的。所有放?倍數下實現亞納?的精度，并且能夠快速準確的測試各種樣品表?，為客?提供?投資回報率的體驗。
普密斯3D白光干涉輪廓儀重復精度0.01nm3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 特點
1、表征微觀形貌的粗糙度測量；
2、臺階高、角度等輪廓尺寸測量；
3、自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；
4、校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等數據處理功能；
5、對比分析和多文件分析等輔助分析功能。
普密斯3D白光干涉輪廓儀3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 參數
3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 參數3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 測量案例
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發表于 06-07 09:31
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