在表面形貌分析中，波紋度分析是一項非常常見且重要的分析項目。如在緊密機械加工領域，人們通過分析機械加工表面的波紋度，可以確保產品表面符合設計標準，優化加工工藝，提高零件的精度和性能，減少摩擦、磨損和噪音，從而提高產品的性能和壽命；在材料科學領域，人們通過研究材料表面的微觀結構，可以分析其在磨損、腐蝕或疲勞過程中的變化；在電子半導體領域，人們也需要分析電子元件表面的微觀結構，確保其表面質量符合制造標準。

但很多時候，波紋度和粗糙度這兩類表面形貌是混在一起的。在波紋度分析前，我們需要通過濾波技術，將波紋度成分從粗糙度中分離出來，以便單獨分析。

根據ISO標準，波紋度的波長范圍通常在1mm到10mm之間，而粗糙度的波長范圍則小于1mm。區分波紋度和粗糙度，我們可以通過設置濾波參數來實現。（圖1）

圖1 粗糙度和波紋度輪廓的傳輸特性

在優可測白光干涉儀配套的數據分析軟件中，包括高斯濾波器和樣條濾波器，這些濾波器可以有效分離表面形貌中的波紋度和粗糙度成分。我們可以通過設置濾波器的截止波長（λc）來區分波紋度和粗糙度，通常設置為1mm左右。這樣，波長小于1mm的成分會被歸為粗糙度，而波長大于1mm的成分會被歸為波紋度。

從濾波器角度來看，你也可以認為，粗糙度輪廓是對原始輪廓采用λc輪廓濾波器抑制長波成分以后形成的輪廓；而波紋度輪廓是對原始輪廓連續運用λf和λc兩個輪廓濾波器后形成的輪廓。

應用濾波器后，軟件會自動將表面形貌分解為波紋度和粗糙度兩個分量，并分別顯示。我們就可以觀察波紋度分量的3D可視化，計算波紋度參數（如Wq、Wz等）；同樣，我們也可以對粗糙度分量進行分析，計算粗糙度參數（如Ra、Rq等）。

在通過截止波長（λc）來區分波紋度和粗糙度后，我們應該如何驗證它們已經被區分了呢？方法有兩種。

一種是通過計算波紋度和粗糙度的相關參數（如波紋度的Wq、Wz和粗糙度的Ra、Rq等），驗證分離效果。如果分離效果良好，波紋度參數應主要反映較長波長的表面特征，而粗糙度參數則反映較短波長的特征。

第二種是傅里葉變換（FFT）分析，可以對表面形貌進行頻率分析。通過觀察頻率譜，我們還可以直觀地確認波紋度和粗糙度的頻率分布是否符合預期，進一步驗證分離效果。

當然，我們還可以將分析結果與標準數據或已知樣本進行對比，驗證波紋度和粗糙度的分離是否符合預期。