粗糙度儀有接觸式粗糙度儀和非接觸式粗糙度儀兩種。
- 接觸式粗糙度儀
接觸式粗糙度儀工作原理為觸針掃描法,當觸針直接在工件被測表面上輕輕劃過時,由于被測表面輪廓峰谷起伏, 觸針將在垂直于被測輪廓表面方向上產生上下移動,把這種移動通過電子裝置把信號加以放大, 然后通過指零表或其它輸出裝置將有關粗糙度的數據或圖形輸出來。

- 非接觸式粗糙度儀
非接觸式粗糙度儀為白光干涉儀。

白光干涉儀是利用光學干涉原理研制開發的超精密表面輪廓測量儀器。照明光束經半反半透分光鏡分威兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現的位置解析出被測樣品的相對高度。

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