白光干涉儀又叫做非接觸式光學3D表面輪廓儀，是以白光干涉掃描技術為基礎研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。它以白光干涉技術為原理，光源發出的光經過擴束準直后經分光棱鏡后分成兩束，一束經被測表面反射回來，另外一束光經參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發生干涉，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號，通過測量干涉條紋的變化，能實現表面輪廓的三維重建并可進行輪廓尺寸分析。

白光干涉儀的形貌測量，以表面形貌為主，即工件某一個表面上的微觀形貌：

1、微觀輪廓尺寸測量：主要是臺階高、槽深之類，涉及到最小縱向10nm量級，在驗證上可以與原子力顯微鏡、臺階儀交叉驗證。

2、粗糙度測量：白光測量的粗糙度范圍從0.1nm到10μm級別。面和線粗糙度測量，最高可確保0.1nm的測量可靠性，不限制材質和形狀。

SuperViewW1白光干涉儀粗糙度RMS重復性0.005nm，利用光波干涉原理 將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數高的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量，以得出被測表面粗糙度，可以輕松測量曲面粗糙度。

針對葉片類曲面零部件，型號為W3的白光干涉儀能夠在空間范圍內實現曲面全自動測量功能，解決其形狀不規則裝夾不便、測量點分布不在同一個面、單次測量效率低的問題。