光譜共焦位移傳感器是通過(guò)彩色激光光源發(fā)射出一束高密度寬光譜光，通過(guò)色散鏡頭后，在量程范圍內(nèi)行程不同波長(zhǎng)的單色光，每個(gè)波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值，測(cè)量光射到物體表面反射回來(lái)，只有滿足共聚焦條件的光，可以通過(guò)小孔被光譜儀感測(cè)到。通過(guò)計(jì)算被感測(cè)到光的焦點(diǎn)的波長(zhǎng)，換算獲的距離值。今天由深圳立儀科技公司介紹光譜共焦的干涉測(cè)量原理及厚度測(cè)量模式：

　　干涉測(cè)量法基于白光干涉圖(SAWLI)的光譜分析。是光譜共焦傳感器等光學(xué)檢測(cè)儀器儀表中必然涉及到的概念。

　　它包括分析在光譜儀上觀察到的干擾信號(hào)，以便測(cè)量參比板和樣品之間的氣隙厚度。發(fā)達(dá)系統(tǒng)的獨(dú)創(chuàng)性在于將參考板固定在檢測(cè)目標(biāo)上。由于參考板和樣品固定在一起，機(jī)械振動(dòng)不會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。

　　此外，該傳感器可用于測(cè)量太薄而不允許使用色彩共焦技術(shù)的透明薄膜。最小可測(cè)厚度為0.4μm。

　　光譜共焦測(cè)量技術(shù)通過(guò)分析不同波長(zhǎng)的光在特定表面的聚焦位置以進(jìn)行高精度的尺寸測(cè)量和微觀形貌分析。根據(jù)這一測(cè)量原理，特定波長(zhǎng)的光可能聚焦在樣品正面，而對(duì)于透明材質(zhì)樣品，兩條不同波長(zhǎng)的光在樣品的正反面聚焦。這正是光譜共焦提供的兩種測(cè)量模式，前者為位移測(cè)量模式，后者為厚度測(cè)量模式。

　　厚度測(cè)量模式：

　　在測(cè)量玻璃、鏡片等透明樣品時(shí)，不同波長(zhǎng)的兩束光在樣片正反表面聚焦，在導(dǎo)入樣品折射系數(shù)參數(shù)之后，可計(jì)算出該樣品的厚度值。相比于游標(biāo)卡尺等傳統(tǒng)的接觸式測(cè)量工具，光譜共焦測(cè)量擁有所有非接觸式光學(xué)測(cè)量的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)還具有單側(cè)測(cè)量即可獲取樣品厚度值的特性。

　　折射系數(shù)直接影響厚度測(cè)量的數(shù)據(jù)精度，因此在測(cè)量開(kāi)始時(shí)應(yīng)先確認(rèn)樣品的折射率。折射率可參考同類(lèi)材料的數(shù)值，但如需獲得更高精度的厚度測(cè)量結(jié)果，需借助折光儀測(cè)得樣品的折射率。

　　光譜共焦的兩種測(cè)量模式可在軟件界面中自由切換，無(wú)需重新啟動(dòng)設(shè)備或系統(tǒng)。因此，無(wú)論是樣品表面尺寸測(cè)量，還是透明材質(zhì)厚度測(cè)量，亦或是同時(shí)獲取透明樣品的外觀尺寸和厚度信息，光譜共焦測(cè)量技術(shù)都能從容應(yīng)對(duì)。

　　基于光譜共焦的厚度測(cè)量?jī)x：

　　可實(shí)現(xiàn)兩軸的厚度掃描，并實(shí)時(shí)記錄厚度值，生成三維圖形;采用非接觸式測(cè)量，不會(huì)因?yàn)槟p從而影響精度;采用雙頭測(cè)厚，測(cè)量時(shí)不受被測(cè)物上下抖動(dòng)影響;全數(shù)字的系統(tǒng)，操作方便，而且自帶校準(zhǔn)功能;測(cè)量對(duì)象包含金屬板、玻璃、薄膜、紙張、金屬箔片等;

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