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      電子發燒友網>電子資料下載>電子資料>CP系列臺階儀測量ITO導電薄膜厚度

      CP系列臺階儀測量ITO導電薄膜厚度

      2023-06-27 | docx | 0.80 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      由于ITO膜具有一定的透光性，而硅基板具有較強的反射率，會對依賴反射光信號進行圖像重建的光學輪廓儀造成信號干擾導致ITO膜厚圖像重建失真，因此考慮采用接觸式輪廓儀對ITO膜厚進行測量，由于其厚度范圍從十幾納米到幾百納米，考慮到測量的同時不損傷樣件本身，因而采用具有超微力可調和亞納米級分辨率的臺階儀最為合適。

       

      臺階儀是一種常用的膜厚測量儀器，它是利用光學干涉原理，通過測量膜層表面的臺階高度來計算出膜層的厚度，具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點。它可以測量各種材料的膜層厚度，包括金屬、陶瓷、塑料等。

      CP200臺階儀

      CP系列臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級分辨率和超微測力等特點使得其在ITO導電薄膜厚度的測量上具有很強的優勢。

       

       

      針對測量ITO導電薄膜的應用場景，CP200臺階儀提供如下便捷功能：
      1）結合了360°旋轉臺的全電動載物臺，能夠快速定位到測量標志位；
      2）對于批量樣件，提供自定義多區域測量功能，實現一鍵多點位測量；
      3）提供SPC統計分析功能，直觀分析測量數值變化趨勢；

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