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激光干涉儀精度受什么影響?

中圖儀器 ? 2023-10-07 14:05 ? 次閱讀

激光干涉儀作為現(xiàn)代精密測量儀器的代表,在精密制造、計量等各個行業(yè)領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用,在精密位移、直線度、垂直度等測量領(lǐng)域發(fā)揮著重要的作用。什么是決定激光干涉儀測量精度的關(guān)鍵因素?您正在使用或購買的激光干涉儀精度能夠達(dá)到指標(biāo)要求么?如何對激光干涉儀的精度和性能進(jìn)行驗證評價?

wKgZomUg9KSAIuebAAOEmNRDDkc984.pngSJ6000激光干涉儀

激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關(guān)?

激光干涉儀在實際使用中,需要確認(rèn)其在各個測量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)最終均與激光波長有關(guān),因此激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外,激光干涉儀的環(huán)境條件補償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準(zhǔn)確性對最終的測量精度有著重要的影響。

總結(jié)起來,影響激光干涉儀測量精度的因素包括:
1.激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性;
2.測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差;
3.反射鏡、角錐棱角誤差;
4.溫濕度、壓力傳感器誤差;

當(dāng)然,在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。

激光干涉儀的校準(zhǔn)與精度驗證

激光干涉儀在購置投入使用前應(yīng)進(jìn)行關(guān)鍵性能的驗證。且隨著使用年限的增加,激光干涉儀(包括環(huán)境補償系統(tǒng))的性能可能會因老化或使用不當(dāng)出現(xiàn)衰退,對測量精度造成影響。因此需要定期對激光干涉儀測量系統(tǒng)的關(guān)鍵性能參數(shù)進(jìn)行校準(zhǔn),以確保在精密測量應(yīng)用中獲得準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)結(jié)果。根據(jù)國家計量檢定規(guī)程的要求,需要對激光干涉儀激光頻率、測距誤差、測角誤差、環(huán)境補償傳感器進(jìn)行定期校準(zhǔn)。

poYBAGLCncqAaKF0AAaVLbjditc081.png導(dǎo)軌直線度檢測pYYBAGLCnbmAUe_XAAXAvhAb4BQ216.png傳感器線性精度測量poYBAGP4euKAcOJPAAXPMffhLUU444.png***X軸Pitch測量pYYBAGPzJXqAJeAuAAY8oT_7as0930.png***Y軸Vertical Straightness測量pYYBAGLCneGAR8sHAAOHunofH_M343.png自動化設(shè)備精度測量

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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