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激光干涉儀工作原理

中圖儀器 ? 2023-06-07 16:24 ? 次閱讀

激光干涉儀又稱為干涉測量裝置,是一種利用光的干涉原理來測量物體長度、厚度、形狀、折射率等參數的儀器。它主要由激光光源,邁克爾遜型或其他形式的干涉光學系統,光電轉換器件為fc的信號接收系統,可逆計數器、顯示記錄裝置組成的信號處理系統,以及可移動平臺、光電顯微鏡組成的運動與對準系統等部件組成。

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工作原理

原理是激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。

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SJ6000激光干涉儀采用高性能的穩頻氦氖激光器,采用邁克爾遜干涉原理的測量儀器。具有測量精度高、量程大、速度快、靈敏度高、抗擾力強等優點。

在計量領域中可作為長度基準以及設備校準工具。廣泛應用于數控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領域。

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使用注意事項

1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。
2、在移動儀器時,為防止導軌變形,應托住底座再進行移動。
3、儀器的光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發霉。
4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應當小心擦拭,利用科學的方法進行清潔。
5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件,應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。
6、在使用時應避免強旋、硬扳等情況,合理恰當的調整部件。
7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿,保持其不失油。

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