瑞樂(lè)半導(dǎo)體文章

• 瑞樂(lè)半導(dǎo)體——On Wafer WLS-EH無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)半導(dǎo)體制造工藝溫度監(jiān)控的革新方案2025-05-12 22:26

  

  在半導(dǎo)體制造中，工藝溫度的精確控制直接關(guān)系到晶圓加工的良率與器件性能。傳統(tǒng)的測(cè)溫技術(shù)（如有線測(cè)溫）易受環(huán)境干擾，難以在等離子刻蝕環(huán)境中實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。OnWaferWLS無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)通過(guò)自主研發(fā)的傳感器集成技術(shù)，將微型溫度傳感器直接嵌入晶圓載體（wafer），實(shí)現(xiàn)了對(duì)制程溫度的原位、實(shí)時(shí)、全流程監(jiān)控。該系統(tǒng)的核心突破在于DUALSHIELD技術(shù)，解決了在干

  半導(dǎo)體制造 測(cè)溫儀 測(cè)溫系統(tǒng) 218瀏覽量

• 瑞樂(lè)半導(dǎo)體——TC Wafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)持久防脫專利解決測(cè)溫點(diǎn)脫落的難題2025-05-12 22:23

  

  TCWafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)是一種專為半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計(jì)的溫度測(cè)量設(shè)備，通過(guò)利用自主研發(fā)的核心技術(shù)將高精度耐高溫的熱電偶傳感器嵌入晶圓表面，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓特定位置及整體溫度分布的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，記錄晶圓在制程過(guò)程中的溫度變化數(shù)據(jù)，為半導(dǎo)體制造過(guò)程提供一種高效可靠的方式來(lái)監(jiān)測(cè)和優(yōu)化關(guān)鍵的工藝參數(shù)。【核心技術(shù)】防脫落專利技術(shù)：TCWafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)在高溫、真空或強(qiáng)振動(dòng)環(huán)

  晶圓 測(cè)溫儀 測(cè)溫系統(tǒng) 238瀏覽量

• 瑞樂(lè)半導(dǎo)體——AVS 無(wú)線校準(zhǔn)測(cè)量晶圓系統(tǒng)讓每一片晶圓都安全抵達(dá)終點(diǎn)2025-04-24 14:57

  

  AVS 無(wú)線校準(zhǔn)測(cè)量晶圓系統(tǒng)就像給晶圓運(yùn)輸過(guò)程裝上了"全天候監(jiān)護(hù)儀"，推動(dòng)先進(jìn)邏輯芯片制造、存儲(chǔ)器生產(chǎn)及化合物半導(dǎo)體加工等關(guān)鍵制程的智能化質(zhì)量管控，既保障價(jià)值百萬(wàn)的晶圓安全，又能讓價(jià)值數(shù)千萬(wàn)的設(shè)備發(fā)揮最大效能，實(shí)現(xiàn)降本增效。

  半導(dǎo)體 無(wú)線 晶圓 345瀏覽量

• 瑞樂(lè)半導(dǎo)體——On Wafer WLS-WET 濕法無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)是半導(dǎo)體先進(jìn)制程監(jiān)控領(lǐng)域的重要?jiǎng)?chuàng)新成果2025-04-22 11:34

  

  On Wafer WLS-WET無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)是半導(dǎo)體先進(jìn)制程監(jiān)控領(lǐng)域的重要?jiǎng)?chuàng)新成果。該系統(tǒng)通過(guò)自主研發(fā)的核心技術(shù)，將溫度傳感器嵌入晶圓集成，實(shí)現(xiàn)了晶圓本體與傳感單元的無(wú)縫融合。傳感器采用IC傳感器，具備±0.1℃的測(cè)量精度和10ms級(jí)快速響應(yīng)特性，可實(shí)時(shí)捕捉濕法工藝中瞬態(tài)溫度場(chǎng)分布。

  Wafer wafer測(cè)試 半導(dǎo)體 晶圓 178瀏覽量