在半導體制造過程中,最重要的一個過程就是光刻工藝,需要用到***,7nm及以下節點工藝則需要EUV***,目前只有荷蘭ASML公司能生產,每臺售價超過1億歐元,可以說是半導體行業的明珠了,是門檻非常高的先進技術。
今年4月份荷蘭媒體突然重新炒作起2015年的一起ASML泄密案,聲稱有6名中國籍ASML公司員工竊取了ASML的商業機密,并將機密信息賣給了一家名為XTAL的美國創業公司,而后者又獲得過中國東方晶源公司的投資,所以這篇文章強烈暗示這件事背后與中國政府有關。
不過ASML公司方面隨后發表了聲明,否認了荷蘭媒體的報道,指出文章的失實之處。ASML表示這起案件發生于2015年,是ASML美國分部的部分員工所為,他們竊取了ASML用于優化流程的軟件機密,目的是創造一個新的競爭產品并出售給ASML公司的韓國客戶。
ASML 2016年發現此事之后他們迅速行動,采取法律行動保護自己,向法院提起了訴訟,最終XTAL公司敗訴,判賠2.23億美元懲罰金,2018年案件已經結束。
這起案件涉及荷蘭、中國及荷蘭多個國家的人員,XTAL獲得機密也只是有關生產工藝優化的,而且目標客戶是韓國某公司,之前有報道說是三星,結果三星也否認于此有關,ASML也表態力挺三星。
對于媒體的報道,ASML表示商業竊密一直存在各個行業中,他們反對給此類商業竊密行為貼國家標簽的行為,同時也反對任何評論此事會影響ASML中國區業務的猜測。
此外,在4月份的聲明中,ASML公司還稱贊了中歐之間達成的有關保護知識產權的協議。
這件事雖然過去了很久了,不過這幾天又被荷蘭某些議員炒作起來了,為此荷蘭經濟事務部長Wiebes日前作證說ASML公司沒有因為商業泄密而遭受任何損失,涉及的這種軟件也不會影響國家安全,同時也跟中國政府沒有關系。
-
光刻機
+關注
關注
31文章
1163瀏覽量
48012 -
ASML
+關注
關注
7文章
723瀏覽量
41956
原文標題:ASML光刻機機密被中國人竊取?
文章出處:【微信號:CSF211ic,微信公眾號:中國半導體論壇】歡迎添加關注!文章轉載請注明出處。
發布評論請先 登錄
光刻機巨頭ASML業績暴雷,芯片迎來新一輪“寒流”?
電子直寫光刻機駐極體圓筒聚焦電極
如何提高光刻機的NA值

組成光刻機的各個分系統介紹

用來提高光刻機分辨率的浸潤式光刻技術介紹

評論