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基于其三維集成技術(shù)平臺(tái)的三片晶圓堆疊技術(shù)研發(fā)成功

中國(guó)半導(dǎo)體論壇 ? 來(lái)源:lq ? 2018-12-04 11:31 ? 次閱讀

12月3日,武漢新芯對(duì)外宣布稱,基于其三維集成技術(shù)平臺(tái)的三片晶圓堆疊技術(shù)研發(fā)成功。

武漢新芯的晶圓級(jí)集成技術(shù)可將三片不同功能的晶圓(如邏輯、存儲(chǔ)和傳感器等)垂直鍵合,在不同晶圓金屬層之間實(shí)現(xiàn)電性互連。與傳統(tǒng)的2.5D芯片堆疊相比,晶圓級(jí)的三維集成技術(shù)能同時(shí)增加帶寬,降低延時(shí),提高性能,降低功耗。

武漢新芯技術(shù)副總裁孫鵬表示,三維集成技術(shù)是武漢新芯繼NOR Flash、MCU之外的第三大技術(shù)平臺(tái)。武漢新芯的三維集成技術(shù)居于國(guó)際先進(jìn)、國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平,已積累了6年的大規(guī)模量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),可為客戶提供工藝先進(jìn)、設(shè)計(jì)靈活的晶圓級(jí)集成代工方案。”

武漢新芯成立于2006年,由省市區(qū)三級(jí)政府集體決策投資107億,建設(shè)中部地區(qū)第一條12英寸集成電路生產(chǎn)線,2008年建成投產(chǎn)。2016年,在武漢新芯基礎(chǔ)上,紫光集團(tuán)、國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金、湖北集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金、湖北省科技投資集團(tuán)共同出資組建長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司,武漢新芯整體并入長(zhǎng)江存儲(chǔ),成為長(zhǎng)江存儲(chǔ)全資子公司。

武漢新芯自2012年開(kāi)始布局三維集成技術(shù),并于2013年成功將三維集成技術(shù)應(yīng)用于背照式影像傳感器,良率高達(dá)99%,隨后陸續(xù)推出硅通孔(TSV)堆疊技術(shù)、混合鍵合(Hybrid Bonding)技術(shù)和多片晶圓堆疊技術(shù)。

晶圓級(jí)的三維集成技術(shù)為后摩爾時(shí)代芯片的設(shè)計(jì)和制造提供了新的解決方案,在對(duì)帶寬、性能、多功能集成等方面有重要需求的人工智能物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域擁有頗為廣泛的應(yīng)用前景。

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原文標(biāo)題:突破!武漢新芯再獲技術(shù)突破!

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