在科技飛速發(fā)展的當下，集成電路產(chǎn)業(yè)的每一次突破都備受矚目。近日，一則振奮人心的消息傳來：總投資 50.6 億的全國首條8英寸MEMS 晶圓全自動生產(chǎn)線建設(shè)取得重大進展，預(yù)計于今年 9 月實現(xiàn)量產(chǎn)。這一項目的推進，不僅將為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)注入新的活力，也將在諸多領(lǐng)域產(chǎn)生深遠影響。

該生產(chǎn)線由安徽華鑫微納集成電路有限公司投資建設(shè)，坐落于中國（蚌埠）傳感谷。項目自啟動以來，便吸引了業(yè)界的廣泛關(guān)注。其總占地面積約 154 畝，總建筑面積達 8.7 萬平方米，規(guī)模宏大。生產(chǎn)線建成后，預(yù)計月產(chǎn)能可達 3 萬片，這一產(chǎn)能規(guī)模有望使其成為國內(nèi) MEMS 晶圓產(chǎn)出最大的生產(chǎn)線之一，同時也是我國第一條 8 英寸壓電 MEMS 量產(chǎn)線。

目前，項目已經(jīng)完成了全部設(shè)備的搬入和測試工作，正處于主要產(chǎn)品的工藝串線階段，預(yù)計 6 月底完成這一關(guān)鍵環(huán)節(jié)。據(jù)了解，該生產(chǎn)線集成了多項先進技術(shù)，具備高度的自動化和智能化水平。例如，其部署的智慧能源、數(shù)字孿生、智能倉儲等系統(tǒng)，配合國內(nèi)首條全自動天車系統(tǒng)，實現(xiàn)了超 90% 的自動化率和近無人化生產(chǎn)，大大提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

從技術(shù)層面來看，這條生產(chǎn)線聚焦于 MEMS 晶圓代工領(lǐng)域，致力于打造一個具有技術(shù)前瞻性與市場適配性的柔性化制造平臺。它集成了硅基 MEMS、壓電 MEMS、CMOS-MEMS 單片集成及 2.5D/3D 微系統(tǒng)集成等先進技術(shù)，形成了研產(chǎn)協(xié)同的完整體系。這種技術(shù)上的先進性和全面性，使得生產(chǎn)線能夠生產(chǎn)出多種類型的傳感器芯片，產(chǎn)品覆蓋慣性傳感器、壓力傳感器、光 MEMS 執(zhí)行器、環(huán)境傳感器、噴墨打印頭等多元領(lǐng)域，滿足不同行業(yè)的多樣化需求。

在市場應(yīng)用方面，該生產(chǎn)線生產(chǎn)的傳感器芯片具有廣泛的用途，涉及工業(yè)、農(nóng)業(yè)、醫(yī)療、車載電子以及航天航空等多個重要領(lǐng)域。在工業(yè)領(lǐng)域，傳感器芯片可用于智能工廠的設(shè)備監(jiān)測與自動化控制，提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量；在農(nóng)業(yè)中，可實現(xiàn)精準農(nóng)業(yè)，通過對土壤、氣候等環(huán)境因素的監(jiān)測，優(yōu)化農(nóng)作物的種植和灌溉；醫(yī)療領(lǐng)域，可應(yīng)用于醫(yī)療器械，實現(xiàn)更精準的疾病診斷和治療；車載電子方面，為自動駕駛、智能網(wǎng)聯(lián)汽車的發(fā)展提供關(guān)鍵技術(shù)支持；航天航空領(lǐng)域，傳感器芯片對于飛行器的導(dǎo)航、姿態(tài)控制等起著不可或缺的作用。可以說，隨著該生產(chǎn)線的量產(chǎn)，將有力推動這些行業(yè)的智能化升級，促進相關(guān)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。

從產(chǎn)業(yè)發(fā)展的角度來看，這條8英寸MEMS晶圓全自動生產(chǎn)線的建設(shè)和即將量產(chǎn)，具有多重積極意義。一方面，它將推動我國智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群向規(guī)模化、高端化發(fā)展。作為智能傳感器核心部件 ——MEMS 芯片的重要生產(chǎn)基地，蚌埠將逐步成為國內(nèi) MEMS 芯片制造的重要樞紐，吸引更多上下游企業(yè)集聚，完善產(chǎn)業(yè)鏈布局，提升我國在全球智能傳感器產(chǎn)業(yè)中的地位。另一方面，通過實現(xiàn) MEMS 芯片的國產(chǎn)化生產(chǎn)，將有效保障產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈的安全。以往，我國在部分高端 MEMS 芯片領(lǐng)域依賴進口，在國際形勢復(fù)雜多變的背景下，供應(yīng)鏈安全面臨挑戰(zhàn)。而該生產(chǎn)線的投產(chǎn)，將大幅降低國內(nèi)傳感器企業(yè)對進口芯片的依賴，提高本土產(chǎn)業(yè)鏈的自主性和抗風(fēng)險能力，同時也有助于降低國內(nèi)傳感器企業(yè)的生產(chǎn)成本，提升產(chǎn)品的市場競爭力。

據(jù)中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟常務(wù)副理事長郭源生透露，目前企業(yè)已累計與 50 家客戶達成合作意向，意向訂單總計約 21 萬片，另有 3 萬余片晶圓合同正在洽談中，這為生產(chǎn)線今年 9 月投產(chǎn)后的產(chǎn)能釋放提供了有力支撐，也顯示出市場對于該生產(chǎn)線產(chǎn)品的強烈需求。

全國首條 8 英寸 MEMS 晶圓全自動生產(chǎn)線的即將量產(chǎn)，是我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的一個重要里程碑。它標志著我國在 MEMS 晶圓制造技術(shù)領(lǐng)域取得了重大突破，將在推動產(chǎn)業(yè)升級、保障供應(yīng)鏈安全、促進經(jīng)濟發(fā)展等方面發(fā)揮重要作用。我們有理由期待，隨著這條生產(chǎn)線的穩(wěn)定運行，將為我國智能傳感器產(chǎn)業(yè)及相關(guān)領(lǐng)域帶來更多的創(chuàng)新與發(fā)展機遇，助力我國在全球科技競爭中占據(jù)更有利的地位。

來源：半導(dǎo)體芯科技

審核編輯 黃宇