10月26日，2023年全國電子顯微學(xué)學(xué)術(shù)年會在東莞市召開。國儀量子在會議期間重磅發(fā)布自主研制的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500、超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X，開啟了國產(chǎn)高端電鏡發(fā)展的全新時代。

發(fā)布會現(xiàn)場，國儀量子應(yīng)用工程師詳細介紹了兩款全新電鏡的研發(fā)歷程與技術(shù)細節(jié)，并現(xiàn)場演示了雙束電鏡的測樣過程，點燃了與會嘉賓對國產(chǎn)高端電鏡的熱情。

與用戶共創(chuàng)！開啟國產(chǎn)電鏡全新時代

多年來，國儀量子的工程師持續(xù)深入現(xiàn)場，走到用戶身邊，挖掘其對性能、操作等多維度需求，并將這些反饋落實到產(chǎn)品規(guī)劃中。

張澤院士（右三）、陳江華教授（左四）、馬德生老師（左二）與國儀量子副總裁張偉（右二）、副總裁曹峰（左三）等人合影

此前，國產(chǎn)電鏡技術(shù)一直局限在顯微成像層面，難以滿足更高層次的微納表征、測量加工制造等綜合性需求。國儀量子抓住用戶痛點，基于深厚的技術(shù)積累與出色的產(chǎn)品工程化能力，研發(fā)了自主可控的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500。這標志著國產(chǎn)電鏡正式邁入了微納加工的全新時代。

針對有著更小觀測尺度、更高分辨率觀測需求的科研用戶，國儀量子推出了敢為人先、極具挑戰(zhàn)意識的，超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。進一步夯實了國產(chǎn)高端電鏡發(fā)展的基礎(chǔ)。

聚焦離子束電子束雙束顯微鏡

DB500

優(yōu)雅精“制”DB500

DB500擁有自主可控的場發(fā)射電子鏡筒和“承影”離子鏡筒，是一款優(yōu)雅全能的納米分析和制樣工具。高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設(shè)計，低電壓高分辨率成像，保證納米分析能力。“承影”離子鏡筒采用液態(tài)鎵離子源，擁有高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，保證納米加工能力。集成式的納米機械手、氣體注入器、電子物鏡防污染機構(gòu)，擁有24個擴展口，配置全面，自主可控，擴展性強，為您打造全能納米分析和加工中心。

離子鏡筒"承影"

分辨率：3 nm@30 kV

探針電流：1 pA~50 nA

加速電壓范圍：500 V~30 kV

使用壽命：≥1000小時

長時間穩(wěn)定性：72小時不間斷工作

納米機械手

倉內(nèi)安裝方式

三軸全壓電驅(qū)動

步進精度≤10nm

最大移動速度2mm/s

集成式控制方式

離子束-電子束協(xié)同

氣體注入器

單氣體注入

多種氣源可選

伸縮距離≥35 mm

重復(fù)定位精度≤10 um

加熱溫度控制精度≤0.1℃

加熱溫度范圍：室溫~90℃

集成式控制方式

產(chǎn)品優(yōu)勢DB50001高壓隧道技術(shù)和無漏磁物鏡的電子鏡筒，高分辨率成像，兼容磁性樣品02“承影”離子鏡筒，高穩(wěn)定、高質(zhì)量的離子束流，用于高質(zhì)量納米加工和TEM制樣03樣品倉內(nèi)壓電陶瓷驅(qū)動的機械手，集成式控制方式，操作精準到位04自主可控，擴展性強，集成化設(shè)計的離子源更換時間快，極致的售后服務(wù)，提供免費的三年質(zhì)保無憂服務(wù)

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

SEM5000X

超高分辨 挑戰(zhàn)極限SEM5000X

SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計、高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級，實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升。全新設(shè)計的樣品倉，擴展接口增加至16個，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動功能增強，帶來了更強的性能和更好的體驗。

產(chǎn)品優(yōu)勢SEM5000X01超高分辨率成像，達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV02樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù)，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景03高精度機械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機架減震設(shè)計，可搭配整體罩殼設(shè)計，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響04最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求

本屆會議期間，來自全國的近2000位顯微學(xué)人齊聚一堂，以振興電子顯微學(xué)事業(yè)發(fā)展為己任，瞄準國家重大需求和國際前沿科學(xué)問題，不斷為我國卡脖子難題的攻克貢獻中國電子顯微學(xué)者不可或缺的重要力量。國儀量子秉承”為國造儀“的初心，基于市場與用戶需求，堅持自主創(chuàng)新與科研攻關(guān)，為國產(chǎn)高端科學(xué)儀器發(fā)展和國家科技自立自強不懈努力。