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透射電鏡與 FIB 制樣技術解析

金鑒實驗室 ? 2025-04-16 15:17 ? 次閱讀

透射電鏡的樣品種類

透射電鏡(TEM)的樣品類型多樣,涵蓋了粉末試樣、薄膜試樣、表面復型和萃取復型等多種形式。

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薄膜試樣則側重于研究樣品內部的組織、結構、成分、位錯組態和密度、相取向關系等。表面復型和萃取復型主要用于金相組織觀察、斷口形貌、形變條紋、第二相形態、分布和結構等方面的分析。

透射電鏡工作原理

透射電子顯微鏡(TEM)是一種高分辨率的顯微鏡技術,其工作原理是將經過加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上。散射角的大小與樣品的密度、厚度密切相關,因此可以形成明暗不同的影像。TEM 的分辨率通常在 0.1~0.2nm 之間,放大倍數可達幾萬至百萬倍,能夠觀察到小于 0.2 微米的超微結構,這些結構在光學顯微鏡下是無法看清的,因此也被稱為“亞顯微結構”。與光學顯微鏡相比,TEM 的成像原理雖然有相似之處,但也存在顯著的不同點。光學顯微鏡使用可見光作為照明束,而 TEM 則以電子作為照明束。在聚焦成像方面,光學顯微鏡采用玻璃透鏡,而 TEM 則使用磁透鏡。電子波長極短,且與物質的相互作用遵循布拉格方程(λ=2dsinθ),會產生衍射現象。正是由于這些特性,TEM 具備了高分辨率,并且具有結構分析的功能,能夠為材料科學、生物學、物理學等領域的研究提供強大的技術支持。


FIB 制樣原理及優勢

聚焦離子束(FIB)制樣技術是一種先進的樣品制備方法,其原理是利用電透鏡將離子源產生的離子束經過離子槍加速后聚焦,作用于樣品表面,實現樣品材料的銑削、沉積、注入和成像等功能。大多數 FIB 設備使用鎵(Ga)作為離子源,也有一些設備具備氦(He)和氖(Ne)離子源。將掃描電子顯微鏡(SEM)與 FIB 集成為一個系統,可以充分發揮兩者的優點。在加工過程中,可以利用電子束實時監控樣品的加工進度,從而更好地控制加工精度,使其成為納米級分析和制造的主要方法之一。

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FIB 制樣技術具有諸多優勢。首先,它能夠實現高精度的樣品加工,加工精度可達納米級別,這對于制備高質量的透射電鏡樣品至關重要。其次,FIB 制樣過程可以在同一設備中完成銑削、沉積等多種操作,大大提高了樣品制備的效率。此外,通過與 SEM 的結合,FIB 制樣技術可以在加工過程中實時觀察樣品的形貌和結構變化,及時調整加工參數,確保樣品的質量。這種實時監控功能不僅提高了樣品制備的成功率,還減少了樣品制備過程中的誤差和浪費。金鑒實驗室致力于為客戶提供高質量的測試和分析服務,幫助他們在材料科學、納米技術半導體制造等領域取得更大的進展。

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