功能材料分析的關(guān)鍵工具

場發(fā)射掃描電鏡（FE-SEM）是現(xiàn)代科學研究中不可或缺的工具，尤其在功能材料分析、微納結(jié)構(gòu)觀測以及結(jié)構(gòu)組分分析等領(lǐng)域。

高分辨場發(fā)射掃描電鏡的優(yōu)勢

與傳統(tǒng)的掃描電鏡相比，高分辨場發(fā)射掃描電鏡在形貌觀察和尺寸檢測方面具有顯著優(yōu)勢。它的簡便性和可操作性強，使得研究人員能夠更加直觀地觀察材料的微觀結(jié)構(gòu)，從而在科學研究和工業(yè)應用中發(fā)揮重要作用。

樣品制備的重要性

在進行材料樣品的組分分析時，樣品的制備方法至關(guān)重要。不當?shù)闹茦臃椒赡軙е滦蚊彩д婧统煞直壤`差，從而影響分析結(jié)果的準確性。因此，選擇合適的制樣方法對于獲得準確的電鏡表征至關(guān)重要。

離子束研磨儀的應用

離子束研磨技術(shù)是一種適用于多種材質(zhì)樣品的高質(zhì)量切割截面或拋光平面的解決方案。

離子研磨前金屬絲截面BSE圖

離子研磨前后的對比

以金屬絲樣品為例，該樣品包含鉑（Pt）和鎳（Ni）兩種成分。在未進行離子研磨前，掃描電鏡下的形貌顯示，雖然可以分辨出亮度高的Pt元素和亮度低的Ni元素，但兩種成分之間并沒有明顯的界限，且樣品表面存在污染物，這可能會影響Pt和Ni的定量分析。

離子研磨后金屬絲截面BSE圖

離子研磨后的效果

經(jīng)過離子束研磨后，樣品的截面結(jié)構(gòu)得到了顯著改善。電鏡結(jié)果顯示，樣品表面平整、干凈無污染，且Pt和Ni兩種成分有明顯的分界。通過EDS結(jié)果進一步證實了樣品由Pt和Ni兩種元素組成，其中Ni位于樣品中間，而Pt位于樣品邊緣。

離子研磨后金屬絲截面EDS結(jié)果

樣品處理方法的選擇

獲得樣品的真實結(jié)構(gòu)信息是進行電鏡表征的關(guān)鍵。因此，在進行電鏡分析前，用戶需要選擇合適的樣品處理方法。離子束研磨技術(shù)以其對樣品損傷小、能夠暴露樣品內(nèi)部真實結(jié)構(gòu)信息的特點，成為了一種有效的樣品處理方法。通過選擇合適的制樣方法，可以確保電鏡分析的準確性和可靠性，從而為科學研究和工業(yè)應用提供強有力的支持。