全自動精密劃片機工作原理

全自動精密劃片機是精密切割專用設(shè)備，切割前通常為外徑為6到12英寸的薄圓形片，根據(jù)用戶的不同需求切割成不同尺寸的晶粒。砂輪切割工藝又稱劃片或劃切，是以強力磨削為手段，通過空氣靜壓支撐的電主軸帶動超薄金剛石刀片以高速旋轉(zhuǎn)，用刀片上的微細(xì)磨粒與被加工物進(jìn)行接觸，使劃切處的材料產(chǎn)生碎裂，同時，承載著工件的工作臺以一定的速度沿著刀片與工件接觸方向進(jìn)行直線運動，然后在刀具自身轉(zhuǎn)動下以及切割水作用下將劃切產(chǎn)生的切屑帶出，最終實現(xiàn)工件分離或者開槽。

如圖1所示為全自動精密劃片機劃切原理圖。

通常劃片機劃切工件為圓形或方形的硬、脆和薄的材料，如硅晶圓、藍(lán)寶石基片、LED基片等。在軟件系統(tǒng)控制下，通過伺服電機驅(qū)動X、Y、Z三個方向的往復(fù)運動以及0軸向的轉(zhuǎn)動，按照預(yù)設(shè)尺寸將工件分離。

如圖2所示為晶圓劃切示意圖。

陸芯LX6366型雙軸晶圓切割機為12英寸全自動精密劃片機，全自動劃片機是從裝片、位置校準(zhǔn)、切割、清洗/干燥，到卸片為止的一系列工序，全部自動化操作。劃片機的切割機理是強力磨削，強力磨削的執(zhí)行單元-空氣靜壓電主軸單元，完成自動上、下料的晶圓傳輸定位系統(tǒng)，自動對準(zhǔn)系統(tǒng)和自動清洗系統(tǒng)是全自動劃片機的關(guān)鍵。采用高精密進(jìn)口主要配件，T軸采用DD馬達(dá)，重復(fù)精度1μm，穩(wěn)定性極強，兼容6"-12"材料，雙CCD視覺系統(tǒng)，性能達(dá)到業(yè)界一流水平。