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陸芯精密晶圓劃片機:從磨砂處理到芯片“誕生”

博捷芯半導體 ? 2022-05-18 14:22 ? 次閱讀
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陸芯精密晶圓劃片機:從磨砂處理到芯片“誕生”晶圓切割也叫劃片,是將晶圓經過磨砂處理后,切割成一個個單獨的芯片,為后續工序做準備的過程。

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晶圓切割機首先要進行磨砂工序,去除在前端工藝中受化學污染的部分,減少晶圓厚度;在進行磨砂處理之前,需將UV膠帶覆蓋在晶圓正面,這樣可以避免晶圓在切割過程中受到損傷;UV膠帶黏著性高,可以防止晶圓脫落,之后用真空卡盤桌吸住,研磨晶圓的背面使其變薄。

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在磨砂處理后,繼續在晶圓背面貼上UV膠帶,將其固定于輪狀的架子后,用表面貼有金剛石的超薄圓形刀片,沿著晶圓上的劃線縱橫切割。由于切割是通過研磨進行的,會產生大量的細小粉塵,因此在切割過程中必須不斷用DI水(Deionized water,去離子水)沖洗,以免污染晶粒。然后在UV膠帶背面照射紫外線,由于光化學反應,其黏著性會降低,從而很容易將芯片從膠帶上取下來。

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最后,在顯微鏡下對一個一個芯片進行外觀檢測,把有缺陷、損傷、污染的芯片淘汰,篩選出達到標準的芯片就可以進行下個工序了。

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