近日，上海鼎泰匠芯科技有限公司（以下簡稱“鼎泰匠芯”）潔凈室交付，首臺ASML光刻機(jī)設(shè)備搬入。

鼎泰匠芯專注于車規(guī)級半導(dǎo)體產(chǎn)品及通訊終端芯片的開發(fā)及制造，其控股股東聞天下也是A股上市公司聞泰科技的控股股東據(jù)此前官方介紹，該項(xiàng)目總投資超120億元，項(xiàng)目建成后可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)能約36萬片12英寸功率器件晶圓片，主要用于MOSFET等功率器件產(chǎn)品的生產(chǎn)，產(chǎn)品可以廣泛應(yīng)用于消費(fèi)，通訊，汽車，醫(yī)療，工業(yè)等電子產(chǎn)品領(lǐng)域，填補(bǔ)中國在車規(guī)級半導(dǎo)體領(lǐng)域的諸多空白。

臨港新片區(qū)管委會高科處副處長王佩華表示，鼎泰匠心項(xiàng)目作為上海市重大建設(shè)項(xiàng)目是中國首座12英寸車規(guī)級工藝半導(dǎo)體晶圓廠，有利于臨港新片區(qū)完善集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài) ，支撐上海向世界級集成電路產(chǎn)業(yè)集群不斷邁進(jìn)。

值得一提的是，除了鼎泰匠芯，總投資22億美元的格科微12英寸CIS集成電路半導(dǎo)體項(xiàng)目也曾在今年年初迎來ASML先進(jìn)ArF光刻機(jī)設(shè)備的搬入。

ASML：中國大陸是半導(dǎo)體行業(yè)的重要參與者，不能被忽視

眾所周知，光刻機(jī)是光刻工藝的核心設(shè)備，也是所有半導(dǎo)體制造設(shè)備中技術(shù)含量最高的設(shè)備，被譽(yù)為半導(dǎo)體制造設(shè)備的“皇冠”。光刻的主要作用是將掩模版上的芯片電路圖轉(zhuǎn)移到硅片上，是芯片制造的核心環(huán)節(jié)。

而作為全球半導(dǎo)體設(shè)備光刻機(jī)龍頭，ASML也非常重視在中國的發(fā)展。據(jù)ASML全球高級副總裁、中國區(qū)總裁沈波介紹，自1988年至今，ASML在中國大陸的全方位光刻解決方案下的裝機(jī)量已超過1000臺，相應(yīng)的員工數(shù)量也超過了1500人。

據(jù)2021年全年財(cái)報(bào)顯示，中國大陸已是ASML第三大市場，約占其2021年全球營業(yè)額14.7%（即27億歐元），2021年中國大陸的出貨量占其全球出貨量的16%。2022年第二季度，ASML設(shè)備在中國大陸市場的收入約為4億歐元，預(yù)計(jì)全年來自中國大陸市場的收入將同比增長10%左右。

此外，ASML高管也曾多次強(qiáng)調(diào)中國市場對ASML以及全球半導(dǎo)體市場發(fā)展的重要性。

7月，ASML首席執(zhí)行官彼得·韋尼克（Peter Wennink）在披露二季度財(cái)報(bào)時表示：中國大陸是半導(dǎo)體行業(yè)的重要參與者，是全球市場非常重要的供應(yīng)商，尤其在更成熟的20nm到65nm，這些節(jié)點(diǎn)都與DUV有關(guān)，無論是干式DUV還是浸沒式DUV。世界不能忽視“中國半導(dǎo)體產(chǎn)能對全球電子產(chǎn)業(yè)的重要性”。

今年10月，ASML在三季報(bào)中表示，根據(jù)初步評估，美國新頒布的出口管制條例并未修訂ASML從荷蘭運(yùn)出光刻設(shè)備的規(guī)則，預(yù)計(jì)其對ASML 2023年整體出貨計(jì)劃的直接影響有限。換言之，ASML可照舊繼續(xù)向中國出貨非EUV光刻機(jī)。

審核編輯 ：李倩