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華為投資光刻膠企業 光刻膠單體材料全部自供

Carol Li ? 來源:電子發燒友網 ? 作者:李彎彎 ? 2021-08-12 07:49 ? 次閱讀
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8月11日,企查查最新信息顯示,徐州博康信息化學品有限公司(簡稱“徐州博康”)更新了最新工商信息,新增深圳哈勃科技投資合伙企業(有限合伙)為股東,注冊資本從7600.95萬變更為8445.50萬元,增幅11.11%。

截圖自企查查


光刻膠是芯片制造中光刻環節的重要材料,目前主要被日美把控,國內在光刻膠方面投入研制的廠商主要晶瑞股份、南大光電、上海新陽、徐州博康、北京科華等,那么華為投資的徐州博康在光刻膠方面有何優勢,國內廠商在光刻膠上的研制進展如何?

國內唯一 光刻膠單體材料全部自供

徐州博康是集研發、生產、經營中高端光刻膠、光刻膠單體和光刻膠樹脂為主的國家高新技術企業,公司專注于光刻膠原材料到成品的自主研發及生產,實現了從單體、光刻膠專用樹脂、光酸劑及終產品光刻膠的國產化自主可控。

徐州博康擁有5000平方研發中心,研發團隊200余人,博士和碩士占比50%以上。配有KrF Nikon S204,I9,I12,ACT8 track,日立CDSEM等先進光刻檢測設備,以及其它理化檢測設備如ICP-MS、HPLC、GC、IR等。

目前實現的產品線涵蓋193nm/248nm光刻膠單體、193nm/248nm光刻膠、G線/I線光刻膠、電子束光刻膠等產品。已成功開發出40+個中高端光刻膠產品系列,包括多種電子束膠,ArF干法光刻膠,KrF正負型光刻膠,I線正負型光刻膠及GHI超厚負膠,應用于IC集成電路制造多個環節,服務客戶超100家。

與其他半導體光刻膠廠商相比,徐州博康的顯著特色是光刻膠單體材料全部自供,光刻膠單體是光刻膠實現光刻膠功能最核心的原材料,是卡脖子材料中的卡脖子材料,徐州博康是中國目前唯一可以規?;a中高端光刻膠單體材料的企業。

目前國產KrF、ArF光刻膠研制進展

半導體光刻膠根據激光波長不同,可分為g線、i線、KrF、ArF以及EUV光刻膠,對應的激光波長依次是436nm、365nm、248nm、193nm,激光波長越短,可實現的光刻精度越高,目前國內暫無廠商研制EUV光刻膠,KrF光刻膠和ArF光刻膠是目前各廠商的研制重點。

這里主要看一下KrF和ArF光刻膠的進展。KrF光刻膠方面,徐州博康和北京華科的KrF光刻膠已實現量產,徐州博康的年產值20億的新基地經過三年的建設和爬坡已于2021年6月份正式投產;上海新陽KrF(248nm)厚膜光刻膠產品通過客戶認證,并成功取得第一筆訂單;晶瑞股份KrF光刻膠已進入客戶測試階段。

ArF光刻膠方面,南大光電ArF光刻膠產品已經通過客戶認證;上海新陽半導體ArF干法光刻膠啟動研發,預計2022實現少量銷售,2023年實現量產;徐州博康正在進行干法ArF光刻膠中測,濕法ArF光刻膠正在進行研發;北京科華正在進行干法ArF光刻膠研發;晶瑞股份ArF高端光刻膠研發工作已正式啟動。

總結

在國產替代趨勢下,光刻膠作為重要的半導體制造材料,是不可忽視的環節,華為哈勃從成立以來,針對半導體產業各個環節做了投資,而此次投資光刻膠似乎是可預期的。

那么選擇徐州博康,最主要的可能是,不僅僅是它在光刻膠成品上的成績,更為重要的是,它是國內唯一可以規?;a中高端光刻膠單體材料的企業,就如上文所言,光刻膠單體是實現光刻膠功能最核心的原材料,是卡脖子材料中的卡脖子材料。

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