據麥姆斯咨詢報道，隨著石油和天然氣行業剛剛從長期的低迷期恢復，運營商們對提高井下井智能性、提高技術可靠性、加快鉆井速度并降低將井下作業聯網成本等有強烈的需求。這些因素共同開創了基于微機電系統（MEMS）的定向鉆進傳感器技術的新時代。

在油氣鉆探歷史上，涉及鉆井傳感器技術的基本原理和方式只發生過兩次改變。鉆孔傳感器的發明最早出現于20世紀20年代。在此之前，該行業基本是盲目鉆探的。所開發的鉆孔儀器只是使用了簡單的技術，如在瓶中裝酸將玻璃腐蝕出彎月面，或采用其他簡單的機械手段測量井的偏差。

在20世紀70年代，隨著磁導向工具的發明，一場重大的革命席卷了整個行業，其原理是當今大多數現代定向鉆具仍然遵守的。然而，我們現在正在見證新時代的曙光——基于MEMS技術的定向鉆進傳感器正在被接受作為鉆探的可靠替代品。

為什么是MEMS？

有了MEMS技術，人類按照最生動的想象力創造微型機械器件。設想齒輪、變速器、離合器、執行器，甚至微型渦輪發動機可以跟指甲一般大小。但是，人類如何從微觀上實現呢？即使是現代精密計算機控制的機臺也不能滿足MEMS器件所需的微觀尺度。

秘訣在于半導體制造技術的革新。與制造當今強大計算機所需的微型晶體管的設備一樣，半導體制造商可以一層一層地創建微觀機械部件。材料的沉積、分層、通過光刻工藝和蝕刻工藝將多余的材料去除實現圖案化，這是制造MEMS器件的關鍵技術。

基于半導體技術的MEMS制造不僅將器件微型化做到極致，而且使其價格低廉且堅固耐用。半導體工廠在制造芯片或MEMS之路上不斷摸索，艱難前行。這些具有規模經濟的電子器件使用相同工藝、設備和低成本材料，使得MEMS成為量產傳感器極具吸引力的技術。

MEMS器件的微型化賦予了它們固有的可靠性。在半導體技術的基礎上，這些器件結合了抗疲勞元器件，使MEMS結構通過數十億甚至數萬億個循環仍不會失效。MEMS器件的微觀尺寸意味著更小的運動質量，這意味著在沖擊和振動下的可靠性表現極其優秀。

MEMS的經濟規模

1993年，亞德諾半導體（ADI）發布了第一款MEMS加速度計，該傳感器的批量制造首先起源于安全氣囊應用對其的需求。從那時起，MEMS以驚人的速度發展。事實上，現在每個手機都有MEMS加速度計、磁力計和陀螺儀，許多手機還包括MEMS壓力傳感器（氣壓計）和麥克風。全球出貨量以兆顆為單位計算的傳感器只賣幾美元甚至不到一美元。隨著市場規模的不斷擴大，MEMS技術的新應用將繼續被發現。根據2017年Yole發布的《MEMS產業現狀-2017版》，MEMS和傳感器市場規模將從2016年的380億美元增長至2021年的660億美元，復合年增長率為12%。從出貨量來看，傳感器和執行器（包括聲表面波（SAW）和體聲波（BAW）濾波器、振蕩器、噴墨頭、微鏡、微流控器件等）將從2016年的650億顆增長至2021年的1380億顆。

審核編輯：符乾江