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訂購EUV光刻機(jī)受阻? 中芯國際和ASML回應(yīng)了

jf_1689824270.4192 ? 來源:電子發(fā)燒友網(wǎng) ? 作者:jf_1689824270.4192 ? 2019-11-08 01:24 ? 次閱讀

針對(duì)近幾日多家媒體報(bào)道的有關(guān)ASML公司對(duì)中芯國際訂購的EUV光刻機(jī)設(shè)備有意延遲的推測。二家公司今日均發(fā)表內(nèi)容回應(yīng)。

ASML回應(yīng)如下:

關(guān)于日經(jīng)新聞(NIKKEI)昨日?qǐng)?bào)導(dǎo),其標(biāo)題和內(nèi)容呈現(xiàn)造成誤導(dǎo),本公司在此提出澄清。

我司不對(duì)任何客戶做comment。對(duì)于日經(jīng)新聞報(bào)道的關(guān)于交貨時(shí)程僅為其媒體推測,ASML從未評(píng)論或確認(rèn),因此,“延遲出貨”僅為媒體推測。對(duì)其將推測直接定性為事實(shí)作為新聞標(biāo)題并在文中闡述,表示抗議。

ASML一向在遵守相關(guān)國際法規(guī)的前提下一視同仁地服務(wù)全球客戶。根據(jù)瓦圣納協(xié)議,ASML出口EUV到中國需取得荷蘭政府的出口許可(export license)。該出口許可于今年到期,ASML已經(jīng)于到期前重新進(jìn)行申請(qǐng),目前正在等待荷蘭政府核準(zhǔn)。因此,關(guān)于“ASML決定延遲/終止出貨”的說法是錯(cuò)誤的,ASML系遵循法規(guī)行事。

中芯國際也表示:

EUV還在紙面工作階段,未進(jìn)行相關(guān)活動(dòng)。公司先進(jìn)工藝研發(fā)進(jìn)展順利。目前,研發(fā)與生產(chǎn)的連結(jié)一切正常。客戶與設(shè)備導(dǎo)入正常運(yùn)作。

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